公开(公告)号：CN103718109A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201280037948.3

申请日：2012-07-12

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 和田健二 ,  荒山恭平 ,  雨宫拓马

IPC: G03F7/039 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08G73/10 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/039 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、使用所述感光性树脂组合物的凹凸图案形成材料、感光性膜、聚酰亚胺膜、硬化凹凸图案、其制造方法及含有所述硬化凹凸图案的半导体装置，上述感光性树脂组合物具有分辨率及灵敏度优异的微影性能，在所谓的低温固化下应力低，由此可形成防止晶片翘曲的硬化凹凸图案。本发明的感光性树脂组合物含有：(a)具有下述通式(1)所表示的重复单元的树脂、及(b)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物。，上述通式(1)中，R1表示四价有机基。多个R1可彼此相同也可不同。R2表示二价有机基。多个R2可彼此相同也可不同。其中，多个R2中至少一个为含有脂环基的二价有机基。R3分别独立表示氢原子或有机基。其中，多个-CO2R3中至少一个为通过酸的作用发生分解而产生碱可溶性基的基。