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公开(公告)号：CN112981508A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011440169.0
申请日：2020-12-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明提供基板支架，在基板支架中提高基板接点以及/或者密封部件的定位。基板支架是用于保持基板的基板支架，具备第一保持部件、和在与上述第一保持部件之间保持基板的第二保持部件，上述第一保持部件具备：至少一个基板接点，配置为与上述基板接触；至少一个密封部件，具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部；以及汇流条，与一个或者多个上述基板接点电连接，且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔，一个或者多个上述基板接点的上述前端部以其周围被上述第一密封部覆盖的状态，从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条。
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公开(公告)号：CN111321449A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201911265178.8
申请日：2019-12-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明涉及用于基板保持件的密封件，在密封部件被压缩了的状态下，密封部件对基板施加足够的按压力。上述基板保持件具有：第一保持部件；第二保持部件；夹持器，该夹持器用于夹持上述第一保持部件与上述第二保持部件；以及密封件，该密封件具备接触部，该接触部在上述第一保持部件与上述第二保持部件被夹持时，与上述第一保持部件、上述第二保持部件、以及基板中的至少一个接触，在通过基板的中心且与基板的表面垂直的平面中观察到的剖面中，上述接触部具有以第一点为中心的第一圆弧部、以及以与上述第一点不同的第二点为中心的第二圆弧部，上述第一圆弧部以及上述第二圆弧部中的至少一个的曲率半径为0.01mm以上0.1mm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN303813533S
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201630122593.9
申请日：2016-04-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Designer： 宫本松太郎
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为密封环。2.本外观设计产品如使用状态参考图所示，是将保持在基板电镀装置等的基板架的支承面上的晶片的周端部（边缘部）覆盖的部件，用于防止在将晶片浸渍于电镀液中时要电镀的面以外的边缘部、背面等与电镀液接触。3.本外观设计产品是针对同一产品的三项相似外观设计，其中指定设计1为基本设计。4.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。5.指定设计1立体图1为最能表明设计要点的视图。6.设计1、设计2及设计3各自的后视图与各自的主视图相同，各自的左视图与各自的右视图相同，因此省略设计1、设计2、设计3各自的后视图及左视图。
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公开(公告)号：CN303520204S
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201530239998.6
申请日：2015-07-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Designer： 宫本松太郎
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为电连接端子。2.本外观设计产品例如如使用状态参考图所示，能够用作基板电镀装置的固定保持部件所具有的下部电接点，与可动保持部件所具有的上部电接点的下端部抵接，能够向配置于支承面上的基板（晶片）通电来实施电镀。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定主视图为最能表明设计要点的视图。5.由于本外观设计产品的左视图与右视图对称、后视图与主视图对称，所以省略左视图及后视图。
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公开(公告)号：CN303930979S
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201630144852.8
申请日：2016-04-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
Designer： 宫本松太郎
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为电连接端子。2.本外观设计产品例如如使用状态参考图所示，是将前端部与保持在基板电镀装置的支承面上的晶片的周端部抵接而使用的部件，能够通过通电对浸渍于电镀液的晶片实施电镀。3.本外观设计产品是针对同一产品的四项相似外观设计，其中指定设计1为基本设计。4.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。5.指定设计1立体图1为最能表明设计要点的视图。6.设计1、设计2、设计3及设计4各自的左视图与各自的右视图对称，因此省略设计1、设计2、设计3、设计4各自的左视图。
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公开(公告)号：CN303531464S
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201530240031.X
申请日：2015-07-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Designer： 宫本松太郎
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为电连接端子。2.本外观设计产品例如设计1、2、3的使用状态参考图所示，是使前端部与基板电镀装置的支承面所保持的晶片的周端部抵接而使用的部件，能够通过使晶片浸渍于电镀液而通电来对晶片实施电镀。3.本外观设计为针对同一产品的3项相似外观设计，其中指定设计1为基本设计。4.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。5.指定设计1立体图2为最能表明设计要点的视图。6.由于设计1、设计2、设计3各自的左视图分别与各自的右视图对称，所以省略设计1、设计2、设计3各自的左视图。
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公开(公告)号：CN303520205S
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201530240057.4
申请日：2015-07-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Designer： 宫本松太郎
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为电连接端子。2.本外观设计产品例如如使用状态参考图所示，在用作设在基板电镀装置的基板保持器的保持器悬架上的连接端子的情况下，该连接端子与密封保持器内部的电接点通过布线而连接，在基板保持器浸渍于电镀槽时，与槽侧的供电板接触而经由电接点向配置于支承面上的基板通电来实施电镀。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图1为最能表明设计要点的视图。5.由于本外观设计产品的左视图与右视图对称，所以省略左视图。
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