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公开(公告)号：CN112981505B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202011440219.5
申请日：2020-12-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明提供基板支架，在基板支架中在抑制对基板的负荷的同时按压密封件。基板支架具备：接点组件；第一板，在与上述接点组件之间夹持基板；至少一个第一销，固定于上述接点组件，在上述基板的外侧朝向上述第一板侧延伸，且具有被卡定部；卡定部件，相对于上述第一板配置在与上述接点组件相反侧，能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态；以及至少一个第一施压部件，沿着上述基板的外周部，设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离，在上述卡定状态下在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩，朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。
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公开(公告)号：CN110799677A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880042704.1
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种用于保持基板的基板保持器，其具备：第1保持构件，其具有用于使上述基板的第1面暴露的第1开口部；第2保持构件，其用于与上述第1保持构件一起夹持并保持上述基板；以及第2保持构件，其具有用于使上述基板的第2面暴露的第2开口部，上述第1保持构件具有至少一个第1外部连接接点，上述第2保持构件具有与上述第1外部连接接点独立的至少一个第2外部连接接点。
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公开(公告)号：CN114318477B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202110961477.6
申请日：2021-08-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明提供接点结构、基板支架、电镀装置以及向基板供电的方法。改善抑制电镀液与基板接点的接触的结构。接点结构具备：基板接点，具有与基板接触的前端侧的第一接点部分和比上述第一接点部分靠基端侧的第二接点部分；密封部件，覆盖上述基板接点的周围，并具有与上述基板接触以密封上述基板接点的密封面；第一按压部分，对上述基板接点弹性地施加对上述基板的接触压力；以及第二按压部分，与上述密封部件接触，与上述第一按压部分独立地对上述密封部件施加对上述基板的接触压力，上述第一接点部分粘合于上述密封部件，上述第二接点部分以能够相对于上述密封部件相对位移的方式嵌合于上述密封部件。
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公开(公告)号：CN111211068B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201910863396.5
申请日：2019-09-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种以相对小的力锁定基板保持器的方法。根据一个实施方式，提供一种使基板保持器保持基板的方法，所述方法中，所述基板保持器包括：前框架；后框架；夹持器，用于夹持所述前框架及所述后框架；以及密封件，构成为在所述前框架及所述后框架被夹持时，所述前框架与所述后框架中的一者与基板接触，所述方法包括：将所述前框架与所述后框架中的至少一者向另一者按压，将所述密封件压于基板并进行压缩的步骤；以及在所述密封件被压缩的状态下，利用所述夹持器夹持所述前框架及所述后框架的步骤，在压缩所述密封件的步骤中，对所述前框架与所述后框架中的至少一者施加力的部位是比所述密封件更靠近所述夹持器的位置。
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公开(公告)号：CN111192846B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN201910998773.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 近年来，要求在单面镀敷与两面镀敷两者中可使用的基板保持器。本发明公开了一种基板保持器、镀敷装置及基板的镀敷方法，用于保持应被镀敷的基板，所述基板保持器包括：第一框架，具有用于使基板的其中一面露出的第一开口；以及第二框架，具有用于使基板的另一面露出的第二开口，基板由第一框架与第二框架夹持，所述基板保持器还包括伪基板，所述伪基板可装卸地配置于第一框架与基板之间，伪基板至少由实质上不流通直流电流的材质形成，伪基板的至少一部分与基板的其中一面的至少一部分接触，伪基板保护基板的其中一面免受镀敷液的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114214709A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202210014651.0
申请日：2017-09-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/00 , C25D17/06 , C25D17/08 , H01L21/288 , H01L21/67
Abstract: 本发明的基板保持架具备夹持基板的第一保持部件及第二保持部件，所述第一保持部件具有：第一保持部件主体；一端部除去了被覆的至少一条线缆；以能够与所述基板电接触的方式构成的至少一个第一导电部件；和夹持部件，其设于所述第一保持部件主体上，构成为将所述线缆的所述一端部、同所述第一导电部件或与所述第一导电部件电导通的第二导电部件一起夹持。
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公开(公告)号：CN111192846A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201910998773.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 近年来，要求在单面镀敷与两面镀敷两者中可使用的基板保持器。本发明公开了一种基板保持器、镀敷装置及基板的镀敷方法，用于保持应被镀敷的基板，所述基板保持器包括：第一框架，具有用于使基板的其中一面露出的第一开口；以及第二框架，具有用于使基板的另一面露出的第二开口，基板由第一框架与第二框架夹持，所述基板保持器还包括伪基板，所述伪基板可装卸地配置于第一框架与基板之间，伪基板至少由实质上不流通直流电流的材质形成，伪基板的至少一部分与基板的其中一面的至少一部分接触，伪基板保护基板的其中一面免受镀敷液的影响。
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公开(公告)号：CN118773706A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410807892.X
申请日：2020-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及密封件。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。
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公开(公告)号：CN112981508B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202011440169.0
申请日：2020-12-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明提供基板支架，在基板支架中提高基板接点以及/或者密封部件的定位。基板支架是用于保持基板的基板支架，具备第一保持部件、和在与上述第一保持部件之间保持基板的第二保持部件，上述第一保持部件具备：至少一个基板接点，配置为与上述基板接触；至少一个密封部件，具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部；以及汇流条，与一个或者多个上述基板接点电连接，且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔，一个或者多个上述基板接点的上述前端部以其周围被上述第一密封部覆盖的状态，从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条。
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公开(公告)号：CN107622968B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201710557676.4
申请日：2017-07-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明提供一种不使用板簧而具有新的定位构造的基板保持器及使用该基板保持器的镀覆装置。该基板保持器具有：具有构成为与基板接触的第一面的第一保持构件；及与第一保持构件一起夹着基板而对其保持的第二保持构件。第一保持构件具有将接触于第一面的基板定位于第一面的规定位置的定位构件。定位构件构成为在与基板的周缘部接触并将基板定位于第一面的规定位置的第一位置、以及不与基板接触的第二位置之间移动。第二保持构件具有以第一保持构件与第二保持构件保持基板时，使定位构件位于第一位置而构成的驱动构件。
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