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公开(公告)号:CN115342584A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210497796.0
申请日:2022-05-09
申请人: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
摘要: 提供一种多元制冷循环装置,能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积,并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备:供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5),该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的冷却介质进行热交换;和供第2制冷剂循环的第2制冷循环(6),该第2制冷剂与第1制冷剂进行热交换,第1制冷循环(5)的至少一部分配置在设置有半导体器件制造装置(1)的无尘室内,第2制冷循环(6)配置在辅助间内。
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公开(公告)号:CN106895600B
公开(公告)日:2020-07-24
申请号:CN201611062956.X
申请日:2016-11-25
申请人: 荏原冷热系统株式会社
摘要: 本发明提供的吸收式热泵,不使安全阀工作就能够抑制蒸气生成部的压力过度上升。利用吸收液与制冷剂的吸收式热泵循环,汲取所导入的热源流体的热量来生成被加热介质的蒸气的吸收式热泵具备:蒸气生成部,其生成向需要对象供给的被加热介质的蒸气;压力检测部,其检测蒸气生成部的压力;安全阀,其设置于使在蒸气生成部生成的被加热介质的蒸气向需要对象流出的供给蒸气管或者蒸气生成部;蒸气排放阀,其设置于供给蒸气管或者蒸气生成部;控制装置,其在由压力检测部检测出的压力超过蒸气生成部的目标压力且在比安全阀打开的压力小的第一规定压力以上时,打开蒸气排放阀。
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公开(公告)号:CN106969527B
公开(公告)日:2020-06-26
申请号:CN201611102120.8
申请日:2016-12-05
申请人: 荏原冷热系统株式会社
摘要: 本发明提供吸收式热泵,能够实现存积被加热介质的液体的部分的液位的稳定化。吸收式热泵(1)具备:吸收器(10);蒸发器(20);再生器(30);冷凝器(40);被加热介质气液分离部(80),导入在吸收器(10)中加热后的被加热介质(Wm)并分离为被加热介质的蒸气(Wv)和液体(Wq);蒸气产生流量掌握部(62),掌握被加热介质的蒸气的产生流量;被加热介质液体供给装置(86),向吸收器供给被加热介质的液体(Ws);以及供给控制部(64),控制被加热介质供给装置(86)以便将与由蒸气产生流量掌握部掌握的被加热介质的蒸气(Wv)的产生流量相应的流量的被加热介质的液体(Ws)向吸收器(10)供给。
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公开(公告)号:CN104006566A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201410059254.0
申请日:2014-02-21
申请人: 荏原冷热系统株式会社
CPC分类号: Y02A30/277 , Y02B30/62
摘要: 本发明涉及吸热泵以及吸热泵的运转方法,能够在抑制装置大型化的同时实现恰当的运转。吸热泵(1)具备:吸收器(10),利用溶液(Sa)吸收制冷剂蒸汽(Ve)时产生的吸收热对被加热介质(Wq)进行加热来产生被加热介质蒸汽(Wv);被加热介质蒸汽产生流量调节装置(29),调节吸收器(10)中的被加热介质蒸汽(Wv)的产生流量;被加热介质蒸汽流量检测部(39、49、58、92),检测在吸收器(10)中产生的被加热介质蒸汽(Wv)的流量;以及控制部(91)。控制部(91)调节被加热介质蒸汽(Wv)的产生流量以使被加热介质蒸汽(Wv)的流量不超过规定值。
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公开(公告)号:CN103363714A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310104864.3
申请日:2013-03-28
申请人: 荏原冷热系统株式会社
CPC分类号: Y02A30/277 , Y02B30/62
摘要: 提供简化装置结构的吸收式热泵以及吸收式热泵的运转方法。吸收式热泵(1)具备:具有供对在蒸发器罐体(27)内收容的制冷剂液体(Vf)进行加热的加热介质(h)流动的传热管(21)的蒸发器(20);和将蒸发器罐体内的制冷剂液体的液位维持在传热管的一部分在允许范围内露出的高度以上的规定液位亦即低位(VL)以上、且比传热管的上端靠上方规定距离的位置亦即高位(VH)以下的液位维持单元(24、46)。吸收式热泵的运转方法是,向传热管的内部流动加热介质,并将没入有传热管的制冷剂液体的液位维持在低位以上高位以下。而且,不设置向传热管喷洒制冷剂液体的喷洒喷嘴即可,从而能够简化装置结构,并且能够实现装置的小型化。
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公开(公告)号:CN207299634U
公开(公告)日:2018-05-01
申请号:CN201720830741.1
申请日:2017-07-10
申请人: 荏原冷热系统株式会社
IPC分类号: F25B41/00
摘要: 本实用新型提供经济器以及离心式制冷机,该经济器具有较高的气液分离性能并且能够通过大幅度地减少气液分离所需的空间而实现外形尺寸的小型化。该经济器具备:容器;挡板,其在容器内配置于与制冷剂入口对置的位置,供从制冷剂入口流入到容器内的气液二相状态的制冷剂碰撞来进行气液分离;除雾器,其在容器内配置于与气体制冷剂出口对置的位置,将气液分离后的气体制冷剂所包含的液滴去除,挡板由在制冷剂入口与除雾器之间的位置沿铅直方向延伸并将制冷剂入口侧与除雾器侧分隔的分隔板构成,在该分隔板的下端与容器的底部之间设置有第一开口,用于将气液分离后的气体制冷剂与液体制冷剂向除雾器下方的空间引导。
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公开(公告)号:CN112781432B
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202011229583.7
申请日:2020-11-06
摘要: 温度控制系统(200),其具备供第一热媒循环的第一循环回路(110);供第二热媒循环的第二循环回路(120);供第三热媒循环的第三循环回路(130),第一循环回路具备将第一热媒的温度调整成第一温度后排出的第一调整装置(11)以及第一流通部(114),第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度后排出的第二调整装置(21)以及第二流通部(124),第三循环回路具备:与第一流通部进行热交换的第三流通部(133);与第二流通部进行热交换的第四流通部(134)。温度控制系统还具备调整部(135),调整第一流通部与第三流通部之间交换的热量及第二流通部与第四流通部之间交换的热量。
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公开(公告)号:CN112781263B
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202011230678.0
申请日:2020-11-06
摘要: 温度控制系统(600),其具备分别供第一热媒、第二热媒、第三热媒循环的第一循环回路、第二循环回路、第三循环回路(110,20,130),第一循环回路具备:使液体状态的第一热媒膨胀并雾化的第一膨胀部(111);供第一温度的第一热媒流通的第一流通部(114);压缩气体状态的第一热媒的第一压缩部(112);以及使第一热媒冷凝并向第一膨胀部供给的第一冷凝部(113),第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度来进行供给的第二调整装置(21)以及第二流通部(124),第三循环回路具备调整在第一流通部与第三流通部(133)间交换的热量以及在第二流通部与第四流通部(134)间交换的热量的调整部(135)。
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公开(公告)号:CN112824792B
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202011300996.X
申请日:2020-11-19
摘要: 提供一种冷却系统,具备第一冷却装置和从第一冷却装置供给热媒的多个第二冷却装置,从而抑制冷却系统整体的功耗。冷却系统(100)包括:第一冷却装置(10),被电力驱动以供给第一设定温度以下的第一热媒;多个第二冷却装置(40A~40C),具有使从第一冷却装置供给的第一热媒和第二热媒之间进行热交换的热交换部(46),并被电力驱动以供给第二设定温度以下的第三热媒,其中,第二设定温度根据时间经过而分别改变;以及设定部(70),获得多个第二冷却装置的第二设定温度,并根据获得的多个第二设定温度可变地设定第一设定温度。
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