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公开(公告)号：CN103477416A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280017078.3
申请日：2012-03-29
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/302 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , G21K5/02 , G21K5/04 , G21K5/10 , H01J37/302 , H01J2237/30483
Abstract: 一个实施例涉及离子注入器。该离子注入器包括：离子源，用于产生离子束，以及扫描仪，用于使离子束沿着第一轴在工件的表面上进行扫描。该离子注入器还包括：偏转滤波器，位于扫描仪的下游，用于使离子束沿着第二轴在工件的表面上抖动地扫描。
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