公开(公告)号：CN112272600A

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201980020537.5

申请日：2019-03-06

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 月形扶美子 ,  前泽明弘 ,  南条崇

IPC: B24B57/02 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的课题在于提供用于从加工完的研磨剂浆料中有效率地回收研磨剂、将其作为再生研磨剂浆料而再利用的研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法。本发明的研磨剂再循环处理系统控制用于研磨的研磨剂浆料中的研磨剂的构成成分和被研磨物的构成成分的浓度，且继续研磨加工，从加工完的研磨剂浆料中将被研磨物的构成成分除去，将研磨剂回收·再生，其特征在于，具有：研磨加工工序部；和具有浆料供给罐的研磨剂浆料回收工序部，所述浆料供给罐贮存用于研磨的研磨剂，一边进行控制以使浆料供给罐中的研磨剂的构成成分的浓度成为研磨加工工序开始时的初期浓度以下，一边向浆料供给罐中供给再生研磨剂浆料。

公开(公告)号：CN108367410A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680071266.2

申请日：2016-12-01

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 乾智惠 ,  前泽明弘 ,  永井佑树 ,  平山奈津实

IPC: B24B57/02

Abstract: 本发明的课题是提供一种能够有效地再生研磨速度高的研磨材料淤浆的研磨材料淤浆的再生方法。该研磨材料淤浆的再生方法是用含有研磨材料粒子和多种添加剂的研磨材料淤浆研磨以氧化硅为主要成分的被研磨物后，将回收的回收研磨材料淤浆进行再生的研磨材料淤浆的再生方法，其特征在于，具有如下的再生工序：一边相对于用于被研磨物的研磨时的未使用的研磨材料淤浆的研磨材料浓度(质量％)，将研磨材料浓度(质量％)维持在0.2～3000％的范围内，一边在回收研磨材料淤浆所含有的添加剂中，将分子量为500以上的添加剂和吸附于研磨材料粒子的添加剂与研磨材料粒子一起进行回收。

公开(公告)号：CN104703759B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201380038999.2

申请日：2013-07-24

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 永井佑树 ,  前泽明弘 ,  乾智惠

IPC: B24B57/00 ,  C02F11/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  B01D21/01 ,  B24B57/00

Abstract: 本发明从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中得到高纯度的再生研磨材料。研磨材料是选自氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝‑氧化锆以及氧化锆中的至少一种，且经由下述工序A～D从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中再生研磨材料，即，回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A，该使用过的研磨材料是对主成分为硅的被研磨物3进行研磨得到的；调整回收得到的研磨材料浆料的pH使得pH为7～10的pH调整工序B；向调整过pH的研磨材料浆料中添加作为无机盐的含碱土金属元素的金属盐，使研磨材料凝聚，从母液分离研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序C；将分离浓缩了的研磨材料固液分离并回收的研磨材料回收工序D。

公开(公告)号：CN104010770B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201280063306.0

申请日：2012-12-05

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 高桥笃 ,  永井佑树 ,  前泽明弘

IPC: B24B57/00 ,  B01F17/52 ,  C02F11/14 ,  C09K3/14

CPC classification number: C09K3/1409 ,  B24B57/00 ,  B24B57/02 ,  B28D5/007 ,  C02F1/5236 ,  C02F1/66 ,  C02F2101/10 ,  C02F2103/12 ,  C02F2103/346 ,  Y02P70/179

Abstract: 本发明的课题在于提供一种研磨材料再生方法及再生研磨材料，所述研磨材料再生方法可以用高效的方法由以氧化铈为主要成分的使用后的研磨材料回收氧化铈，然后，用简易的方法得到再生研磨材料。本发明的研磨材料再生方法是由使用过的研磨材料浆料再生氧化铈研磨材料的研磨材料再生方法，所述使用过的研磨材料浆料是研磨硅为主要成分的被研磨物而得到的，且含有氧化铈研磨材料，其中，该方法经如下工序再生含有氧化铈的研磨材料：浆料回收工序A，回收从研磨机排出的研磨材料浆料；分离浓缩工序B，向该回收的研磨材料浆料中添加作为无机盐的镁盐，在母液换算成25℃的pH值为6.5以上且低于10.0的条件下使研磨材料凝聚，将该研磨材料从母液中分离并进行浓缩；以及研磨材料回收工序C，回收该分离并进行了浓缩的研磨材料。

公开(公告)号：CN104114324A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201380009250.5

申请日：2013-02-14

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 永井佑树 ,  前泽明弘 ,  高桥笃

IPC: B24B57/02 ,  B01D21/01 ,  B01F17/52 ,  C02F11/12 ,  C02F11/14

CPC classification number: B28D5/007 ,  B01D21/02 ,  B01D2221/14 ,  B24B57/00 ,  C02F11/14 ,  C02F2103/12 ,  Y02P70/179

Abstract: 本发明的课题在于提供一种研磨材料再生方法，可以通过有效的方法由使用过的研磨材料回收研磨材料，然后通过简易的方法得到高纯度的再生研磨材料。本发明的研磨材料再生方法是由使用过的研磨材料浆料再生研磨材料的研磨材料再生方法，该研磨材料是选自金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆、氧化锆及氧化铈的至少一种，且经由下述工序A～D再生研磨材料，回收从研磨机排出的研磨材料浆料的浆料回收工序A；向该回收的研磨材料浆料添加作为无机盐的含有碱土金属元素的金属盐，使研磨材料凝聚，从母液分离该研磨材料并进行一次浓缩的分离浓缩工序B；回收该分离浓缩了的研磨材料的研磨材料回收工序C及对该回收的一次浓缩的研磨材料实施过滤处理的第二浓缩工序D。