一种组合使用的石墨坩埚
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116026142A

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202211574323.2

    申请日:2022-12-08

    发明人: 杨九福

    IPC分类号: F27B14/10

    摘要: 本发明公开了一种组合使用的石墨坩埚,其包括内坩埚体以及外坩埚体;内坩埚体的外壁上成型有壁槽,壁槽为呈螺旋线设置的盲槽,内坩埚体的外壁上包绕有抗拉单元,内坩埚体通过抗拉单元对内坩埚体的外壁施加周向束缚;外坩埚体略大于内坩埚体的外径,以使得内坩埚体在放入外容积腔后在外坩埚体内壁与内坩埚体外壁之间预留有5~8mm的容置间隙;外坩埚体的侧壁上成型有通孔作为泄压孔;外坩埚体在外容积腔的底面上成型有与内坩埚体底面相匹配的承载面,并在承载面外缘成型有与容置间隙下部相连的环槽,并在承载面上成型有横向贯穿的若干盲槽。本发明的石墨坩埚可有效提高石墨坩埚的质量,在半导体设备及制造领域具有广泛的应用前景。

    一种等静压石墨坩埚的涂层成型方法

    公开(公告)号:CN115819119A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211672659.2

    申请日:2022-12-26

    发明人: 杨九福

    IPC分类号: C04B41/89

    摘要: 本发明公开了一种等静压石墨坩埚的涂层成型方法,其以等静压石墨坩埚作为石墨坩埚基体进行涂层成型,成型时先利用SiC粉、Y2O3、酚醛树脂溶于无水乙醇制成均匀的SiC‑Y2O3料浆,然后将上述浆料利用浸渍法成型为过渡层,然后将Si粉、SiC粉以及石墨粉利用去离子水进行混合后加入聚乙烯醇,水浴加热得到涂层浆料;再即将上述涂层浆料以压力喷涂方式喷涂于过渡层表面,然后再送入焙烧炉中,在保护气体环境下高温烧结得到带涂层的成品等静压石墨坩埚。本发明能有效提高等静压石墨坩埚的耐高温特性和抗氧化性能,可以保证等静压石墨坩埚的耐用性。

    一种适用于石墨制品的修坯铣刀

    公开(公告)号:CN115805666A

    公开(公告)日:2023-03-17

    申请号:CN202211623740.1

    申请日:2022-12-16

    发明人: 杨九福

    IPC分类号: B28D1/18

    摘要: 本发明公开了一种适用于石墨制品的修坯铣刀,其包括铣刀盘,铣刀盘上成型有第一装配部以及第二装配部;第一装配部装配有第一类刀头,第一类刀头为硬质合金切削刀头;第二装配部装配有第二类刀头,第二类刀头包括硬质合金刀体以及成型于硬质合金刀体外缘的刃部,硬质合金刀体在外缘具有向刃部一侧凸出的梳齿型凸起,刃部成型于梳齿型凸起位置,刃部包括碳化硼陶瓷基体,碳化硼陶瓷基体表面沉积有金刚石膜层;第一类刀头与第二类刀头的刃面均向外伸出铣刀盘盘面;铣刀以第一类刀头与第二类刀头之间的铣刀盘空间作为排屑空间。本发明能兼顾石墨制品的修坯效率和修坯效果,同时能有效提高刀具的整体使用寿命,降低石墨制品的生产成本。

    石墨坩埚防潮装置
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111772367A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201911256820.6

    申请日:2019-12-10

    发明人: 杨九福

    摘要: 本发明公开了一种石墨坩埚防潮装置,包括安装支架、安装与所述安装支架的升降板组件及盖板组件,所述安装支架包括底板、与所述底板相对设置的顶板及连接所述底板与所述顶板的支撑杆,所述升降板组件包括设置于所述底板与所述顶板之间的卡接板及与所述卡接板连接的升降装置,所述盖板组件包括设置于所述顶板与所述卡接板之间的盖板,所述卡接板包括本体部及沿所述顶板至所述底板方向贯穿所述本体部的卡接槽。与相关技术相比,本发明提供的石墨坩埚防潮装置,结构简单且能够对石墨坩埚进行防潮保护。

    一种组合式石墨烧结舟皿
    35.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213041031U

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN202021937739.2

    申请日:2020-09-08

    发明人: 杨九福

    IPC分类号: F27D5/00

    摘要: 本实用新型公开了一种组合式石墨烧结舟皿,包括石墨基板以及壁板,其石墨基板为圆形或者椭圆形,下表面光滑并成型有环形底座,而上表面成型有盲槽作为烧结区域;石墨基板的上表面外缘还成型有一个装配槽,装配槽为与石墨基板外轮廓线相匹配的环形槽,环形槽具有向盲槽侧倾斜的斜面,装配槽的内侧成型有一个插接槽;所述壁板为环形板,且与所述石墨基板外轮廓线相匹配,壁板具有不同的高度以及与装配槽以及插接槽相匹配的下表面,可石墨基板上进行可替换插装,而壁板的上表面上还成型有叠装槽来辅助进行上、下叠装。本实用新型能对石墨烧结舟皿进行零配化组合,有效提高石墨烧结舟皿的部件使用率,提高资源的合理利用率。

    一种石墨粉干燥装置
    36.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212902470U

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN202021912188.4

    申请日:2020-09-04

    发明人: 杨九福

    摘要: 本实用新型公开了一种石墨粉干燥装置,所述干燥腔为隧道腔,两侧设置有进料口以及出料口,干燥腔底部设置有送料走道;所述干燥腔沿送料走道设置有第一干燥腔、第二干燥腔以及第三干燥腔,第一干燥腔与第三干燥腔为微波干燥腔,第二干燥腔为热风干燥腔,同时在第一干燥腔、第二干燥腔以及第三干燥腔的顶部设置有相连通的夹层空间,第一干燥腔、第二干燥腔以及第三干燥腔与所述夹层空间相连,所述夹层空间在出料口一侧的端面设置有出风口,并通过出风口外接有抽风机。本实用新型通过三级腔室结构进行微波和热风的组合形式进行干燥,使得石墨粉的干燥效果更好,干燥效率更高。

    一种合金烧结用石墨舟皿
    37.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213135044U

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202021913010.1

    申请日:2020-09-04

    发明人: 杨九福

    IPC分类号: B22F3/10

    摘要: 一种合金烧结用石墨舟皿,包括舟皿皿体,所述舟皿皿体具有底板以及侧壁,其特征在于,所述侧壁上设置有开有对穿的通气孔,所述底板具有光滑的底面,并在底面的边角位置设置有叠装槽;而在所述底板的上表面为合金烧结面,所述合金烧结面的底面对应的剖面轮廓线为下凹的弧形面,并在所述弧形面上成型有与通气孔同向设置的凸条,所述凸条具有剖面为矩形的下部以及剖面为倒梯形或者倒三角形的上部,其矩形剖面下部与合金烧结面的底面成型为一体,而倒梯形剖面具有位于同一水平面的顶面。本实用新型工艺简单,加工方便,具有较佳的强度和结构稳定性,可广泛应用于粉末冶金行业。

    一种石墨加工用修坯镗刀
    38.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213471725U

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202021938440.9

    申请日:2020-09-08

    发明人: 杨九福

    IPC分类号: B28D1/00 B28D7/00

    摘要: 本实用新型提供了一种石墨加工用修坯镗刀,包括刀杆、刀架以及弹性装配环套,所述刀杆上部连接刀柄,并通过刀柄与机床进行连接装配;所述刀架为圆盘刀架,所述圆盘刀架的外圆面上均匀设置有若干刀座,所述刀座表面成型有氧化锆陶瓷垫块,所述氧化锆陶瓷垫块表面装配有加工刀片;所述弹性装配环套包括同心设置的内环套以及外环套,内环套与外环套之间成型有错位设置弧形簧片组,所述内环套固定套装于所述刀杆上,并能随刀杆转动,而所述刀架则装配于所述外环套上。本实用新型能有效保证对石墨上预开孔的侧壁修坯效果,避免多次进刀修坯,可有效提高石墨工件上的加工工作效率和修坯效果。

    一种石墨坩埚的包装结构
    39.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213139844U

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202021912980.X

    申请日:2020-09-04

    发明人: 杨九福

    摘要: 本实用新型公开了一种石墨坩埚的包装结构,其包括蜂窝纸板箱体,其箱体外切于石墨坩埚的外轮廓线,并在箱体内表面上涂装有一层聚氨酯防水涂料;箱体顶面开口,并通过箱盖封闭;箱体底面上成型有卡板以及垫板,卡板和垫板与箱体截面相匹配,所述卡板为胶合板,其上表面上成型有与石墨坩埚底面相匹配的盲槽,所述垫板为蜂窝纸板,穿装于石墨坩埚的底部位置;所述箱体在连接边的外侧通过L形压合纸板进行包边;而在所述箱体的竖向连接边内侧则成型有顶靠于石墨坩埚侧壁上的聚氨酯泡沫衬块。本实用新型工艺简单,加工方便,且能实现对包装内石墨坩埚进行固位保护。

    一种用于多晶熔铸炉的石墨坩埚盖板

    公开(公告)号:CN213142284U

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202021937780.X

    申请日:2020-09-08

    发明人: 杨九福

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 本实用新型公开了一种用于多晶熔铸炉的石墨坩埚盖板,其包括上盖板、下盖板以及若干侧压块,上盖板上设进气孔,下盖板上设置有多个环形凸起,所述多个环形凸起中的最外侧环形凸起为完整的环形凸起,而最外侧环形凸起内侧的其他环形凸起上均匀设置有若干将环形凸起打断的横向连通孔;环形凸起之间以及环形凸起外侧对应的下盖板面上均匀成型有气孔;所述侧压块在外侧对上盖板、下盖板进行相对位置固定,且上盖板和下盖板通过侧压块固定后的板间间距大于等于环形凸起的高度,并在所述侧压块底部设置有用于卡装石墨侧护板的U型卡槽。本实用新型的石墨坩埚盖板具有较佳的结构稳定性,能够降低硅锭中碳杂质的引入,提高硅片转换效率。