公开(公告)号：CN102548471A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080042288.9

申请日：2010-09-10

申请人： 皇家飞利浦电子股份有限公司

发明人： N·米哈伊洛维奇 ,  J·J·L·霍里克斯 ,  W·C·J·比尔霍夫 ,  C·A·赫齐芒斯 ,  B·H·W·亨德里克斯

IPC分类号： A61B5/0402 ,  G01Q60/18 ,  A61B5/00 ,  A61B8/12 ,  G10K11/34 ,  G01Q20/02 ,  G01Q20/00 ,  G01Q10/00 ,  G02B26/10

CPC分类号： A61B5/0062 ,  A61B5/0068 ,  A61B5/0084 ,  G02B26/103

摘要： 一种具有探针的光学探针系统，该探针具有含有远端的光波导(G)。光波导(G)安装在外壳(H)内部，以使得远端相对于外壳(H)可产生位移。一组例如电磁驱动线圈的致动器(A)可以通过施加驱动信号(Vx，Vy)来使远端产生位移。控制单元(CU)产生驱动信号(Vx，Vy)以提供根据驱动信号(Vx，Vy)的幅值而变化的扫描频率。使用这样的探针系统，能够以随着扫描半径而变化的扫描频率来扫描视场。考虑到最大允许驱动电流，与以光学系统的机械共振频率扫描相比，由于能够以高扫描频率来扫描小半径，因此能够增加扫描速度。

公开(公告)号：CN216350792U

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202220470439.0

申请日：2022-03-07

申请人： 国仪量子(合肥)技术有限公司

发明人： 宋效明 ,  徐春风 ,  许克标 ,  张伟杰

IPC分类号： G01Q60/24 ,  G01Q10/00 ,  G01Q20/00 ,  G01Q30/00

摘要： 本实用新型公开了一种原子力显微镜，所述原子力显微镜包括：底板；磁铁，所述磁铁通过磁铁位移装置安装在所述底板上；样品台，所述样品台通过样品位移装置安装在所述底板上，所述样品台上适于放置样品；物镜，所述物镜通过物镜位移装置设在所述样品台上方；微波装置，所述微波装置与所述物镜位移装置相连且位于所述样品台上方；探针，所述探针通过探针位移装置设在所述样品台和所述物镜之间。根据本实用新型实施例的原子力显微镜具有位移调节精细等优点。

公开(公告)号：CN216434150U

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN202120513998.0

申请日：2021-03-11

申请人： 百及纳米技术(上海)有限公司

发明人： 周向前 ,  马欢 ,  朗格诺 ,  杜川

IPC分类号： G01Q10/00 ,  G01Q70/06 ,  G01Q20/00

摘要： 本实用新型提供了一种探针测量装置，包括，扫描控制模块，以及用于测量所述待测对象的多个探针，所述多个探针包括M个测量探针与N个预警探针，沿扫描运动方向，所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布；所述扫描控制模块被配置为能与所述多个探针发生信号交互；以获取探针的测量结果，并控制所述探针运动；在扫描运动时，预警探针相较于测量探针会先到达扫描运动方向的各个位置，基于预警探针可以识别障碍物，当检测到障碍物时，对测量探针产生预警，使得测量探针在到达障碍物之前就进行调整，而不需要降低横向速度来避免撞上障碍物，进而提高测量速度。