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公开(公告)号:CN108206237A
公开(公告)日:2018-06-26
申请号:CN201711094954.3
申请日:2017-11-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供一种压电元件以及压电元件应用设备,该压电元件在含Mn的KNN类压电材料中,明确了作为添加物而被包含在结晶中的Mn的价数的最佳状态,并且实现了压电体层的结晶取向性的提高,具有优异的绝缘性。该压电元件具备:第一电极,其被形成于基板上;压电体层,其被形成于所述第一电极上,并由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)以及锰(Mn)的钙钛矿结构的复合氧化物构成;第二电极,其被形成于所述压电体层上,其中,锰包括二价的锰(Mn2+)、三价的锰(Mn3+)、四价的锰(Mn4+),二价的锰相对于三价的锰与四价的锰之和的摩尔比(Mn2+/(Mn3++Mn4+))为1以上且10以下,且钾相对于钠的摩尔比(K/Na)为1.1以下。
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公开(公告)号:CN107053848A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201611224574.2
申请日:2016-12-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: H01L41/27 , B41J2/14233 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0472 , H01L41/0805 , H01L41/083 , H01L41/1873 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件,具备第1电极;压电体层,该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜,上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌,上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌;以及第2电极,该第2电极形成在压电体层上,压电体层是多个压电体膜的层叠体,第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度,分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度,在第1电极侧高,在第2电极侧低。
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公开(公告)号:CN104253207B
公开(公告)日:2017-06-30
申请号:CN201410120033.X
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/183 , B06B1/06 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C04B35/462 , C04B35/4682 , C04B35/475 , C04B2235/3201 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3234 , C04B2235/3236 , C04B2235/3255 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/76 , C04B2235/765 , C04B2235/768 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/181
Abstract: 本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置,上述压电材料可减少环境负担,在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高,并且居里温度也高。上述压电材料含有:第1成分,由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成;第2成分,由为菱面体以外的晶体的且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成;第3成分,由为与上述第2成分相同的晶系且居里温度为Tc3的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成,上述Tc1比上述Tc2高,上述Tc3为上述Tc1以上。
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公开(公告)号:CN106486595A
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201610740490.8
申请日:2016-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , B41J2/045
Abstract: 一种压电元件,具备第1电极,利用溶液法形成于上述第1电极上且由含有钾、钠及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层,以及设置在上述压电体层上的第2电极,上述压电体层在通过θ-2θ测定得到的X射线衍射图案中具有来自(200)面的峰和来自(002)面的峰。
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公开(公告)号:CN104253207A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410120033.X
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/183 , B06B1/06 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C04B35/462 , C04B35/4682 , C04B35/475 , C04B2235/3201 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3234 , C04B2235/3236 , C04B2235/3255 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/76 , C04B2235/765 , C04B2235/768 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/181
Abstract: 本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置,上述压电材料可减少环境负担,在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高,并且居里温度也高。上述压电材料含有:第1成分,由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成;第2成分,由为菱面体以外的晶体的且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成;第3成分,由为与上述第2成分相同的晶系且居里温度为Tc3的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成,上述Tc1比上述Tc2高,上述Tc3为上述Tc1以上。
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公开(公告)号:CN102233729B
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201110087450.5
申请日:2011-04-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 酒井朋裕
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/1878
Abstract: 本发明提供液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件,上述液体喷射头所具备的压电体层对环境的负担小、且具有良好的压电特性,上述液体喷射装置具备该液体喷射头。本发明涉及的液体喷射头(600)具备压电致动器(102),该压电致动器(102)包括由薄膜法形成的压电体层(30)以及对压电体层(30)施加电压的电极(10、20)。液体喷射头(600)的压电体层(30)是包含钛酸铋钠和0.2摩尔%~8.0摩尔%的锰的固溶体。
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公开(公告)号:CN102233729A
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN201110087450.5
申请日:2011-04-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 酒井朋裕
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/1878
Abstract: 本发明提供液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件,上述液体喷射头所具备的压电体层对环境的负担小、且具有良好的压电特性,上述液体喷射装置具备该液体喷射头。本发明涉及的液体喷射头(600)具备压电致动器(102),该压电致动器(102)包括由薄膜法形成的压电体层(30)以及对压电体层(30)施加电压的电极(10、20)。液体喷射头(600)的压电体层(30)是包含钛酸铋钠和0.2摩尔%~8.0摩尔%的锰的固溶体。
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公开(公告)号:CN102189800A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN201110060961.8
申请日:2011-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14072 , C01G23/003 , C01G29/006 , C01P2002/52 , C04B35/462 , C04B35/475 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3215 , C04B2235/3284 , C04B2235/3298 , C04B2235/768
Abstract: 本发明提供减少环境负荷、压电特性优异的液体喷射头以及液体喷射装置。该液体喷射头具备压力发生室和压电致动器,所述压力发生室与喷出液体的喷嘴开口连通,所述压电致动器具备由具有钙钛矿型构造的复合氧化物形成的压电材料层和设置在该压电材料层的电极层,所述复合氧化物含有铋、钠、钡、钛和锌,锌相对于钛和锌的总量的比例为0.35mol%以上且1.25mol%以下。
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