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公开(公告)号:CN106104202B
公开(公告)日:2019-08-02
申请号:CN201580013650.2
申请日:2015-03-20
申请人: 科磊股份有限公司
发明人: 阿姆农·玛纳森 , 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿维·阿布拉莫夫
IPC分类号: G01B11/25
CPC分类号: G01N21/8806 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0229 , G01J3/2823 , G01N21/47 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95623 , G01N2021/8848 , G01N2201/06 , G03F7/70633
摘要: 提供进行以下操作的方法及系统:相对于光谱范围及/或偏振而图案化计量目标的照明;用所述经图案化照明来照明计量目标;及通过在光瞳平面处将来自光瞳平面图像的选定光瞳平面像素引导到相应单检测器而测量从所述目标散射的辐射,所述引导是通过将收集图案应用于所述光瞳平面像素而进行。单检测器测量(压缩感测)具有经增加光敏感性,其用于图案化所述照明且相对于预定义计量参数进一步增强所检测到的经散射辐射的信息量。
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公开(公告)号:CN109564393A
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201780046063.2
申请日:2017-07-11
申请人: ASML荷兰有限公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/70625 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/95676 , G03F7/70508 , G03F7/70633
摘要: 公开了一种重建在衬底上通过光刻过程形成的结构的特性的方法,以及相关的量测设备。该方法包括将与光刻过程相关的第一参数的测量值组合以获得第一参数的估计值;以及使用第一参数的估计值和结构的测量值重建与结构的特性相关的至少第二参数。组合步骤可以包括对第一参数的变化建模以获得第一参数的参数模型或指纹。
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公开(公告)号:CN109270089A
公开(公告)日:2019-01-25
申请号:CN201811283197.9
申请日:2018-10-31
申请人: 杭州智数创联科技有限公司
IPC分类号: G01N21/956
CPC分类号: G01N21/956
摘要: 本发明提供了快速获取铜版纸印刷网点扩大的方法。本发明包括如下步骤:印刷网点扩大质量控制标准信息库的建立;建立过程控制体系,完成CTP设备线性化校正;设计网点扩大专用测试标版并进行输出;依标准程序完成印刷机校正;采取标准化测试方法进行印刷测试,得到标准测试样张;获取测试样张的密度、网点扩大值;建立不同加网条件下的网点扩大查找表数据库;调用带刻度的网点扩大测试图用于生产验证并优化。本发明克服了企业必须通过专用测量仪器才能获取印刷网点扩大值的缺陷,实现印刷过程控制简单、高效,降低了企业在印刷质量控制上的设备投入成本。
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公开(公告)号:CN108713127A
公开(公告)日:2018-10-26
申请号:CN201780014921.5
申请日:2017-02-15
申请人: CKD株式会社
IPC分类号: G01B11/24 , G01B9/02 , G01B11/02 , G01N21/88 , G01N21/956
CPC分类号: G01B9/02 , G01B11/02 , G01B11/24 , G01N21/88 , G01N21/956
摘要: 提供一种三维测量装置,能够利用波长不同的光扩大测量范围,并且通过测量效率。三维测量装置(1)包括:第一投光系统(2A),使作为第一波长光和第二波长光的合成光的第一光入射至入射偏振分光器(60)的第一面(60a);第二投光系统(2B),使作为第三波长光和第四波长光的合成光的第二光入射至入射偏振分光器(60)的第二面(60b);第一拍摄系统(4A),能够将从所述第二面(60b)射出的第一光涉及的输出光分离为第一波长光涉及的输出光和第二波长光涉及的输出光并分别拍摄这些光;以及第二拍摄系统(4B),能够将从所述第一面(60a)射出的第二光涉及的输出光分离为第三波长光涉及的输出光和第四波长光涉及的输出光并分别拍摄这些光。
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公开(公告)号:CN105557082B
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201480050260.8
申请日:2014-09-11
申请人: 株式会社高永科技
IPC分类号: G01N21/956
CPC分类号: G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N21/95684 , G01N2021/8896 , G01N2021/95638 , G01N2201/121 , G06T5/006 , G06T2207/20076 , G06T2207/30141
摘要: 本发明涉及基板检查时的补偿矩阵生成方法。所述方法包括:在基板上的测量区域(FOV)内,任意选择预先设置的N1(N1≥2)个特征客体的信息的步骤;以所述基板上的提取的特征客体的信息为基础,生成第一补偿矩阵的步骤;把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵,并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值,从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的数量进行计数的步骤;把所述步骤反复执行N2次(N2≥1),在所述计数的特征客体的数量为最大的情况下,利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信息,生成第二补偿矩阵的步骤。
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公开(公告)号:CN108351311A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201680052394.2
申请日:2016-08-03
申请人: 胜高股份有限公司
IPC分类号: G01N21/956 , G01B11/30 , H01L21/66
CPC分类号: G01B11/30 , G01N21/956
摘要: 本发明提供一种能够检查晶圆表面上有无凹坑的晶圆检查方法。本发明的晶圆检查方法的特征在于,包括:使用第1光学系统(10)选出晶圆(1)的缺陷的工序;从所述已选出的缺陷选定凹坑候选的工序;及使用第2光学系统(20),将所述凹坑候选分类为凹坑及凹坑以外的缺陷的工序。
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公开(公告)号:CN105866736B
公开(公告)日:2018-07-06
申请号:CN201610206961.7
申请日:2016-04-05
申请人: 华中科技大学
发明人: 郭鹏
CPC分类号: G01B11/14 , G01B11/002 , G01B11/25 , G01B11/2513 , G01B11/26 , G01N21/956 , G06T7/60
摘要: 本发明公开了一种基于光图案的室内定位方法,包括以下步骤:(1)设置光图案发射装置;(2)对所述待定位目标的光信号进行检测;(3)定位所述待定位目标的位置,得到该待定位目标距扇叶旋转轴的距离ρ,以及该待定位目标相对基准线的偏转角度θ。本发明通过对光图案发射装置的组成及设置、以及相应的基于光图案的室内定位方法的测量参数等进行改进,与现有技术相比能够有效解决室内定位精度不高的问题,该室内定位方法可实现厘米级定位精度,并且定位目标数量多,定位范围广;此外,该室内定位方法对定位目标的硬件功能要求不高,可大大扩展应用范围。
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公开(公告)号:CN105209891B
公开(公告)日:2018-04-27
申请号:CN201380076519.1
申请日:2013-05-13
申请人: 富士机械制造株式会社
发明人: 野泽辰次
IPC分类号: G01N21/956 , H05K13/08
CPC分类号: H04N5/2353 , G01N21/956 , G06T7/0004 , G06T2207/30152 , H05K13/0817
摘要: 元件安装机(11)具备:利用相机(21)拍摄由吸嘴(19)吸附的元件(18)的下表面而检查转印到该元件(18)下表面的突起上的焊料的转印状态的转印检查装置(37);生成转印检查数据的转印检查数据生成装置(36)。转印检查数据生成装置(36)以多个快门速度执行利用相机(21)拍摄转印前的元件(18)的下表面的处理,而获取快门速度不同的多个转印前的图像而求出转印前的突起部分的像素值,并且以与转印前相同的多个快门速度执行利用相机(21)拍摄转印后的元件(18)的下表面的处理,而获取快门速度不同的多个转印后的图像而求出转印后的突起部分的像素值,基于转印后的突起部分的像素值来决定转印检查时使用的快门速度。基于以所决定的快门速度拍摄的图像的转印前后的突起部分的像素值来生成转印检查数据。
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公开(公告)号:CN107907552A
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201711190476.6
申请日:2017-11-24
申请人: 江苏凯源电子科技股份有限公司
IPC分类号: G01N21/956
CPC分类号: G01N21/956 , G01N2021/95646
摘要: 本发明的一种电路板锡面检查工艺,用于PCB板中零件锡焊面检查工艺。本发明的有益效果是:通过该锡面检查工艺可快速检测修补区域的锡面情况,发现问题时及时将不良品标示出来,并送维修;从而实现加快生产进程,大大提高了工作效率。
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公开(公告)号:CN107894579A
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201710916575.1
申请日:2017-09-30
申请人: 广东博立科技有限公司
IPC分类号: G01R35/04 , G01N21/956 , H05K13/08
CPC分类号: G01R35/04 , G01N21/956 , G01N2021/95638 , H05K13/08
摘要: 本发明公开一种智能电表的生产工艺,包括PCBA组装、成品组装和成品包装三大工序,其中,PCBA组装具有17道工序,成品组装具有14道工序,其一,本发明在人工作业的基础上,加入了大量自动设备,减轻工人的工作量,提高效率,并且能降低人力成本。其二,采用扫码技术与数据库技术,使不同订单的电表在生产中按照号码段进行区分,避免不同订单的电表相互混合现象的发生,误检情况少,生产效率高,经济效益好,控制环境友好。其三,在生产过程中加入多个检测工位,从外观、性能等各个方面对智能电表做多次检查,确保生产品质。其四,在不同工位加入生产用的辅助设备,使电表的生产和组装更为简易。
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