一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵

    公开(公告)号:CN107420291A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710568562.X

    申请日:2017-07-13

    摘要: 本发明提出了一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵,旨在提高微泵泵送量,同时降低驱动电压,简化微泵结构,提高微泵在工作时的可靠性,包括上盖板、进口阀、上框架、泵膜、下框架、下盖板和出口阀。上盖板固定在上框架上表面,其上设置有进口阀口,进口阀安装在该阀口的下端,下盖板固定在下框架下表面,其上设置有出口阀口,出口阀安装在该阀口的下端;所述泵膜由第一导电层、第一介质层、第二导电层、驱动电极、第三导电层和第二介质层复合而成,固定在上框架和下框架之间,形成容积可变的泵腔。本发明微泵在低驱动电压下可实现泵腔容积的大变形,响应时间快,同时具有绿色环保的特性,可用于流体微量传送系统中。

    一种高极化强度铁酸铋厚膜材料体系及中低温制备方法

    公开(公告)号:CN105336845A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201510628242.X

    申请日:2015-09-28

    申请人: 欧阳俊

    摘要: 本发明提供了一种高极化强度铁酸铋厚膜材料体系及中低温制备方法,包括基体、缓冲层、底电极、铁酸铋介电层、顶电极,以半导体单晶为基体,缓冲层为金属或金属氧化物薄层,底电极为惰性金属薄层。提供的制备工艺中材料体系的晶化温度较低(≤500℃),利于大面积硅集成电路的应用;低的晶化温度大大降低了材料体系中元素的挥发,避免了材料氧空位等缺陷的产生并获得了具有优异性能的膜材料,其饱和极化强度高达~130μC/cm2,可承受的外电压不小于200V。本发明工艺流程、设备操作简单,所用原材料均为市场所售,成本较低,易于器件集成,适合于工业化推广及生产。