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公开(公告)号:CN104752561A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201510107041.5
申请日:2015-03-11
申请人: 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号: H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/0747
CPC分类号: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/1876 , H01L31/022466 , H01L31/0747
摘要: 本发明涉及太阳能光伏技术领域,公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法,用以减少溅射沉积透明导电氧化物薄膜层时对非晶硅薄膜的轰击力,提高异质结太阳能电池的开路电压和短路电流密度,提高生产效率。其中异质结太阳能电池的制备方法,包括:在第一导电类型非晶硅层和第二导电类型非晶硅层上分别采用第一溅射法形成第一透明导电氧化物薄膜层,第一溅射法中溅射粒子的能量低于直流磁控溅射法中溅射粒子的能量;在每层第一透明导电氧化物薄膜层上采用第二溅射法形成第二透明导电氧化物薄膜层,第二溅射法中溅射粒子的能量高于第一溅射法中溅射粒子的能量。