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公开(公告)号：CN109879239A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910064334.8
申请日：2019-01-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括谐振层和承压膜片，谐振层包括谐振梁和平衡梁，四根谐振梁组成一组H型梁，H型梁共有两组且对称设置，谐振梁端部均固定在平衡梁上，两根平衡梁通过谐振梁的延伸部分与刚性质量块连接，相邻的谐振梁之间设置有质量块，质量块中部设置有耦合梁，耦合梁中部设置有拾振电阻，位于外侧的两个质量块分别与两个可动电极固定连接。当压力施加在承压膜片加载时，谐振梁受压产生形变，导致谐振梁的固有频率发生改变，同时通过固定电极激励谐振梁振动，谐振状态时，耦合梁上拾振电阻分别循环处于受压/受拉状态，基于压阻效应使得拾振电阻值发生变化，从而拾取谐振梁固有频率。
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公开(公告)号：CN108982291A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810745339.2
申请日：2018-07-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N9/00
Abstract: 本发明公开了一种梳齿式CMUTs流体密度传感器及其制备方法，梳齿式超声传感器包括低单晶硅衬底，该衬底上有二氧化硅支柱层，支柱中心刻蚀形成有空腔，空腔上端面用SOI片键合形成密封层，通过抛光工艺将键合晶圆的SOI片硅衬底减薄至梳齿电极厚度，同时SOI片二氧化硅埋层形成二氧化硅绝缘层，通过重掺杂和DRIE工艺将键合晶圆顶端刻蚀出梳齿电极结构以及密封支柱层，再通过二次键合形成二氧化硅保护层，并保证梳齿电极结构处于真空域内。采用梳齿交流电极和梳齿直流电极激振CMUTs薄膜结构，通过对称布置的梳齿电极产生的径向拉压运动而形成的薄膜结构层的弯曲振动，因此相较于传统上、下电极直接加载交流电而产生振动的CMUTs结构，具有更高的品质因子。
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公开(公告)号：CN119698132A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411903543.4
申请日：2024-12-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: H10F77/30 , H10F77/20 , H10F77/12 , H10F71/00 , H10F77/169 , H10F30/227
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化镓的柔性自供电日盲紫外探测器及其制备方法，专门设计用于在复杂环境下进行高效且低功耗的紫外光探测。该探测器特色在于其非对称电极以及氧化铝钝化层的设计。具体包括位于氧化镓薄膜上的第一金属电极和第二金属电极，两者通过其材质和尺寸的不同，通过不同的工艺过程以及图形化的钝化层，可以分别形成肖特基和欧姆接触，从而有效提光电性能。第一金属电极通过增大接触面积、材料的选择、退火工艺实现高质量欧姆接触。第二金属电极通过材料的选择、钝化层的引入实现肖特基接触并提升接触势垒。这种非对称的电极设计可增强内建电场，有效实现光生载流子的分离，从而更好实现自供电。
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公开(公告)号：CN114993520B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202210609327.3
申请日：2022-05-31
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种表压式谐振压力传感器及制备方法，提出了一种适合用于表压式压力测量的谐振式压力传感器设计结构，该传感器采用静电激励电容检测，包括压力膜片层、谐振器层以及真空封装层，压力膜片层主要用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动压力膜片上的锚点产生轴向位移，进而使谐振梁产生轴向内应力，谐振器层主要将谐振梁轴向应力转化为谐振子谐振频率的变化，从而表征压力的大小，封装层将同时作为结构变形层以及真空封装层，用于形成高真空密封空腔。
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公开(公告)号：CN115774122A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211485553.1
申请日：2022-11-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法，敏感梁上均具有力敏电阻；固定框架的内框形状为矩形，所有振动单元相同并依次设置于固定框架内框的四角位置；质量块上设有供支撑梁活动的凹槽，支撑梁的一端与固定框架内框的一拐角固定连接，支撑梁的另一端与质量块上的凹槽的底部连接；第一、二振动单元的质量块相邻侧面两端之间设置敏感梁；第三、四振动单元的质量块相邻的侧面两端之间设置敏感梁；所有敏感梁相互平行。本发明可以产生敏感梁纯轴向拉伸或者压缩的效果；另外一方面，这样可以显著地降低了小尺寸下芯片可动结构的整体刚度，使得小尺寸下，敏感芯体仍具有较好的灵敏度及高带宽特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111498795B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202010479167.6
申请日：2020-05-29
Applicant: 西安交通大学 , 陕西省计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种隔离槽阵列结构的压力传感器芯片及其制备方法，属于MEMS压阻式压力传感器领域，传感器芯片由浮雕薄膜结构层和背腔结构层组成，浮雕薄膜结构层分为浮雕层和薄膜层，浮雕层由位于薄膜内部带圆角的十字形结构组成，浮雕结构与薄膜边缘相接处布置有压敏电阻条，压敏电阻条的有效长度沿着压阻系数最大的晶向，且每个压敏电阻条内部间隙布置隔离槽阵列结构，使应力集中在制备压敏电阻条的位置上，提高了传感器的灵敏度。金属引线将四个压敏电阻条两两连接形成两个电阻，且将压敏电阻条与布置在基底上的四个焊盘连接，并与外置相同阻值的两个电阻连接组成惠斯通全桥实现电信号的输入输出。背腔是C型腔结构，制作工艺简单。
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公开(公告)号：CN114527166A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210045522.8
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/12 , G01N33/00 , C01G9/02 , C01B32/184 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种柔性二氧化氮气体传感器及其制备方法，通过将柔性基体超声处理，去除表面灰尘等杂质，然后将超声处理后的柔性基体在还原氧化石墨烯溶液中充分浸泡，自然干燥后形成附着还原氧化石墨层的传感器，利用柔性基体结构在还原氧化石墨溶液中充分浸泡，确保还原氧化石墨充分附着在柔性基体表面，避免脱落，然后在氧化锌量子点溶液中充分浸泡得到柔性二氧化氮气体传感器，还原氧化石墨层和氧化锌量子点层依次附着在柔性本体表面，在柔性本体弯曲折叠时，能够有效避免附着的RGO薄膜的脱落，有效提高NO2气体的传感性能。
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公开(公告)号：CN113746370A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110998554.5
申请日：2021-08-27
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种超低频多方向压电振动能量收集器及能量收集方法，能量收集器包括外壳、质量球和若干压电悬臂梁，若干压电悬臂梁的固支端与外壳侧壁连接，若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，若干压电悬臂梁的自由端向外壳的中心延伸，质量球设置于外壳内并位于若干压电悬臂梁的上方，所述质量能够在所述若干压电悬臂梁形成的支撑面上自由滚动。本发明若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，因此能够在不同方位下实现能量收集；采用的质量球和压电悬臂梁的结构，使得本发明在超低频条件下实现能量的收集，适用于可穿戴设备自供电。
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公开(公告)号：CN111313756B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202010239455.4
申请日：2020-03-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开一种机械整流式压电悬臂梁振动能量收集器，能量收集器包括底座、固定于底座的固支端、固支于固支端的压电悬臂梁、附加在压电悬臂梁尖端的质量块以及电极支架，质量块的上下表面分别设置有上活动电极和下活动电极，上活动电极和下活动电极分别与压电悬臂梁的两个引线连接；电极支架固定于底座上，电极支架上从上至下设置有上固定电极、中固定电极和下固定电极，上固定电极位于上活动电极的上方，中固定电极位于上活动电极和下活动电极之间，下固定电极位于下活动电极的下方，上固定电极和下固定电极相连。本发明能够使振动产生的压电交变电流通过机械整流器转换为直流电，避免了传统电子整流器的压降。
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公开(公告)号：CN111537116B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202010383731.4
申请日：2020-05-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯压力传感器及其制备方法，所述石墨烯压力传感器包括：聚二甲基硅氧烷基底、主电极对、辅电极对和石墨烯薄膜；所述聚二甲基硅氧烷基底上加工有空腔；所述主电极对和所述辅电极对设置于所述聚二甲基硅氧烷基底上，分别处于所述空腔的两侧；所述主电极对和所述辅电极对均设置有引线；所述石墨烯薄膜覆盖在所述空腔以及主电极对和辅电极对的引线上；其中，所述石墨烯薄膜通过所述聚二甲基硅氧烷基底的恢复势能实现张紧。本发明中，通过弯曲聚二甲基硅氧烷基底恢复平坦的势能，能够对聚二甲基硅氧烷基底空腔上方区域的石墨烯敏感薄膜进行预应力调节，使其张紧。
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