一种基于MEMS的压力传感器
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    发明公开

    公开(公告)号:CN104132767A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410360832.4

    申请日:2014-07-25

    IPC分类号: G01L9/04

    摘要: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器,包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理,其作用是感应被测介质的压力,输出与压力信号变化成比例的电信号;信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路,用于给压力敏感芯体供电,同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能,实现高精度的信号调理;基座和外壳提供与管路的接口,并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构,可靠性高,尺寸小,重量轻,适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。

    一种响应时间可调的先导电磁阀结构

    公开(公告)号:CN105952953B

    公开(公告)日:2018-03-09

    申请号:CN201610335265.6

    申请日:2016-05-19

    IPC分类号: F16K31/122 F16K31/06 F16K1/00

    摘要: 一种响应时间可调的先导电磁阀结构,包括先导部分和主阀部分,先导部分包括先导阀体(1)、先导阀弹簧(2)、线圈(3)、外导磁体(4)、先导阀衔铁(5)、先导阀口密封件(6)、先导阀阀座(7),主阀部分包括调节阻尼(8)、O型密封圈(9)、活塞(10)、主阀弹簧(11)、主阀阀体(12)、主阀口密封件(13)、主阀阀芯(15)、端盖(16)。本发明结构简单、紧凑、质量较轻,先导阀开启所需功耗较低,响应时间可以通过先导阀阀座(7)中心孔直径、先导阀阀座(7)与活塞(10)之间的气容、调节阻尼(8)的直径三个参数来进行调节。通过精确计算兼顾开启和关闭时间,合理设置上述三个参数,可以兼顾质量、功耗和响应时间三个指标。

    一种基于高压先导技术的微推进模块结构

    公开(公告)号:CN107514320A

    公开(公告)日:2017-12-26

    申请号:CN201710557500.9

    申请日:2017-07-10

    IPC分类号: F02K9/42

    CPC分类号: F02K9/42

    摘要: 本发明公开了一种基于高压先导技术的微推进模块结构,主阀体采用阀岛结构,将连接各阀的管路功能集成至主阀体中,通过采用功能复用技术减少阀门种类,将压力安全泄压阀与温度安全泄压阀功能统一构成泄压阀,将高压电磁阀与阀岛式阀体中的空腔结合构成电子减压系统,先导主阀既可以正向往高压气容充气,构成加注阀;也可以高压电磁阀的控制下进行反向放气,构成排放阀,从而满足大流量的排出需求;此外,通过与低压传感器一起可以构成一个闭环电子压力调节机构,从而系统中不用使用减压器,减少了部组件数量,提高了系统可靠性;大大减少了系统所需空间,有效提高容积比15%-20%,能满足有较大总冲要求的微推进系统需求。

    一种大变形比片式压电驱动器结构

    公开(公告)号:CN106357151A

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201610811696.5

    申请日:2016-09-08

    IPC分类号: H02N2/04

    CPC分类号: H02N2/04

    摘要: 一种大变形比片式压电驱动器结构,包括内衬壁(3)、压板(4)、内压环(5)、弹簧(6)、外压环动单元,所述的片式压电驱动单元又包括粘结在一起的压电陶瓷片(1)和金属片(2),片式压电驱动单元的位移输出方向为轴向。通过改变压电陶瓷片(1)的厚度、内径、外径,金属片(2)的材料、厚度、内径、外径以及片式压电驱动单元的数目就可以调节压电驱动器的输出位移。本发明采用片型压电陶瓷片结合弹性元件的方式形成基础驱动单元,并通过串联结构实现多个基础驱动单元位移的叠加,形成了大变形比、紧凑型片式压电驱动器。通过增加或减少片式压电驱动单元的数目可以调节驱动器开度的大小。(7)、外套(8)、底座(9)以及至少一个片式压电驱

    一种微小型单线圈驱动自锁阀

    公开(公告)号:CN105736800A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610268235.8

    申请日:2016-04-27

    IPC分类号: F16K31/06

    CPC分类号: F16K31/06 F16K31/0675

    摘要: 本发明涉及一种微小型单线圈驱动自锁阀,包括衔铁组件、阀体、磁钢和线圈,衔铁组件设置于阀体的内腔中,衔铁组件包括衔铁和滚珠,其中衔铁和阀体均为回转体结构,在衔铁靠近两端端面的圆周方向上各设置有N个沿圆周均布的凹槽,每个凹槽内设置一个滚珠,凹槽形状为中空结构的球缺与圆柱体的组合形状,球缺与圆柱体的直径相同,且滚珠的直径小于凹槽中球缺或圆柱体的直径,大于凹槽的深度,所述磁钢套装在阀体圆周表面,将阀体圆周表面分为两个区域,两个线圈分别缠绕在所述两个区域内,并串联成一个线圈,该自锁阀结构设计大幅减小了产品的重量和体积,缩减了零件数量,在实现产品小型化设计的同时,又保证了产品高可靠性及快速响应特性。