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公开(公告)号：CN102362146B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201080013587.X
申请日：2010-02-26
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为特定波长的输出强度；积分反射度设定步骤，将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度；及积分反射度分布曲线生成步骤，边改变特定波长，边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。
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公开(公告)号：CN102439415A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080016220.3
申请日：2010-04-06
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/002 , G01N21/956 , G01N2021/8887
Abstract: 本发明涉及影像对中方法，包括：登录阶段，用第一倍率光学系拍摄检测对象后在拍摄到的第一倍率图像中设定欲寻找的检测区域位置并登录为原型图像；拍摄阶段，用倍率比第一倍率高的第二倍率光学系按规定顺序拍摄检测对象而获得目标图像；缩小阶段，将在拍摄阶段获得的目标图像缩小成第一倍率大小并登录为检测图像；匹配阶段，在原型图像中检索检测图像；对中阶段，若通过匹配阶段检测到检测图像则移动第二倍率光学系或检测对象，使之对应于在登录阶段设定的检测区域的位置。这样即使没有光学系的比率转换也能迅速获得最终图像。而在随着检索过程中的移动而登录的目标图像中只显示原型图像的一部分或者不显示时也能获得检测区域位于中央的最终图像。
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公开(公告)号：CN102428344A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201080022149.X
申请日：2010-04-12
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体，所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球，其特征是包括：中心部确定步骤，获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部；图像获得步骤，在被检测体上形成正弦波图纹，并获得同时包括基板上面和焊锡球的整合图像；相位值确定步骤，在整合图像中选定通过焊锡球中心部的虚拟直线—基准线，并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为焊锡球中心部的相位值，在位于基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为基板的相位值；及高度计算步骤，由焊锡球中心部的相位值和基板的相位值之间的差，计算从基板上面到焊锡球中心部的高度。
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