形成有二氧化硅系膜的物品及其制造方法

    公开(公告)号:CN1938152A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200580010328.0

    申请日:2005-03-31

    IPC分类号: B32B9/00

    摘要: 本发明提供一种形成有二氧化硅系膜的物品,其利用溶胶凝胶法形成,尽管是超过300nm的膜厚,但在进行了日本工业标准(JIS)R 3212规定的挺度磨损试验后,膜也不从基材剥离。该膜可以通过改进的溶胶凝胶法,即,通过采用,硅醇盐的浓度,按SiO2换算在超过3质量%且小于9质量%、质子的质量摩尔浓度在0.001~0.2mol/kg、水的摩尔数为硅原子的总摩尔数的4倍以上10倍以下的涂液,用超过100℃的温度加热基材的溶胶凝胶法成膜。