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公开(公告)号:CN113432627B
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN202110308462.X
申请日:2021-03-23
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: T.S.库克
Abstract: 一种电子位置编码器包括标尺和检测器。该检测器包括磁场产生线圈(FGC),该磁场产生线圈具有细长部分(EP),该细长部分限定了与感测绕组对准的所产生磁场区域(GFA),以提供对与所产生的磁场相互作用的标尺做出响应的位置信号。感测元件和EP被制造在检测器的“前”层。在“后”层制造的横向导体部分(TCP)通过馈通连接FGC的EP。在前层和后层之间的层中的屏蔽区域拦截TCP朝向前层的至少大部分投影,以消除不期望的信号效应。FGC馈通产生GFC馈通杂散磁场。将感测绕组信号连接到检测器后层的馈通对经过特殊配置,以减轻不期望的信号效应,这些信号效应可能是由它们与GFC馈通杂散磁场的耦合造成的。
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公开(公告)号:CN114689093A
公开(公告)日:2022-07-01
申请号:CN202111680212.5
申请日:2021-12-30
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: T.S.库克
IPC: G01D5/244
Abstract: 一种感应式位置编码器包括标尺、检测器和信号处理器。标尺包括沿测量轴(MA)布置的具有空间波长W1的信号调制元件(SME)的周期性图案。检测器包括感测元件和生成变化磁通量的场生成线圈。感测元件包括导电回路,所述导电回路响应于对相邻SME提供的变化磁通量的局部影响而提供检测器信号。导电回路中的一些或全部根据回路内移位关系配置,其中回路的相等“移位比例”在相反方向上移位W1/4K。K为奇整数。回路内移位关系可用以抑制检测器信号中的K次空间谐波分量,同时还克服长期存在的不利布局问题。所述回路内移位关系与滤除其他空间谐波信号分量的“回路宽度”空间滤波技术轻松组合。
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公开(公告)号:CN113432629A
公开(公告)日:2021-09-24
申请号:CN202110309019.4
申请日:2021-03-23
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: T.S.库克
Abstract: 一种电子位置编码器,包括标尺和检测器。该检测器包括磁场产生线圈(FGC),该磁场产生线圈具有界定产生磁场区域的细长部分和感测区域,两者都沿着标尺对准。感测区域中的感测元件响应于与所产生的磁场相互作用的标尺而提供位置信号。感测元件和细长部分被制造在检测器部分的“前”层中。制造在“后”层中的交叉屏蔽端部部分(SES)通过馈通而连接细长部分。感测元件区域比FGC的细长部分长。正交于这些层的SES的投影与感测元件区域中的感测元件重叠。导电屏蔽区域CSR配置在被置于前层和后层之间的CSR层中,以拦截SES朝向重叠的感测元件的至少大部分投影。
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公开(公告)号:CN109959398B
公开(公告)日:2021-06-29
申请号:CN201811570920.1
申请日:2018-12-21
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: T.S.库克
IPC: G01D5/245
Abstract: 一种间距补偿感应式位置编码器,包括刻度、检测器和信号处理部,所述刻度包括具有波长为W的周期性图案的第一轨道和第二轨道。第二轨道图案可沿测量方向相对于第一轨道图案以图案偏移量STO偏移。在所述检测器中,第一轨道场生成线圈部分和第二轨道场生成线圈部分在分别与第一图案轨道和第二图案轨道对齐的第一内部区域和第二内部区域中生成场。分别与第一轨道和第二轨道对齐的第一感测线圈构造和第二感测线圈构造沿测量方向相对于彼此偏移STO+/‑0.5*W。在各实施例中,如果生成场极性不同,则第一感测线圈构造和第二感测线圈构造可以具有相同顺序的单个线圈极性,如果生成场极性相同,则可具有倒置或相反的顺序。
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公开(公告)号:CN111141200A
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201911058456.2
申请日:2019-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD),其包括沿着中心轴线定位在探头中的线圈板配置,运动体积在线圈板配置的相对侧上延伸。线圈板配置包括N个顶部旋转感测线圈(RSCs)和顶部轴向感测线圈配置(ASCC),以及N个底部RSC和底部ASCC。一对探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X-Y(旋转)方向移动。线圈板配置的产生线圈(GC)产生变化的磁通量(例如,包含所有或至少一部分扰动器),并且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。在一些实施方式中,导线扰动器的面积可以大于产生线圈的面积,且导电扰动器可以各自包括多个同心的导电回路、螺旋线等。
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公开(公告)号:CN107782343B
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201710734221.5
申请日:2017-08-24
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: T.S.库克
IPC: G01D5/22
Abstract: 提供了一种电子位置编码器,包括刻度、检测器和信号处理配置。刻度沿着x轴方向延伸,并且包括信号调制刻度图案。检测器包括感测元件和包围内部线圈区域的场生成线圈。场生成线圈包括通过端部部分连接的第一和第二长形部分,第一和第二长形部分各自沿着x轴方向延伸。长形部分具有沿着y轴方向的标称生成迹线宽度尺寸,在各种实施例中,标称生成迹线宽度尺寸是标称内部线圈区域宽度尺寸的至少0.1倍。在各种实施方式中,检测器的导电屏蔽区域可以降低场生成线圈的端部部分的屏蔽的端部区段对于感测元件的影响。屏蔽的端部区段可以位于与长形部分不同的PCB层中。
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公开(公告)号:CN110657827A
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201910572924.1
申请日:2019-06-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: T.S.库克
IPC: G01D5/14
Abstract: 一种电子位置编码器,包括标尺、检测器、和信号处理结构,该标尺具有按波长λ1周期性布置的信号调制元件(SME)的第一图案轨道和按波长λ2周期性布置的SME的第二图案轨道。检测器包括磁场产生线圈结构、配置为基于第一图案轨道提供检测器信号的第一组传感元件和配置为基于第二图案轨道提供检测器信号的第二组传感元件。第一组传感元件包括经由至少第一对和第二对连接线连接到信号处理结构的第一空间相位子组传感元件和第二空间相位子组传感元件,所述第一对和第二对连接线包括延伸经过或重叠于第二图案轨道的相应跨越段。相应跨越段定位在沿测量轴线方向按距离N×λ2间隔开的位置处,其中N为整数。
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公开(公告)号:CN110657826A
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201910572670.3
申请日:2019-06-28
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/14
Abstract: 一种感应类型位置编码器包括标尺、检测器部分和信号处理器。标尺沿测量轴线布置的信号调制元件(SME)的周期性图案,具有空间波长W1。图案中的一类SME包括相似的导电板或环路。检测器部分包括传感元件且磁场产生线圈产生变化磁通量。传感元件可以包括沿测量轴线布置的导电环路部分且配置为提供检测器信号,该检测器信号对通过邻近SME提供的变化磁通量上的局部效应做出响应。在各种实施方式中,第一类型的SME具有沿测量轴线方向的平均尺寸DSME,其大于DSEN且至少为0.55×W1且最大为0.8×W1,其提供有利的检测器信号特性。
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公开(公告)号:CN110319860A
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201910256052.8
申请日:2019-04-01
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: T.S.库克
IPC: G01D5/249
Abstract: 一种电子位置编码器包括:标尺,包括具有沿y轴线方向的轨道宽度尺寸,该y轴线方向垂直于x轴线测量轴线方向;检测器;和信号处理结构。检测器包括固定在多层印刷电路板(PCB)上的磁场产生线圈结构,其包括磁场产生线圈部分,该磁场产生线圈部分围绕对准图案轨道的内部区域且包括具有沿y轴线方向的迹线宽度的第一和第二窄长部分,其为内部区域的y轴线宽度的至少0.1倍。检测器包括沿x轴线方向布置且固定在PCB上的导电接收器环圈。至少使用PCB的内部铜层制造第一和第二窄长部分,且使用至少一个铜层制造导电接收器环圈,该至少一个铜层比内部铜层更靠近检测器的面对标尺图案的前表面。
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公开(公告)号:CN116428970A
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202211649710.8
申请日:2022-12-21
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供了一种计量系统,该计量系统用于与移动端部工具(例如,探头)的移动系统一起使用。该计量系统包括传感器结构、光束源结构和处理部。该传感器结构包括多个光束传感器。该光束源结构将光束引导到该传感器结构的该光束传感器。该光束源结构或该传感器结构中的一者耦合到该端部工具和/或移动该端部工具的该移动系统的端部工具安装结构。被引导到该光束传感器的该光束使该光束传感器产生对应的测量信号。处理部处理来自该光束传感器的该测量信号,该测量信号指示该端部工具的位置和取向。
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