公开(公告)号：CN118376809A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410479988.8

申请日：2024-04-22

申请人： 清华大学深圳国际研究生院

发明人： 翟登云 ,  马晓蝶 ,  康飞宇

IPC分类号： G01Q20/00 ,  G01Q60/60 ,  G01N27/26

摘要： 一种SECM精确测定探针‑基底距离的方法，包括：a)搭建测试装置，其中探针作为工作电极，并接入对电极和参比电极；b)在电解池中加入适合待测样品的液相环境的溶液；c)移动探针至待测样品材料上方；d)控制探针连续下降逐渐接近基底样品，接近过程中，施加设定频率和振幅的交流电压信号激发探针尖端与基底样品之间的电化学响应，同时监测所述电化学响应以捕捉与基底样品表面距离相关的信号变化；e)对探针监测到的电化学响应信号进行分离和分析，以获得探针尖端电流值随距离变化的曲线；f)利用电流值变化曲线获得探针尖端与基底样品之间的精确距离信息。该方法高效便捷，测得的探针尖端与基底之间的距离信息精确度高。

公开(公告)号：CN112088313A

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN201980031135.5

申请日：2019-04-24

申请人： 通用电气公司

发明人： 布莱恩·克里斯多夫·莫里斯

IPC分类号： G01Q20/00 ,  G01Q30/04 ,  G01Q10/02

摘要： 本发明提供了一种探头驱动器，该探头驱动器能够具有在管道节段的第一位置处与该管道节段接合的耦接件。该探头驱动器还能够具有输入结构，该输入结构响应于指示该管道节段的第二位置的用户输入而致动。该探头驱动器还能够具有一个或多个定位元件，以响应于用户输入而重新定位管道节段，从而在管道节段的第二位置处与耦接件接合。

公开(公告)号：CN111902689A

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201980013891.5

申请日：2019-02-15

申请人： L.S.施泰力公司

发明人： 杰弗里·M·威尔金森

IPC分类号： G01B5/00 ,  G01B5/012 ,  G01Q20/00 ,  G01Q30/06

摘要： 一种具有对于取向误差的自动补偿和/或警报的计量设备。所述设备可以包括处理器、探针部分以及至少一个方向传感器。所述探针提供表示被测设备的特性的原始测量结果的输出，所述方向传感器提供表示所述计量设备相对于所述被测设备的取向的传感器输出。所述处理器响应于所述传感器输出而将校正因子应用于所述原始测量结果以建立补偿后的测量结果，从而补偿所述计量设备与所述被测设备的未对准。另外或替选地，所述处理器提供指示所述未对准的存在和/或程度的警报。

公开(公告)号：CN117043609A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202280020769.2

申请日：2022-01-20

申请人： 巴黎科学与文学联大 ,  国家科学研究中心 ,  索邦大学 ,  巴黎西岱大学

发明人： 安托万·尼格斯 ,  A·西里亚 ,  L·博凯

IPC分类号： G01Q20/00

摘要： 本发明涉及一种用于测量和/或改变试样的表面的装置，包括：试样架，该试样架具有第一区域，适于容纳相对于所述第一区域固定安装的试样；支承件；第一探头，该第一探头适于对表面的一点检测第一参数，并产生代表第一参数的第一测量信号；以及第二探头，该第二探头适于对表面的一点检测第二参数并产生代表第二参数的第二测量信号，第一参数不同于第二参数，或者第一探头和第二探头中的一个适于改变表面该点的表面第三参数。

公开(公告)号：CN111902689B

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN201980013891.5

申请日：2019-02-15

申请人： L.S.施泰力公司

发明人： 杰弗里·M·威尔金森

IPC分类号： G01B5/00 ,  G01B5/012 ,  G01Q20/00 ,  G01Q30/06

摘要： 一种具有对于取向误差的自动补偿和/或警报的计量设备。所述设备可以包括处理器、探针部分以及至少一个方向传感器。所述探针提供表示被测设备的特性的原始测量结果的输出，所述方向传感器提供表示所述计量设备相对于所述被测设备的取向的传感器输出。所述处理器响应于所述传感器输出而将校正因子应用于所述原始测量结果以建立补偿后的测量结果，从而补偿所述计量设备与所述被测设备的未对准。另外或替选地，所述处理器提供指示所述未对准的存在和/或程度的警报。

公开(公告)号：CN112534540A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN201980051063.0

申请日：2019-06-19

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： C.鲍尔 ,  M.布达赫

IPC分类号： H01J37/28 ,  G01Q20/00 ,  G01Q30/02

摘要： 本发明涉及用于检查和/或处理样品(400、2010)的设备(2400、2600)，所述设备包括：(a)用于提供带电粒子束(840)的扫描粒子显微镜(2410)，该带电粒子束可以被指引在样品(400，2010)的表面上；(b)具有可偏转探针(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)的扫描探针显微镜(2470)；(c)其中，检测结构(230、530、1030、1130、133、30、1630、1690、2630)附接到可偏转探针(200、500、800、900、1000、100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)。

公开(公告)号：CN107796957B

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201710770956.3

申请日：2017-08-31

申请人： FEI公司

发明人： Y·纽曼

IPC分类号： G01Q20/00 ,  G01Q30/02

摘要： 在探针向工件下降时，通过检测基本上平行于工件表面的平面中的探针的振动的变化来检测探针着陆。可以例如通过在探针移动时获取探针的多个电子显微镜图像并且分析图像来确定诸如振动的振幅的一特性以观察振动。当探针接触工件表面时，探针尖端和工件表面之间的摩擦将改变振动的特性，其可以被检测以指示探针已经着陆。

公开(公告)号：CN108139428A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201580083802.6

申请日：2015-10-13

申请人： 三思派科有限公司

发明人： 米科·瓦哈索伊林基

IPC分类号： G01Q20/00 ,  B25J7/00 ,  G01Q10/06 ,  B82Y35/00 ,  B81B3/00

摘要： 本发明涉及一种测量装置(120)，例如用于测试的测量装置，包括：用于引起传感器(150)相对于目标(110)的移动的微机械定位致动器(130)；定位控制器(145)，该定位控制器(145)具有输出端，该输出端耦合到致动器(130)以用于控制所述移动，且该定位控制器具有输入端，该输入端耦合到传感器(150)以用于接收从传感器(150)到定位控制器(145)的传感器信号，并且该定位控制器(145)被布置成基于传感器信号来控制所述移动。测量装置(120)可以具有用于存储定位控制指令(300)的存储器。定位控制器(145)可以被布置成基于所述传感器信号和所述定位控制指令(300)来控制所述移动。

公开(公告)号：CN105445498A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201510635044.6

申请日：2015-09-30

申请人： 哈尔滨理工大学

发明人： 李东洁 ,  张越 ,  盛宇佳

IPC分类号： G01Q30/02 ,  G01Q20/00

摘要： SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法，涉及微纳操作及控制领域。解决了在纳米操控领域，由于尺寸效应，易出现的纳米操作过程中轨迹规划困难及跟踪精度过低的问题。SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法包括以下步骤：步骤一、采用Attocube位移角与样本平台旋转角获得五次函数规划方法；步骤二、设计基于前馈和反馈联合控制的轨迹跟踪方法；步骤三、跟踪规划轨迹。本发明通过五次函数规划的轨迹，满足探针实际运动轨迹，且对微纳环境下轨迹跟踪的精度极高。本发明适用于微纳观环境下的探针轨迹规划及跟踪。

公开(公告)号：CN117849399A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202311499411.5

申请日：2023-11-10

申请人： 北京航空航天大学

发明人： 蔡微 ,  师鑫龙

IPC分类号： G01Q10/06 ,  G01Q20/00 ,  G01Q60/00 ,  G01Q90/00 ,  G05B19/042

摘要： 本发明提供一种开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统，包括：模拟信号调理和接口模块，与扫描探针显微镜探头的位置探测器连接，接收位置探测器采集到的力传感器信号；锁相放大模块，与模拟信号调理和接口模块连接，接收力传感器信号，并基于接收到的力传感器信号确定幅值、相位、X分量和Y分量；Z轴控制模块，与模拟信号调理和接口模块、锁相放大模块均连接，其接收力传感器信号，以及接收幅值和相位,并生成驱动压电扫描台在Z方向上移动的Z向控制信号；XY轴扫描控制和成像信号采集模块，与锁相放大模块、Z轴控制模块均连接，其接收幅值、相位或X分量、Y分量以及Z向控制信号，并生成驱动压电扫描台在X方向和Y方向上移动的XY控制信号。