公开(公告)号：CN1201548A

公开(公告)日：1998-12-09

申请号：CN96198000.1

申请日：1996-10-15

申请人： 昆腾外围设备科罗拉多公司

发明人： 丹·W·昆塔那 ,  克里斯·布露萨连 ,  小约翰·凯尔 ,  乔治那·尼尔森 ,  乔格·杰迈尔卡 ,  罗伯特·切斯那特 ,  威廉姆·乔布里奇

IPC分类号： G11B5/127 ,  B44C1/22 ,  H01L21/00

CPC分类号： G11B5/3173 ,  G11B5/105 ,  G11B5/3103 ,  G11B21/21 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/4905 ,  Y10T29/49998 ,  Y10T29/53261 ,  Y10T29/53265 ,  Y10T29/53978 ,  Y10T29/53983

摘要： 公开一种用于通过批处理形成气浮支承表面的工具和相关方法,该表面形成在包括多个浮动块的各个条上。该工具具有一主体构件,具有沿长度方向确定Y轴,沿宽度方向确定的X轴和沿厚度方向确定的Z轴。主体构件具有的顶面形成为面向上的Z轴基准面。主体构件还形成有Y轴校准基准面和X轴校准基准面。各排行元件为了加工定位在该工具上,其中平台的上表面结合各个条的下表面,以保证在工具上沿Z轴的适当定位。Y轴校准基准面结合一锚定的条的其中一个纵向侧面,以保证沿Y轴的适当定位,X轴校准基准面贴合各个条的第二端面,以保证沿X轴的适当定位,各个条的顶面处在一公共的平面内。