超导薄膜的制作方法
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN88102025A

    公开(公告)日:1988-10-26

    申请号:CN88102025

    申请日:1988-03-14

    CPC classification number: Y02E40/642

    Abstract: 本发明是关于一种超导薄膜的制作方法。其特征是将含有从钇(Y)、镧(La)、钆(Gd)、钬(Ho)、铒(Er)、镱(Yb)组成的一组元素中选择的一种元素M、钡和铜氧化物的混合物或者复合氧化物作为靶进行物理蒸镀,形成钙钛矿型或准钙钛矿型的氧化物薄膜,上述靶可由预烧结材料制成,物理蒸镀可用高频溅射技术进行。对形成的薄膜,可以进一步在250—1700℃,最好在250~1200℃的温度范围内进行热处理。

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