一种硅片应力的多通道快速扫描检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118624073A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410704452.1

    申请日:2024-06-03

    Abstract: 本发明公开了一种硅片应力的多通道快速扫描检测装置及方法,该装置包括探测激光发射器、扩束准直镜、起偏器、第一DOE分光模块、硅片样品搭载模块、4个分支模块、放大及模数信号转换模块和和计算机;每个分支模块包括1/4波片、第二DOE分光模块、检偏器模块和光电探测器模块;探测激光发射器发出的探测光,经过扩束准直镜后入射起偏器变为线偏振光,入射第一DOE分光模块后分为多束光同时穿过硅片样品,分别入射1/4波片后变为圆偏振光,再经第二DOE分光模块后被分为四束平行光,被光电探测器模块接收后,经放大及模数信号转换模块后将数据信号传至计算机,使用偏振成像算法对其进行数据处理,最后得到主应力差值图,以此分析硅片样品的损伤情况。本发明结构设计合理,使用方便,具有硅片应力检测中的多通道快速扫描的优势。

    一种利用声悬浮器与雾化器实现LIBS对液体检测的信号增强系统及方法

    公开(公告)号:CN118443656A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410683777.6

    申请日:2024-05-30

    Abstract: 本发明公开了一种利用声悬浮器与雾化器实现LIBS对液体检测的信号增强系统及方法。液体样品被雾化器雾化为由微小液滴组成的气溶胶柱,气溶胶柱经过雾化器前方设置的声悬浮器后被汇聚,激光器发射的脉冲激光经过反射镜和平凸透镜聚焦到经过汇聚后的气溶胶柱上产生光学击穿,形成等离子体并辐射出光谱信号;光谱信号经过收集透镜和光谱仪,最终被光谱信号采集单元所配置的CCD相机接收并探测;信号处理单元用于控制激光器和光谱仪,使激光器的脉冲激光出光频率与光谱仪采集频率同步,并使用计算机将接收到的光谱信号以数据的形式处理后得到测量结果。本发明可以有效增强LIBS在液体中的光谱信号强度,具有光学结构简单和实现成本低廉的优点。

    一种自适应波前整形激光充电系统及其充电方法

    公开(公告)号:CN107947393B

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN201711115919.5

    申请日:2017-11-13

    Abstract: 本发明公开了一种自适应波前整形激光充电系统及其充电方法,包括连续激光器、准直系统、云台、太阳能电池板、计算机、变形反射镜、红外相机、电池输出功率实时监测无线发射模块和若干片贴片式温度传感器;连续激光器发出的激光经变形反射镜反射到准直系统,经准直系统准直放大后,射到太阳能电池板的前表面上,贴片式温度传感器以阵列形式粘贴在太阳能电池板后表面,电池输出功率实时监测无线发射模块将贴片式温度传感器的温度数据和太阳能电池板的实时输出功率采集后以无线形式传给计算机,变形反射镜和红外相机分别与计算机连接,红外相机的镜头对准太阳能电池板前表面。本发明有效解决了太阳能电池板局部温度过高或光照强度分布不均匀的问题。

    一种提高激光超声SAFT缺陷定位速度的方法

    公开(公告)号:CN111122700B

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN201911289990.4

    申请日:2019-12-16

    Inventor: 张宏超 张婉 袁玲

    Abstract: 本发明公开了一种提高激光超声SAFT缺陷定位速度的方法,包括以下步骤:将待测样品置于激光器的扫描区域,并在样品表面按照一定步长设置一系列检测点;根据激光超声波在样品内传播的方向性,针对每个检测点确定一系列非固定步长的激发点;固定一探测点,脉冲激光器在样品表面激发激光超声,激光探测装置在检测点接收超声回波信号,直至扫描完成所有的激发点;改变检测点位置,重复以上步骤,直至所有检测点都处理完毕;利用SAFT算法,在相应区域内逐点完成反射回波信号处理;将所有检测点的计算结果累加,即可得到样品内部缺陷的成像结果。本发明利用激光超声波传播的方向性,减少了激发点密度,同时减少数据处理时间,从而提高了检测速度。

    基于环形光束激光超声合成孔径聚焦成像装置及方法

    公开(公告)号:CN113406003A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110445131.0

    申请日:2021-04-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于环形光束激光超声合成孔径聚焦成像装置及方法,该装置包括激发光源系统、探测光源系统、信号输出与控制系统以及待测系统,通过使用激发光源系统中的圆锥透镜,使得单点的激发光束变为环状激发光束,在探测光源系统中合束镜将探测光束和环形激发光束合成同心后,使用干涉仪获得待测样品表面的振动信息,最后利用待测系统中的步进电机完成对待测样品表面的二维扫描。该装置在提高检测缺陷内部微小缺陷的识别能力和成像分辨率的同时,减少了扫描时间,大大提高了系统的工作效率。

    基于激光超声椭圆成像的自由曲面缺陷探测方法及系统

    公开(公告)号:CN112362732A

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN202011127885.3

    申请日:2020-10-21

    Abstract: 本发明公开一种基于激光超声椭圆成像的自由曲面缺陷探测方法及系统。获得被测样品的三维面形,在样品表面设置一系列激发点与检测点,并固定一检测点,脉冲激光线源在样品表面各激发点依次激发激光超声,激光探测装置在检测点接收声表面波反射信号,直至扫描完成所有的激发点,激光超声信号输入计算机;改变检测点位置,重复上述步骤;在待测区域内分别逐点计算到达激发点和检测点的曲面最短距离,利用椭圆成像算法,完成反射回波信号处理,将所有检测点的计算结果累加,得到样品面缺陷的成像结果。本发明通过计算曲面上两点之间测地线距离,得到激光激发的超声表面波在曲面上的传播路径,使用椭圆成像算法,实现了对自由曲面样品面缺陷的探测。

    适用于激光充电的太阳能电池阵的无线充电方法

    公开(公告)号:CN108282034B

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201810062442.7

    申请日:2018-01-22

    Abstract: 本发明公开了一种适用于激光充电的太阳能电池阵的无线充电方法,根据组成太阳能电池阵的太阳能电池片发电情况,结合了用户需求。本发明按照电压要求、电流要求及最大功率要求三种不同情况,自动的选择具有较高光电转换效率的电池片进行动态组合,输出功率。本发明最大优点是可以针对太阳能电池板的电池片不同光伏发电情况及用户要求,灵活组成电路并且做到效率最大化。

    一种玻璃材料应力的在线实时测量系统及其测量方法

    公开(公告)号:CN110836740A

    公开(公告)日:2020-02-25

    申请号:CN201911072483.5

    申请日:2019-11-05

    Inventor: 尚奇 陆健 张宏超

    Abstract: 本发明公开了一种玻璃材料应力的在线实时测量系统及其测量方法,该系统装置包括连续激光器、准直系统、起偏器、滑轨载物台、DOE光束分光模块、光电检测模块、放大及AD转换模块和计算机。待测玻璃样品固定在滑轨载物台上,可沿横向和纵向移动,便于测量不同位置应力值。光电检测模块包括二维载物台和四个光电探测器,四个光电探测器固定于二维载物台,用于调节光电探测器探测位置,共光轴依次设置连续激光器、准直系统、起偏器、滑轨载物台、DOE光束分光模块和光电检测模块,光电检测模块、放大及AD转换模块和计算机依次连接。本发明不需要对数据进行调制解调,实验数据计算简便,无需机械转动,一次测量即可获得所需所有数据,可以实现快速测量。

    一种焦距仪用五档变倍镜头

    公开(公告)号:CN107479176B

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201710741356.4

    申请日:2017-08-25

    Abstract: 本发明公开了一种焦距仪用五档变倍镜头。该镜头通过变焦与变物距,实现各个档位之间的切换,达到变倍的效果,包括顺次设置的第一部分、第二部分、第三部分,其中:第一部分包括第一双胶合透镜,第一部分为变倍组,提供光焦度,并通过移动实现档位之间的切换,达到变倍的功能;第二部分包括顺次设置的第一个双凸透镜和第二双胶合透镜,第二部分为补偿组,用于档位切换后的补偿校正像差;第三部分包括第三双胶合透镜、第四双胶合透镜和第一弯月透镜,第三部分为固定组,用于校正球差与色差。本发明测量镜头检测范围广,使用镜片少,符合未来焦距仪自动化测量的趋势。

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