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公开(公告)号：CN103335753B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310220562.2
申请日：2013-06-05
Applicant: 厦门大学
Abstract: 硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法，涉及一种超微压力传感器。提供一种高可靠性且适用于潮湿、酸碱、静电等恶劣环境下的具有自封装结构的硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法。所述硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片为盒状结构，设有带空腔的基底和感压薄膜；所述感压薄膜设有凸起的梁结构，形成梁膜复合结构；所述感压薄膜的应力集中区的下表面设有连接成惠斯登电桥的4个压敏电阻，通过基底与感压薄膜的键合将压敏电阻密封于真空压力腔中；所述惠斯登电桥通过键合界面预置电极与外界实现电连接。第一阶段：SOI晶圆片上的工艺制作；第二阶段：基底部分的制备；第三阶段：键合及后续工艺。
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公开(公告)号：CN103343425B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201310320045.2
申请日：2013-07-26
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种柔性多孔碳化硅微纳米纤维毡的制备方法，涉及碳化硅纤维。提供一种纤维直径小、纳米孔富集，可实现柔性多孔特点的柔性多孔碳化硅微纳米纤维毡的制备方法。将良溶剂与非溶剂按比例混合并搅拌均匀，得到混合溶剂；将碳化硅陶瓷先驱体含硅聚合物溶于该混合溶剂中，加入电解质，搅拌至完全溶解，得到静电纺丝液；将得到的静电纺丝液通过静电纺丝装置进行静电纺丝，连续纺丝得到不同厚度的先驱体微纳米纤维毡；将得到的先驱体微纳米纤维毡升温，经干燥和氧化交联后，在惰性气氛保护下，再升温，然后经高温热解，即得柔性多孔碳化硅微纳米纤维毡。工艺简单、生产效率高，得到的纤维直径在0.5～3um，纳米孔洞直径5～100nm。
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公开(公告)号：CN103979968B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410229437.2
申请日：2014-05-28
Applicant: 厦门大学
IPC: C04B35/56 , C04B35/626
Abstract: 一种SiCO微米陶瓷长方体的制备方法，涉及一种微米陶瓷。在0.8g模板剂F127中加入0.032g热交联剂过氧化二异丙苯，再溶解在5ml二甲苯溶液中，搅拌后得混合液A；将0.8g的陶瓷先驱体聚乙烯基硅氮烷，溶解在5ml乙醇中，搅拌后得混合液B；将混合液A和B混合，搅拌后得混合液C；将混合液C倒在聚四氟乙烯盘上，在50℃的烘箱中保温,然后130℃交联后，得淡黄色透明薄膜，取出后脱膜，然后在惰性气氛中热解薄膜，在薄膜表面得SiCO微米陶瓷长方体。制备的SiCO微米陶瓷长方体的棱长为0.5～2μm，且稳定性好。在复合材料以及高温器件设计等领域应用。设备投资少，操作容易，工艺简单，重复性好。
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公开(公告)号：CN103360019B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201310301788.5
申请日：2013-07-18
Applicant: 厦门大学
Abstract: 碳化硅纤维毡增强的二氧化硅气凝胶复合材料的制备方法，涉及一种气凝胶复合材料。首先利用静电纺丝技术结合先驱体转化法制备纤维直径小，孔隙率高且孔隙互通，浸渍速度快、与基体相容性好的富碳碳化硅微纳米陶瓷纤维毡，经过酸-碱两步法配制二氧化硅溶胶，通过浸渗工艺将静电纺碳化硅陶瓷纤维毡或预制件浸入溶胶中，经过凝胶、陈化、老化、溶剂置换、超临界干燥等工艺后，得到碳化硅纤维毡增强的二氧化硅气凝胶复合材料。所制备的复合材料具有密度低、比表面积大、超疏水、热导率低等特点以外，其强度韧性也得到大幅度提高，且富碳碳化硅纤维具有红外遮光作用，可提高复合材料的隔热效果和超高温稳定性。
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公开(公告)号：CN104016360A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410208098.X
申请日：2014-05-16
Applicant: 厦门大学
IPC: C01B33/16
Abstract: 一种疏水亲油柔软气凝胶块体及其制备方法，涉及气凝胶。所述疏水亲油柔软气凝胶块体为二甲基二乙氧基硅烷和前驱体甲基三乙氧基硅烷的复合物；疏水亲油柔软气凝胶块体的密度为0.056～0.072g/cm3，有机溶剂吸附率为1280～1430％。将二甲基二乙氧基硅烷、前驱体甲基三乙氧基硅烷、醇溶液、表面活性剂和水混合，再分别加入酸催化剂和碱催化剂后得到溶胶；将得到的溶胶倒入密封容器，放置后得到凝胶；将得到的凝胶用醇溶液浸泡老化，去除表面活性剂，以加强凝胶的骨架强度，置换出凝胶中的水，减少干燥时对骨架的破坏，得湿凝胶；将老化后的湿凝胶放入反应釜中干燥，即得疏水亲油柔软气凝胶块体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104014286A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410208146.5
申请日：2014-05-16
Applicant: 厦门大学
IPC: B01J13/02
Abstract: 一种TiO2-SiO2复合气凝胶的制备方法，涉及气凝胶。将溶剂、水和硅源混合，配制溶液A，将钛源和酸混合，配制溶液B，将溶液A加入溶液B中，配制成TiO2-SiO2溶胶，溶胶-凝胶反应后，得TiO2-SiO2复合醇凝胶，再超临界干燥，即得TiO2-SiO2复合气凝胶。结合溶胶凝胶技术和乙醇超临界干燥技术，制备方法简单，成本低，周期短，其中TiO2-SiO2复合醇凝胶配制时间可缩短至10min，超临界干燥时间可缩短至3h，整个制备周期可缩短至8h。采用共水解法所制备的TiO2-SiO2复合气凝胶，密度在220kg/m3以下，BET比表面积大都在600m2/g以上，具有良好的光催化性能。
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公开(公告)号：CN103343425A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310320045.2
申请日：2013-07-26
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种柔性多孔碳化硅微纳米纤维毡的制备方法，涉及碳化硅纤维。提供一种纤维直径小、纳米孔富集，可实现柔性多孔特点的柔性多孔碳化硅微纳米纤维毡的制备方法。将良溶剂与非溶剂按比例混合并搅拌均匀，得到混合溶剂；将碳化硅陶瓷先驱体含硅聚合物溶于该混合溶剂中，加入电解质，搅拌至完全溶解，得到静电纺丝液；将得到的静电纺丝液通过静电纺丝装置进行静电纺丝，连续纺丝得到不同厚度的先驱体微纳米纤维毡；将得到的先驱体微纳米纤维毡升温，经干燥和氧化交联后，在惰性气氛保护下，再升温，然后经高温热解，即得柔性多孔碳化硅微纳米纤维毡。工艺简单、生产效率高，得到的纤维直径在0.5～3um，纳米孔洞直径5～100nm。
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公开(公告)号：CN103073297A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310058172.X
申请日：2013-02-22
Applicant: 厦门大学
IPC: C04B35/56 , C04B35/626 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种SiCO陶瓷纳米球的制备方法，涉及一种陶瓷纳米球。提供操作方便、简单，效率较高，所制备的产物粒径分布均匀的一种SiCO陶瓷纳米球的制备方法。在结构导向剂F127(EO106-PO70-EO106)中加入热交联剂过氧化二异丙苯，再溶解在四氢呋喃溶液中，然后依次加入聚乙烯基硅氮烷和氯仿，得混合溶液；将混合溶液倒在聚四氟乙烯盘上，在烘箱中保温，交联后脱膜，得淡黄色透明薄膜；将得到的淡黄色透明薄膜在惰性气氛中热解，在薄膜表面获得粒径均匀的SiCO陶瓷纳米球。制备过程简单，可以高效地制备SiCO纳米球，解决了在工艺上制备的复杂性、不易控制等缺点。
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公开(公告)号：CN114907127B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202210501121.9
申请日：2022-05-09
Applicant: 厦门大学
IPC: C04B35/577 , C04B35/10 , C04B35/48 , C04B35/80 , C04B35/622 , C04B35/645
Abstract: 一种基体改性的SiC/SiC复合材料及其制备方法，涉及碳化硅陶瓷基复合材料的制备。包括以下步骤：S1：制备改性NITE‑SiC浆料预制板：将纳米SiC粉体、改性颗粒、聚碳硅烷与有机溶剂混合成浆料后干燥制成浆料预制板；S2：交替堆叠：将SiC纤维布与浆料预制板交替、叠层，加压固定获得SiC/SiC胚体；S3：热压烧结：将胚体在惰性气体气氛下高温下加压烧结，获得基体改性的SiC/SiC复合材料。可降低NITE制备SiC/SiC复合材料的难度，在制备NITE‑SiC浆料时引入改性颗粒，提高SiC/SiC复合材料的性能，扩宽SiC/SiC复合材料的应用领域。
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公开(公告)号：CN108033764B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201711387572.X
申请日：2017-12-20
Applicant: 厦门大学
IPC: C04B30/00 , C04B38/10 , C04B111/40 , C04B111/52
Abstract: 一种隔音隔热气凝胶泡沫复合材料及其制备方法，涉及气凝胶材料。隔音隔热气凝胶泡沫复合材料以SiO2气凝胶为基相，十二烷基硫酸钠作为发泡剂，明胶为增强相。制备明胶溶液；气凝胶与明胶复合；气凝胶泡沫材料的干燥：冷却至室温的SiO2气凝胶泡沫，经过8～24h的自然干燥后，采用上下夹板式的模具将气凝胶泡沫夹住，在湿度为20％～40％RH的常温恒湿箱中干燥，当湿气凝胶泡沫完全干燥后，得到隔音隔热气凝胶泡沫复合材料。通过控制明胶的含量、疏水型SiO2气凝胶的含量、添加剂和水的含量及成型工艺，控制SiO2气凝胶泡沫的密度、强度和隔音、隔热性能；工艺简单、原料廉价，可大规模制备明胶/SiO2气凝胶复合材料。
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