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公开(公告)号：CN209481776U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201920091946.1
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/22
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜用旋转式开合挡板，旋转装置固定在真空镀膜设备上，在真空镀膜设备的下方设置若干根第一连接柱，连接固定旋转导轨固定板，在旋转导轨固定板上设置旋转导轨槽；在旋转导轨槽内设置若干个滚轮；在滚轮设置在第二连接柱的一端；第二连接柱的另一端连接固定圆弧齿条；在圆弧齿条的后侧固定挡板；在圆弧齿条上啮合小齿轮；小齿轮上设置与旋转装置相连接的旋转轴。利用旋转装置带动圆弧齿条以及挡板在旋转导轨槽内做圆弧或者圆周运动；保证了挡板在真空镀膜设备内进行圆周运动，解决了在镀膜设备中不需要安装多块的挡板的不足，降低了生产的成本，解决了挡板与挡板之间缝隙没有办法全部覆盖的技术问题。
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公开(公告)号：CN207178714U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135246.5
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，固定套环的内部设置若干个叶片；叶片呈上下对称设置；每个叶片的背面铆接一转轴；转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个叶片的上方设置一轴座；每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将每个轴套用联动推杆串联；在法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接；采用了多叶片式的结构以及采用联动推杆串联叶片的结构；配合转动执行装置可以实现远程自动化的控制的同时，多叶片式节流阀的开合角度采用转动执行装置的控制；保证了多叶片式节流阀的控制精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN207176071U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721134548.0
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种多功能用途的水冷电极，包括铜电极、进水管、进水接头、出水接头、分水法兰，铜电极的上方设置进水接头，进水接头设置在分水法兰上，在分水法兰的另一侧设置出水接头，其特征在于，进水接头的下方设置进水管，进水管插入设置在铜电极上的空腔内；出水接头连通铜电极上的空腔，形成热交换区；在电极上通过水冷的形式来降低电极的工作温度；通过水进入电极内部的形式，将电极内部的温度进行降温，通过温度传导，利用冷却水的循环作用降低电极的温度，从而延长了电极的寿命；降低了应用的成本。
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公开(公告)号：CN207176066U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135273.2
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转靶用磁路组件，包括上端部、靶材、磁路组件、下端部，所述的旋转靶用磁路组件包括靶材制成的筒体；在所述的筒体内部设置磁路组件，其特征在于，在所述的磁路组件中设置冷却水通道；所述的冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；可以将冷却水通过冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；实现在旋转靶用磁路组件上实现的冷却水的接入以及循环使用。
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公开(公告)号：CN205566676U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215893.6
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转接触式加热装置，包括电源和加热电路和加热丝，加热丝连接有两根铜导线，一根导线连接在正极，另外一根连接到负极，其中，所述加热电路连接有电机,所述加热丝上端设置第一匀热盘，在加热丝的下端设置第二匀热盘，所述第一匀热盘和第二匀热盘通过固定连接成一体，所述第二匀热盘与加热主体连接在一起。与现有技术相比，本装置通过中空轴内部连接导线，外部连接电刷的方式，使加热与旋转组合到一起，可以获得更高的温度。
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公开(公告)号：CN205556779U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215895.5
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备，包括有放卷室和收卷室，其中，在放卷室和收卷室之间设置有加热组件，所述加热组件包括有热屏蔽固定杆，在热屏蔽固定杆上设置放卷夹持辊和收卷夹持辊，在放卷夹持辊和收卷夹持辊设置加热丝。所述支撑管为可升降的。在放卷夹持辊上端设置工艺进气装置，在放卷夹持辊下端设置排气装置。在放卷夹持辊左端设置放卷热屏蔽组件，在收卷夹持辊右端设置收卷热屏蔽组件。在收卷轴转动密封装置的左侧设置水冷辊转动密封装置。
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公开(公告)号：CN205556760U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620216457.0
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种升降转动定位装置，包括有四个支撑架以及位于支撑架上的上面板，上面板中设置有腔体，腔体包括有上盖，腔体的一端设置有支撑管，支撑管通过焊接板组件与上盖相连，支撑管的上端设置有轴套，其中，在轴套上设置有卡环法兰，卡环法兰上设置有定位块，定位块中设置有定位孔，在焊接板组件上设置一个定位螺栓，所述定位螺栓与定位孔相匹配。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：与现行设备相比，增加上盖转动定位装置以后，设备操作过程安全、灵活，可控程度高。
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