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公开(公告)号：CN115985967A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310059649.X
申请日：2023-01-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/227 , H01L21/34 , H01L21/477 , H01L21/02 , C23C16/40
Abstract: 本发明公开了一种掺铪氧化锌薄膜晶体管及其制备方法，属于薄膜晶体管技术领域，掺铪氧化锌薄膜晶体管包括自下至上依次叠放的衬底、栅介质层、中间层、有源层和源漏电极，其中，中间层的材料为氧化铪，中间层的厚度为30～50nm；有源层的材料为掺铪氧化锌。制备方法包括：(T1)在下面设有衬底的栅介质层上，通过原子层沉积生长氧化铪薄膜，作为中间层；(T2)在中间层上，通过原子层沉积生长掺铪氧化锌并图案化，作为有源层；(T3)空气退火处理后，在有源层上通过直流磁控溅射沉积制备导电薄膜并图案化，作为源/漏电极，得到掺铪氧化锌薄膜晶体管。本发明通过改进薄膜晶体管的结构和/或制备方法，有效提高了薄膜晶体管的偏置稳定性和场效应迁移率。
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公开(公告)号：CN113791130B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202110991527.5
申请日：2021-08-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/414 , G01N33/531 , G01N33/569
Abstract: 本发明属于生物传感器领域，公开了一种Ni3(HITP)2场效应晶体管生物传感器及其制备方法，该制备方法是基于Ni3(HITP)2场效应晶体管，先制备溶液液槽，使液槽内溶液能够与晶体管的沟道区域相接触，随后将戊二醛交联剂修饰至沟道区域材料表面，再将新冠病毒抗原蛋白探针分子通过戊二醛交联剂固定至沟道材料表面，由此得到Ni3(HITP)2场效应晶体管生物传感器；该液槽能够容纳待测液体，利用生物传感器的电学性能变化，实现对待测液体中新型冠状病毒抗体分子检测。本发明通过对生物传感器的细节结构进行设计改进，得到的生物传感器能够实现对新型冠状病毒抗体分子(尤其是低浓度新型冠状病毒抗体分子)的快速灵敏检测，检测限低至10pg/mL。
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公开(公告)号：CN115452914A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210966479.9
申请日：2022-08-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/333 , G01N27/403
Abstract: 本发明公开了一种用于燃料电池型H2气体传感器中的膜电极及其制备方法，制备方法包括：将SnO2粉末或SnO2‑Pd粉末加至氯铂酸溶液并加入柠檬酸钠搅拌，得到物质A；在冰水浴条件下，将硼氢化钠碱性溶液加至物质A中，60℃～90℃水浴加热1～2h，得到物质B；将物质B离心洗涤，干燥后得到目标粉末，目标粉末为Pt/SnO2粉末或Pt/SnO2‑Pd粉末，其中，Pt/SnO2为经Pt纳米粒子修饰的SnO2，Pt/SnO2‑Pd为经Pt纳米粒子修饰的SnO2‑Pd，目标粉末中Pt：SnO2的质量比区间为将目标粉末配置成电极浆料后，利用电极浆料制备电极层并黏附于Nafion膜两侧，形成膜电极。将膜电极组装至燃料电池型H2气体传感器结构中，可以大大提高传感器对氢气的检测灵敏度，降低传感器检测下限。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115304096A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202211018680.0
申请日：2022-08-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化铟纳米颗粒晶圆级成膜方法、薄膜及应用，属于纳米粒子物理法成膜技术领域，成膜方法包括：按照氧化铟纳米颗粒材料：乙醇：烷基硫醇＝(100‑500)mg：(10‑50)ml：(1‑5)ml的比例，对氧化铟纳米颗粒材料进行疏水化处理；以烷基醇为分散剂、疏水化处理后的氧化铟纳米颗粒材料为分散质，配置浓度为10‑50mg/ml的分散液；利用移液枪向盛有液相物体的容器中注射分散液，直至薄膜铺满整个液面；利用1‑4英寸的晶圆捞取薄膜并晾干；对晾干后附着有薄膜的晶圆进行退火处理，以提升薄膜与晶圆衬底的界面结合力。成膜方法简单、可重复性强、成本低廉，可制备4英寸晶圆级薄膜，且具有普适性。
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公开(公告)号：CN114002300B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202111202253.3
申请日：2021-10-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/414
Abstract: 本发明公开了一种基于液栅型场效应晶体管生物传感器的电路检测系统，属于人体健康检测技术领域。包括：主控模块，输出控制电压，接收电压信号处理模块输出的检测结果数字电压信号，判断其是否在正常值范围内；负压控制模块，将主控模块输出的控制电压转换为模拟电压，并实现负压输出，为液栅型场效应晶体管生物传感器提供不随传感器电阻变化而发生变化的源漏电压和栅极电压；电压信号处理模块，将液栅型场效应晶体管生物传感器输出的检测结果电流信号反相后转变为检测结果电压信号并将该信号转变为检测结果数字电压信号；电源模块，为上述模块提供电压。本发明为液栅型场效应管传感器提供相匹配的电路系统，实现简单、高灵敏度的生物指标检测。
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公开(公告)号：CN112924498B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202110087661.2
申请日：2021-01-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于气敏传感材料领域，具体涉及一种钯单原子修饰的氧化锡复合材料及其制备方法和应用，方法包括将氧化锡颗粒在水中充分分散均匀，并向分散液中加入四氨合硝酸钯，充分搅拌之后进行固液分离和洗涤，得到钯前驱体离子修饰的氧化锡复合结构；对钯前驱体离子修饰的氧化锡复合结构进行快速升温和高温煅烧，得到钯单原子修饰的氧化锡复合结构，其中，升温的速度保证氧化锡颗粒快速锚定住钯前驱体离子避免在氧化锡颗粒表面聚集。本发明制备的氧化锡复合材料具有良好的气敏特性，可作为电阻型半导体气体传感器的传感层，与现有技术相比能够有效解决仪器昂贵、操作复杂、无法现场实时检测的问题，实现对氢气的超灵敏、快响应、低成本检测。
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公开(公告)号：CN114002300A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111202253.3
申请日：2021-10-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/414
Abstract: 本发明公开了一种基于液栅型场效应晶体管生物传感器的电路检测系统，属于人体健康检测技术领域。包括：主控模块，输出控制电压，接收电压信号处理模块输出的检测结果数字电压信号，判断其是否在正常值范围内；负压控制模块，将主控模块输出的控制电压转换为模拟电压，并实现负压输出，为液栅型场效应晶体管生物传感器提供不随传感器电阻变化而发生变化的源漏电压和栅极电压；电压信号处理模块，将液栅型场效应晶体管生物传感器输出的检测结果电流信号反相后转变为检测结果电压信号并将该信号转变为检测结果数字电压信号；电源模块，为上述模块提供电压。本发明为液栅型场效应管传感器提供相匹配的电路系统，实现简单、高灵敏度的生物指标检测。
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公开(公告)号：CN110988047B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201911071417.6
申请日：2019-11-05
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明属于单原子级催化剂材料领域，公开了一种钯单原子掺杂的氧化铟复合材料及其制备与应用，其中制备方法包括以下步骤：(1)利用硝酸铟、间苯二甲酸、丙酮、N，N‑二甲基甲酰胺、去离子水制备铟系有机框架材料；(2)在铟系有机框架材料上负载钯离子得到钯离子修饰的铟系有机框架复合材料；(3)进行退火，得到钯单原子掺杂的氧化铟复合材料。本发明通过对制备方法关键的整体流程工艺设计等进行改进，利用铟系有机框架材料负载钯离子，再通过退火最终得到钯单原子掺杂的氧化铟复合材料，与现有技术相比能够有效解决贵金属纳米催化剂掺杂的金属氧化物中可能存在多种尺度的催化剂粒子的问题，实现钯单原子的负载修饰。
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