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公开(公告)号:CN105004263A
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201510289678.0
申请日:2015-05-29
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和微动平台,所述微动平面反射镜设置在所述微动平台上,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。
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公开(公告)号:CN104848782A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201510287713.5
申请日:2015-05-29
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰微动级联阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,对比式抗干扰微动级联阶梯角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动阶梯角反射镜组、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜和分光镜组,还包括有反射测量光电探测器组,所述反射测量光电探测器组包括有z个反射测量光电探测器,所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。
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公开(公告)号:CN104807437A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201510099842.1
申请日:2015-03-06
Applicant: 北方民族大学
CPC classification number: G01C3/00 , G01C3/02 , G01C15/002
Abstract: 本发明涉及一种激光测量领域,特别涉及一种多光路自校准激光跟踪测量系统,包括激光头、靶镜以及3个以上的激光跟踪头。相对于传统的激光跟踪仪仅有一路测量激光,并需将激光跟踪仪的角度测量信息引入到测量结果中,本发明提供的多光路自校准激光跟踪测量系统采用多边定位法实现目标靶镜位置的计算,每个激光跟踪测量光路仅仅需要长度信息,大大提高了目标靶镜的空间位置测量精度。同时,在保证3路激光不断光的情况下,其它任意激光光路出现意外断光,不影响整体测量,大大增加了测量工作的稳定性。
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公开(公告)号:CN104729403A
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201510142670.1
申请日:2015-03-30
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及激光干涉测量技术领域,具体涉及一种多光束阶梯型平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、阶梯型平面反射镜、移动反射镜、光电探测器组以及微动平台,阶梯型平面反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数),所述激光源可以生成多束平行激光,所述光电探测器组有n个光电探测器,激光干涉测量过程中,n个光电探测器将交替处于激光最强干涉状态或最弱干涉状态,测量精度可以达到同时对于测量过程中严格满足多光路干涉状态交替变化的情况才对其进行计数,即在多光路干涉测量中引入交流信号,将传统的激光干涉测量中直流电平的测量转换为交流信号的测量,提高了干涉仪的抗干扰能力。
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公开(公告)号:CN104713474A
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201510144208.5
申请日:2015-03-30
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定反射镜、移动反射镜、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数);每束激光经分光镜后变为两束,其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射,到达光电探测器,同时另一束激光依次经移动反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯型反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,显著提高了测量精度。
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公开(公告)号:CN104697438A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201510143547.1
申请日:2015-03-30
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪及使用方法,其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器,还包括可移动微动平台,微动角反射镜与测量角反射镜包括一个向内凹陷的直角反射面,微动角反射镜连接在微动平台上;该微动平台优选为压电陶瓷。该改进型角反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台,使微动角反射镜发生位移,配合测量角反射镜、激光源、分光镜、光电探测器,能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分,可以进一步提高该激光干涉仪的测量精度。
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公开(公告)号:CN104501763A
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201510011202.0
申请日:2015-01-09
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B21/20
Abstract: 本发明涉及精密测试技术及仪器领域,具体涉及一种新型齿轮测量中心测量方法,第一步,将被测齿轮安装在齿轮测量中心的旋转平台上;第二步,控制旋转平台旋转被测齿轮到合适位置,所述合适位置即齿轮测量中心的测头可以沿着被测齿轮的径向方向伸入齿槽内。本发明克服齿轮测量中心角度误差存在的误差放大、测量精度难以提升的弊端,减小了测量误差、提高了测量精度,同时由于测量路径变短,测量效率较常规齿轮测量中心测量方法有较大提高。
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公开(公告)号:CN104483068A
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201410842716.6
申请日:2014-12-30
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01M1/20
Abstract: 本发明涉及精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种电磁重力平衡装置;外部绕有螺旋线圈的的导轨和动子;所述动子上安装有第一触臂和第二触臂;所述动子安装在空心导轨内,可延空心导轨上下运动;所述第一触臂和第二触臂通过弹簧施加预紧力与导轨外部的螺线圈接触;第一第二触臂分别连接第一和第二触点;并通过触点连接电源的正负极;工作时根据所述动子和外部加载的相应重力,调节第一触点和第二触点所接通的电流大小,进而产生一个的重力平衡力;本发明具有结构简单,动态响应速度快的优点,克服了现有的重力平衡结构的系统惯量大,动态响应速度低的缺点。
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公开(公告)号:CN109141294B
公开(公告)日:2025-05-09
申请号:CN201811255767.3
申请日:2018-10-26
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种角度测量传感器及其标定方法与测量方法,所述角度测量传感器包括:激光器,用于射出激光束;可随被测物体同步转动的反射镜,用于接收所述激光器射出的激光束,并使该激光束反射至折射镜;所述折射镜,用于使所述反射镜反射的激光束发生折射,并射出;光电探测器,用于接收从所述折射镜折射出的激光束,并测量其入射位置;处理系统,用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的转动角度。本传感器通过折射镜对反射的激光束进行折射从而对转动前后的反射角的变化进行放大,最后通过激光在光电探测器上入射位置的变化,从而计算出被测物体的转动角度。
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公开(公告)号:CN118328904A
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202410365347.X
申请日:2024-03-28
Applicant: 北方民族大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了一种光源内置式的角度测量传感器,包括光源、光信号接收部件和可跟随被测物体同步旋转的反射部件,所述反射部件设置有正棱柱结构的中空部,所述光源位于所述中空部,所述光信号接收部件设置于反射部件的外部,光源发出的光信号经反射部件的内壁反射后,入射至光信号接收部件。本发明通过将光源设置于反射部件的内部,反射部件的内壁作为反射面,相比于光源设置于外部,可以增加光程,使得相同转动角度下光信号接收部件中的光斑位置变化量更大,继而实现更小角度测量,提高测量精度。
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