公开(公告)号：CN112951957B

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202110299287.2

申请日：2021-03-21

Applicant: 南通大学

Inventor： 李毅 ,  朱友华 ,  王美玉 ,  胡涛 ,  葛梅

IPC: H01L33/06 ,  H01L33/32

Abstract: 本发明公开了一种耦合量子阱结构深紫外AlGaN基发光二极管，至少包含：n型半导体层、由势垒层和耦合AlGaN阱层周期交叠构成的多量子阱结构、p型半导体层，其特征在于：所述耦合AlGaN阱层至少包括三层结构，从下到上依次为AlxGa1‑xN阱层、AlyGa1‑yN隔离层、和AlxGa1‑xN阱层。通过利用耦合阱层结构设计，增强c面LED的TE/TM模自发辐射复合率，提高LED器件的内量子效率，抑制氮化物LED器件的效率下降效应，从而改善深紫外氮化物发光二极管的光学性能。

公开(公告)号：CN109801844A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201910108225.1

申请日：2019-02-03

Applicant: 南通大学

Inventor： 朱友华 ,  秦佳明 ,  刘轩 ,  李毅 ,  王美玉

IPC: H01L21/3213

Abstract: 本发明涉及一种金属刻槽方法，包括以下步骤：S1、使用光刻胶作为掩膜，利用刻蚀气体在金属表面刻蚀，形成槽；S2、利用氧化气体对槽壁和槽底的金属进行氧化，形成金属氧化物；S3、利用刻蚀气体对槽底的金属氧化物进行刻蚀，去除所述槽底的金属氧化物，保留槽壁的金属氧化物；S4、重复步骤S2和S3，直到刻槽深度达到要求为止。本发明通过循环次数来控制刻蚀深度，利用电感耦合等离子刻蚀机（ICP）刻蚀材料时是各向异性的特点，侧壁的刻蚀作用低于Bias方向。因此在刻蚀时，底部的金属氧化物被受到较强的轰击作用，很容易被刻蚀掉，而对侧壁的金属氧化物刻蚀作用非常小。故，侧壁的金属氧化物得以保留，防止内部的金属被刻蚀，从而能够控制线宽。

公开(公告)号：CN109786241A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201910108427.6

申请日：2019-02-03

Applicant: 南通大学

Inventor： 朱友华 ,  秦佳明 ,  刘轩 ,  李毅 ,  王美玉

IPC: H01L21/3213

Abstract: 本发明涉及一种微损伤减缓铝蚀刻侧腐的方法，包括以下步骤：S1、使用光刻胶作为掩膜，利用刻蚀气体在金属表面刻蚀，形成槽；S2、利用氧化气体对槽壁和槽底的金属进行氧化，形成金属氧化物；S3、利用刻蚀气体对槽底的金属氧化物进行刻蚀，去除所述槽底的金属氧化物，保留槽壁的金属氧化物；S4、重复步骤S2和S3，直到刻槽深度达到要求为止。本发明通过循环次数来控制刻蚀深度，利用反应离子刻蚀机（RIE）刻蚀材料时是各向异性的特点，侧壁的刻蚀作用低于Bias方向。因此在刻蚀时，底部的金属氧化物被受到较强的轰击作用，很容易被刻蚀掉，而对侧壁的金属氧化物刻蚀作用非常小。故，侧壁的金属氧化物得以保留，防止内部的金属被刻蚀，从而能够控制线宽。

公开(公告)号：CN118157611A

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202410297821.X

申请日：2024-03-15

Applicant: 南通大学

Inventor： 郭兴龙 ,  杜彦航 ,  吴庆晴 ,  李心雨 ,  崔子豪 ,  邓洪海 ,  朱友华 ,  许瑞林 ,  李毅

IPC: H03H7/38

Abstract: 本发明公开了一种含聚酰亚胺可变电容的微机械可重构阻抗匹配网络，包括衬底，以及分布在衬底上的分布式MEMS传输线、多个聚酰亚胺可变电容、多个高阻偏压线、多个偏压垫、第一信号传输线、第二信号传输线、信号输入端和信号输出端；聚酰亚胺可变电容通过导线与分布式MEMS传输线并联连接，通过改变多个聚酰亚胺可变电容的值对微机械可重构阻抗匹配网络的阻抗进行调节。本发明的器件整体结构紧凑简单、尺寸微小、隔离度好、控制电路功耗低、工作频率高；可与传统的IC工艺部分兼容，工艺简单成熟，成本低廉，适合于批量生产；并且损耗较低，能够有效提高匹配网络的性能。

公开(公告)号：CN113505403A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202110102283.0

申请日：2021-01-26

Applicant: 南通大学

Inventor： 王志亮 ,  龚俊帅 ,  张洁 ,  陈旭 ,  张振娟 ,  许鹏 ,  邵海宝 ,  邓洪海 ,  朱海峰 ,  黄静 ,  陈云 ,  马青兰 ,  朱友华 ,  郭兴龙 ,  秦琳 ,  葛梅

IPC: G06F21/85 ,  H04L29/06

Abstract: 作为计算机安全方面的常识，无论采取多么严密的防范手段和措施，只要特定的计算机与外界存在网络联系，则总有各种各样的安全漏洞，无法完全保证内网计算机、特定计算机的安全。再完美的防火墙、VPN，都难以绝对能保证内网计算机、特定计算机的安全。本发明提供的特殊的可移动存储器，使得需要保护的内网计算机、特定的计算机中的数据信息，只能被复制出来，而外部的任何计算机的任何数据都无法转移至本发明提供的特殊的可移动存储器，这样也就不可能转移到需要保护的内网计算机、特定的计算机中。可以真正确保内网计算机、特定的计算机的信息安全，又不妨碍内部数据的对外传输，实现了单向数据传输的目的。

公开(公告)号：CN103326695A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310245583.X

申请日：2013-06-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 郭兴龙 ,  黄静 ,  蒋华 ,  王志亮 ,  尹海宏 ,  施敏 ,  朱友华

IPC: H03H11/28 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉一种含MEMS开关的可重构匹配网络匹配器，包括六个MEMS桥单元、地线、信号线以及六个偏压垫，所述第地线、信号线依次平行设置于衬底上，所述六个MEMS桥单元依次垂直于所述两地线排列于衬底上，所述每个MEMS桥单元包括两个悬臂梁桥膜、一个支撑梁桥膜以及四个桥墩。其有益效果为：硅片上的MEMS开关替代传统的PIN开关二极管、变容二极管或FET等开关器件实现滤波器的频率重构；共面波导传输线替代了传统的PCB板上的共面波导传输线；结构紧凑简单、尺寸微小、控制电路功耗低、工作频率高；可与传统的IC工艺兼容，工艺成熟，成本低廉，适合于批量生产。