公开(公告)号：CN1603464A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：CN200410067571.3

申请日：2004-10-28

申请人： 上海交通大学

发明人： 孙方宏 ,  张志明 ,  沈荷生 ,  郭松寿

IPC分类号： C23C16/503 ,  C23C16/27

摘要： 一种镀覆技术领域的制备纳米金刚石薄膜的辅助栅极热丝化学气相沉积法，在热丝CVD沉积金刚石薄膜的基础上，增加一种辅助栅极，辅助栅极在热丝沉积初期，先行沉积一层金刚石薄膜，然后在栅极和热丝之间加上直流偏压，栅极为负，栅极表面的金刚石薄膜即发射电子而形成直流放电，其中正离子将轰击栅极，被轰击下来的金刚石原子和原子集团将溅落到衬底上，成为金刚石形核和生长驱动点，溅射对衬底上金刚石的高密度形核和二次形核起了关键作用，衬底表面沉积得到纳米金刚石薄膜。本发明能达到极高的形核密度，同时在生长过程中有很高的二次形核速率，能生长得到纳米级的金刚石薄膜，沉积后薄膜无须研磨抛光就能达到较高的光洁度，满足使用要求。

公开(公告)号：CN1181219C

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN02136951.8

申请日：2002-09-12

申请人： 上海交通大学

发明人： 张志明 ,  沈荷生 ,  孙方宏 ,  郭松寿 ,  金卫国

IPC分类号： C23C16/27 ,  B21C3/02

摘要： 一种大孔径金刚石涂层拉拔模制备方法，以孔径大于φ15毫米的硬质合金拉拔模为衬底，内孔表面经稀盐酸滴加双氧水腐蚀、清洗后置于反应室中，采用由多根热丝组成并由圆形钼片均匀隔离分布的鼠笼式热丝组件来替代单根热丝，热丝组件穿过模孔后用耐高温弹簧拉直，并使热丝组件轴线与模孔轴线相重合，然后用热丝CVD法在内孔表面沉积得到金刚石涂层及纳米金刚石复合涂层。由于本发明采用的鼠笼式多根热丝分布的对称性与均匀性，以及热丝与孔径表面的距离缩短，涂层的质量和厚度都能得到保证。制备的涂层拉拔模可用于多股电线的绞合和紧压，也可用于金属管的管壁减薄、管壁对焊、定径等各种用途，具有摩擦系数小、使用寿命长等优点。

公开(公告)号：CN1060537C

公开(公告)日：2001-01-10

申请号：CN98110896.2

申请日：1998-06-12

申请人： 上海交通大学 ,  南京新金刚石工具有限公司

发明人： 张志明 ,  沈荷生 ,  何贤昶 ,  郭松寿 ,  孙兵

IPC分类号： C23C16/26 ,  B21C3/02

摘要： 一种金刚石涂层拉丝模及其制备方法，以市售大孔径硬质合金拉丝模为衬底，内孔表面酸处理腐蚀钴时滴加双氧水进行促进和控制，以平行气流穿孔热丝CVD沉积方法制备金刚石薄膜涂层，即将热灯丝拉直穿过拉丝模的孔并置于模孔的轴心，所需的反应气体气流与热灯丝方向一致。这种拉丝模涂层均匀，附着力强，与常规的硬质合金拉丝模相比，工作寿命可提高5倍以上。