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公开(公告)号:CN116428970A
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202211649710.8
申请日:2022-12-21
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供了一种计量系统,该计量系统用于与移动端部工具(例如,探头)的移动系统一起使用。该计量系统包括传感器结构、光束源结构和处理部。该传感器结构包括多个光束传感器。该光束源结构将光束引导到该传感器结构的该光束传感器。该光束源结构或该传感器结构中的一者耦合到该端部工具和/或移动该端部工具的该移动系统的端部工具安装结构。被引导到该光束传感器的该光束使该光束传感器产生对应的测量信号。处理部处理来自该光束传感器的该测量信号,该测量信号指示该端部工具的位置和取向。