一种芯棒全自动退火的方法与装置

    公开(公告)号:CN105884181B

    公开(公告)日:2018-10-30

    申请号:CN201610242961.2

    申请日:2016-04-19

    IPC分类号: C03B25/00

    摘要: 本发明提供了一种芯棒全自动退火的方法,其使得芯棒被及时转运至退火结构内,每个芯棒独立进行退火作业和转运,确保对每个芯棒退火作业的全智能操作,提高整体设备的自动化程度与使用效率,同时避免因温度过大,对人身的伤害。其特征在于:将单个光纤预制棒芯棒独立退火、计时,并运用传感器与机械手,实现每个芯棒在等待退火区、退火区、完成退火区三个区位置控制与转移,所述退火区内恒温控制在950℃~1100℃。

    高纯度低羟基高均匀性石英玻璃的化学沉积方法及装置

    公开(公告)号:CN112876044A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110150255.6

    申请日:2021-02-03

    IPC分类号: C03B20/00 C03B8/04

    摘要: 本发明涉及一种高纯度低羟基高均匀性石英玻璃的化学沉积方法,包括:(1)在沉积腔体内,采用气相轴向沉积法将硅源沉积得到低密度SiO2松散体;在沉积过程中,控制沉积腔体内为负压环境,温度不高于500℃;(2)在充满脱羟气流和氧气的密闭环境中,将低密度SiO2松散体加热到1100~1300℃,使所述低密度SiO2松散体脱水、脱羟及致密化;接着,将低密度SiO2松散体置于惰性气体环境中,加热至1470~1600℃,使其玻璃化以形成透明石英玻璃;(3)对透明石英玻璃进行退火处理,得到高纯度低羟基高均匀性石英玻璃。本发明还公开了采用所述化学沉积工艺的装置。本发明的高纯度低羟基高均匀性石英玻璃的化学沉积方法,生产过程连续性高,且生产的石英玻璃中金属杂质含量极低。

    一种芯棒全自动退火的方法与装置

    公开(公告)号:CN105884181A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610242961.2

    申请日:2016-04-19

    IPC分类号: C03B25/00

    CPC分类号: C03B25/00

    摘要: 本发明提供了一种芯棒全自动退火的方法,其使得芯棒被及时转运至退火结构内,每个芯棒独立进行退火作业和转运,确保对每个芯棒退火作业的全智能操作,提高整体设备的自动化程度与使用效率,同时避免因温度过大,对人身的伤害。其特征在于:将单个光纤预制棒芯棒独立退火、计时,并运用传感器与机械手,实现每个芯棒在等待退火区、退火区、完成退火区三个区位置控制与转移,所述退火区内恒温控制在950℃~1100℃。

    一种芯棒全自动退火的装置

    公开(公告)号:CN205616777U

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201620328129.X

    申请日:2016-04-19

    IPC分类号: C03B25/00

    摘要: 本实用新型提供了一种芯棒全自动退火的装置,其使得芯棒被及时转运至退火结构内,每个芯棒独立进行退火作业和转运,确保对每个芯棒退火作业的全智能操作,提高整体设备的自动化程度与使用效率,同时避免因温度过大,对人身的伤害。其特征在于:将单个光纤预制棒芯棒独立退火、计时,并运用传感器与机械手,实现每个芯棒在等待退火区、退火区、完成退火区三个区位置控制与转移,所述退火区内恒温控制在950℃~1100℃。