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公开(公告)号：CN115342584A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210497796.0
申请日：2022-05-09
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 提供一种多元制冷循环装置，能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积，并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5)，该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的冷却介质进行热交换；和供第2制冷剂循环的第2制冷循环(6)，该第2制冷剂与第1制冷剂进行热交换，第1制冷循环(5)的至少一部分配置在设置有半导体器件制造装置(1)的无尘室内，第2制冷循环(6)配置在辅助间内。
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公开(公告)号：CN108692489B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201810251307.7
申请日：2018-03-26
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供的热交换器用连接装置，能够利用连接装置连接两台热交换器而消除热交换器的连接用配管，由此减少压力损失，并且能够缩短制冷机系统的长度方向的尺寸，从而能够将设置空间抑制到最小限度。连接装置(2)用于连接两台制冷机的两个通路的管壳式热交换器，设置有：分隔板(22)，其对大致圆筒状或者大致方筒状的连接装置主体(21)的内部进行分隔，由此构成流路，在连接装置主体(21)设置有：第一开口(A1)，其使流体在两个通路的第一热交换器(1‑1)的一方的通路流入流出；第二开口(A2)，其使流体在两个通路的第二热交换器(1‑2)的一方的通路流入流出。
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公开(公告)号：CN112825000A
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN202011304019.7
申请日：2020-11-19
Applicant: CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
IPC: G05D23/20
Abstract: 本公开涉及温度控制系统(100)，其将控制对象(92)的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度，温度控制系统(100)具备：调整装置(11)，具有罐(11a)，并将热媒调整到设定温度进行供给；循环回路(110)，使热媒从调整装置流通至能够对控制对象进行热供给的流通部(93)，并使热媒返回至调整装置；调整部(12)，调整从流通部向控制对象供给的热量；存储部(80a)，预先存储时间经过与目标温度的关系；控制部，基于上述关系，在比目标温度发生变化的变化时刻提前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度，并且通过调整部调整热量，使得在到达变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前的目标温度。
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公开(公告)号：CN112824792A
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN202011300996.X
申请日：2020-11-19
Applicant: CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 提供一种冷却系统，具备第一冷却装置和从第一冷却装置供给热媒的多个第二冷却装置，从而抑制冷却系统整体的功耗。冷却系统(100)包括：第一冷却装置(10)，被电力驱动以供给第一设定温度以下的第一热媒；多个第二冷却装置(40A～40C)，具有使从第一冷却装置供给的第一热媒和第二热媒之间进行热交换的热交换部(46)，并被电力驱动以供给第二设定温度以下的第三热媒，其中，第二设定温度根据时间经过而分别改变；以及设定部(70)，获得多个第二冷却装置的第二设定温度，并根据获得的多个第二设定温度可变地设定第一设定温度。
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公开(公告)号：CN107192173B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201710135489.7
申请日：2017-03-08
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明的吸收式热泵，具备：具有多根传热管(12)的吸收器(10)、气液分离器(80)、第一流路(84)、第二流路(81、82)。吸收器(10)构成为：具有分配部(14)和收集部(15)，多根传热管(12)各自的一端连接于分配部(14)，并且多根传热管(12)各自的另一端连接于收集部(15)，并且在多根传热管(12)各自的内部流动的被加热介质(W)，在从分配部(14)到收集部(15)之间不合流也不分流，收集部(15)的容积形成为大于分配部(14)的容积。收集部(15)连通于第一流路(84)的被加热介质流出口(15h)形成于上部。气液分离器(80)配置为：贮存有分离后的被加热介质的液体(Wq)的部分(80c)处于比分配部(14)或收集部(15)靠上方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107024036B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201610890239.X
申请日：2016-10-12
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 一种提高了用于浓缩的热利用效率的浓缩装置。浓缩装置具备：吸收器，其利用在吸收液吸收制冷剂的蒸气时所产生的吸收热而将在浓缩对象流体流路流动的浓缩对象流体加热；蒸发器，其利用在制冷剂加热流体流路流动的制冷剂加热流体所保有的热而将制冷剂的液体加热，由此生成制冷剂的蒸气；再生器，其对从吸收器导入的吸收液进行加热之后而使得制冷剂脱离，由此使得吸收液的浓度升高；冷凝器，其对从再生器导入的制冷剂的蒸气进行冷却而使之冷凝，由此生成制冷剂的液体；气液分离器，其从由吸收器加热后的浓缩对象流体分离为脱离蒸气与浓缩液；以及加热部，其利用导入的脱离蒸气的热而将被加热流体加热，构成为吸收器的内部压力高于再生器的内部压力。
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公开(公告)号：CN106895600B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201611062956.X
申请日：2016-11-25
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供的吸收式热泵，不使安全阀工作就能够抑制蒸气生成部的压力过度上升。利用吸收液与制冷剂的吸收式热泵循环，汲取所导入的热源流体的热量来生成被加热介质的蒸气的吸收式热泵具备：蒸气生成部，其生成向需要对象供给的被加热介质的蒸气；压力检测部，其检测蒸气生成部的压力；安全阀，其设置于使在蒸气生成部生成的被加热介质的蒸气向需要对象流出的供给蒸气管或者蒸气生成部；蒸气排放阀，其设置于供给蒸气管或者蒸气生成部；控制装置，其在由压力检测部检测出的压力超过蒸气生成部的目标压力且在比安全阀打开的压力小的第一规定压力以上时，打开蒸气排放阀。
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公开(公告)号：CN106871487B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201610940447.6
申请日：2016-10-25
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供吸收式热泵，不设置安全阀而抑制吸收器壳体的内部的压力上升。吸收式热泵(1)具备：吸收器(10(30、50))、再生器(70)、冷凝器(80)、蒸发器(20(40、60))、压力检测器(14P(34P、54P))以及控制装置(100)。当由压力检测器检测到的压力为规定的压力以上时，控制装置停止吸收液朝吸收液供给部的导入以及制冷剂液(Vf)朝蒸发器的导入中的至少一方。而且，能够阻止可能会成为吸收器壳体(14(34、54))的内部压力的上升重要因素的吸收热的产生以及朝吸收器供给的制冷剂的蒸气(Va(Vb、Vc))的产生中的至少一方，从而不设置安全阀便能够抑制吸收器壳体的内部的压力上升。
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公开(公告)号：CN106969527B
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201611102120.8
申请日：2016-12-05
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
Abstract: 本发明提供吸收式热泵，能够实现存积被加热介质的液体的部分的液位的稳定化。吸收式热泵(1)具备：吸收器(10)；蒸发器(20)；再生器(30)；冷凝器(40)；被加热介质气液分离部(80)，导入在吸收器(10)中加热后的被加热介质(Wm)并分离为被加热介质的蒸气(Wv)和液体(Wq)；蒸气产生流量掌握部(62)，掌握被加热介质的蒸气的产生流量；被加热介质液体供给装置(86)，向吸收器供给被加热介质的液体(Ws)；以及供给控制部(64)，控制被加热介质供给装置(86)以便将与由蒸气产生流量掌握部掌握的被加热介质的蒸气(Wv)的产生流量相应的流量的被加热介质的液体(Ws)向吸收器(10)供给。
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公开(公告)号：CN105299964B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201510434183.2
申请日：2015-07-22
Applicant: 荏原冷热系统株式会社
IPC: F25B39/04
Abstract: 本发明提供一种制冷机用冷凝器，在最下层的导热管组的特定位置设置出使得阻碍导热的未冷凝的气体容易滞留的位置，从而能够从该滞留的位置适当地抽出未冷凝的气体。在将冷却水用导热管组(12)与温水用导热管组(13)收纳于一个容器主体(11)的制冷机用冷凝器中，在冷却水用导热管组(12)与温水用导热管组(13)之间设置有分隔板(15)，该分隔板(15)沿将冷却水用导热管组(12)与温水用导热管组(13)分隔的垂直方向延伸。
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