真空转移装置及系统
    22.
    实用新型

    公开(公告)号:CN222188741U

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202420919494.2

    申请日:2024-04-29

    Abstract: 本实用新型涉及研究与测试的技术领域,提供一种真空转移装置及系统,真空转移装置能够适用于X射线光电子能谱分析仪样品台的真空转移,包括:本体,设置有内腔以及连通内腔的开口;盖体,可拆卸地盖合于开口,盖体与本体的连接处为密封配合;第一气孔,与内腔导通且能够开闭,适用于连接真空泵;第二气孔,与内腔导通,适用于连接真空检测部件;样品转移过程中,通过真空检测部件可以实时监测内腔中的真空度,从而判断是否存在漏气的问题,如果内腔中真空度逐渐降低,则表明存在漏气问题,工作人员可及时发现问题并查找漏气原因,以便于及时对真空度进行调整,确保样品台转移过程中处于预设的真空度下,从而保证样品表面元素分析的准确性。

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