一种基于MEMS的压力传感器
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104132767A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410360832.4

    申请日:2014-07-25

    Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器,包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理,其作用是感应被测介质的压力,输出与压力信号变化成比例的电信号;信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路,用于给压力敏感芯体供电,同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能,实现高精度的信号调理;基座和外壳提供与管路的接口,并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构,可靠性高,尺寸小,重量轻,适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。

    一种适用于多压力工况下的隔离式电磁比例平衡阀

    公开(公告)号:CN108426070B

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201810165754.0

    申请日:2018-02-28

    Abstract: 一种适用于多压力工况下的隔离式电磁比例平衡阀,包括包括磁路平衡装置和压力平衡装置;磁路平衡装置包括外导磁体、线包、隔磁环、静铁心、主弹簧、导磁盖、比例磁环、衔铁、定位弹簧、压紧环,压力平衡装置包括阀体、阀杆、阀芯、导流环、底盖、大密封圈、中密封圈和小密封圈,该阀门采用大漏磁磁路和比例磁环设计,使得电磁阀的电磁力能够近似线性的增长,实现与弹簧力的平衡,保证衔铁受力平衡和稳定,同时在液路上采用平衡压力设计使介质静压、动压可以被相互抵消,使衔铁受力状态与压力无关,不仅可以提高工作压力范围,也能适应于压力变化和波动的特殊工况。

    一种响应时间可调的先导电磁阀结构

    公开(公告)号:CN105952953B

    公开(公告)日:2018-03-09

    申请号:CN201610335265.6

    申请日:2016-05-19

    Abstract: 一种响应时间可调的先导电磁阀结构,包括先导部分和主阀部分,先导部分包括先导阀体(1)、先导阀弹簧(2)、线圈(3)、外导磁体(4)、先导阀衔铁(5)、先导阀口密封件(6)、先导阀阀座(7),主阀部分包括调节阻尼(8)、O型密封圈(9)、活塞(10)、主阀弹簧(11)、主阀阀体(12)、主阀口密封件(13)、主阀阀芯(15)、端盖(16)。本发明结构简单、紧凑、质量较轻,先导阀开启所需功耗较低,响应时间可以通过先导阀阀座(7)中心孔直径、先导阀阀座(7)与活塞(10)之间的气容、调节阻尼(8)的直径三个参数来进行调节。通过精确计算兼顾开启和关闭时间,合理设置上述三个参数,可以兼顾质量、功耗和响应时间三个指标。

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