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21.

实用新型
一种复合图形化衬底、含有该衬底的外延片及发光二极管有权

公开(公告)号：CN216528935U

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202123350609.6

申请日：2021-12-29

申请人： 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司

发明人： 郭园 , 王淑姣 , 吕腾飞 , 宋长伟 , 展望 , 程志青 , 芦玲

IPC分类号： H01L33/20 , H01L33/06

摘要： 本实用新型公开了一种复合图形化衬底、含有该衬底的外延片及发光二极管；所述衬底以中心为圆心，分成多个同心环状区域，同一环状区域内的图形的底宽和图形之间的间距相同，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增或递减；所述衬底的翘曲度为正值时，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增；所述衬底的翘曲度为负值时，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递减。本实用新型利用不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增或递减，改善衬底外延生长后的翘曲现象，保证波长均匀性。