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公开(公告)号：CN104640038A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410635314.9
申请日：2014-11-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS换能器的系统和方法。一种如本文所描述的实施例包括具有第一微机电系统(MEMS)换能器元件、第二MEMS换能器元件和半导体衬底的MEMS。第一MEMS换能器元件和第二MEMS换能器元件布置在半导体衬底的顶面处，并且半导体衬底包括在声学上耦接至第一MEMS换能器元件和第二MEMS换能器元件的共享的腔体。
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