公开(公告)号：CN101438126B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200680044391.0

申请日：2006-09-27

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： 阿兰·阿南斯·艾

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B11/0675

Abstract: 本发明一种用于根据外差光学信号获取高精确的相位偏移信息的自参考外差反射计系统和方法，不用一个参考晶片来校正。该自参考外差反射计在外差反射(HR)模式和自参考(SR)模式之间快速转换，其中在HR模式使用了包括以ω和ω+Δω的分离角频率极化的s和p极化光束分量的HR光束，在SR模式使用了包括以ω和ω+Δω的分离角频率极化的p极化光束分量的SR光束。当两个测量快速连续的进行时，假设检测器中的温度感应噪声对两个测量是相同的。从HR光束中产生一个测量相位偏移δRef/film，从SR光束中产生一个参考相位偏移δRef/Sub。从HR光束的差拍信号产生的测量相位偏移δRef/film用于薄膜厚度测量。SR光束是p极化的，不会从薄膜表面产生显著的反射，并且不会携带任何属于薄膜的相位信息。从SR光束的差拍信号产生的参考相位偏移δRef/Sub等同于使用参考样本得到的信息。然后从测量相位偏移δRef/film和与温度造成的相位偏移无关的参考相位偏移δRef/Sub得到薄膜相位偏移信息。从薄膜相位偏移信息计算得到薄膜厚度。

公开(公告)号：CN1817027B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200480018951.6

申请日：2004-03-09

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： 库尼·安德鲁·威克斯

IPC: H04N3/14 ,  H04N5/335 ,  H04N5/235 ,  H04N5/238 ,  H01L27/148 ,  H01L29/768 ,  H01L27/00

CPC classification number: H04N5/347 ,  G01J3/2803 ,  H04N3/1525 ,  H04N3/155 ,  H04N3/1562 ,  H04N5/355 ,  H04N5/35563 ,  H04N5/3728

Abstract: 本发明涉及一种用于提高CCD传感器的动态范围而基本不会增大噪声的装置、方法和软件产品。一开始，将N×M像素CCD传感器的区域细分成两个区域，在每一列内具有(M-a)个像素的用于输出具有低噪声的大幅度信号的大区域，和在每一列内具有a个像素的用于输出动态范围提高的小幅度信号的较小区域。在累积时间内，通过经过a或M-a次垂直移位来移动像素内的电荷，来将一个区域的行内的电荷同时移至水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位将水平移位寄存器内的电荷移出该水平移位寄存器。接下来，通过经过另外a或M-a次垂直移位来移动像素电荷，来将CCD的区域内的剩余电荷读出到水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位来将那些电荷读出水平移位寄存器。在光谱仪应用中，两个区域的数据被以来自较大区域的行的大幅度通道的形式，以及来自较小区域的行的小幅度通道的形式读出。

公开(公告)号：CN1817027A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200480018951.6

申请日：2004-03-09

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： 库尼·安德鲁·威克斯

IPC: H04N3/14 ,  H04N5/335 ,  H04N5/235 ,  H04N5/238 ,  H01L27/148 ,  H01L29/768 ,  H01L27/00

CPC classification number: H04N5/347 ,  G01J3/2803 ,  H04N3/1525 ,  H04N3/155 ,  H04N3/1562 ,  H04N5/355 ,  H04N5/35563 ,  H04N5/3728

Abstract: 本发明涉及一种用于提高CCD传感器的动态范围而基本不会增大噪声的装置、方法和软件产品。一开始，将N×M像素CCD传感器的区域细分成两个区域，在每一列内具有(M－a)个像素的用于输出具有低噪声的大幅度信号的大区域，和在每一列内具有a个像素的用于输出动态范围提高的小幅度信号的较小区域。在累积时间内，通过经过a或M－a次垂直移位来移动像素内的电荷，来将一个区域的行内的电荷同时移至水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位将水平移位寄存器内的电荷移出该水平移位寄存器。接下来，通过经过另外a或M－a次垂直移位来移动像素电荷，来将CCD的区域内的剩余电荷读出到水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位来将那些电荷读出水平移位寄存器。在光谱仪应用中，两个区域的数据被以来自较大区域的行的大幅度通道的形式，以及来自较小区域的行的小幅度通道的形式读出。