一种高精度、宽范围和大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106247992A

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201610639007.7

    申请日:2016-08-07

    CPC classification number: G01B11/26 G01C15/002

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种高精度、宽范围和大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同工作范围下增加工作距离的优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低;尤其低采样频率下具有高测量精度;以及快速测量的技术优势。

    组合调零高精度激光大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106225731A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201610638929.6

    申请日:2016-08-07

    CPC classification number: G01B11/26 G01C15/002 G02B27/30

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种组合调零高精度激光大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下增加工作距离的优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低;同时还能监测测量环境稳定性;以及快速测量的技术优势。

    便携式组合调零高精度激光大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106225730A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201610638880.4

    申请日:2016-08-07

    CPC classification number: G01B11/26 G01C15/002 G02B27/30

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域,具体涉及便携式组合调零高精度激光大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同工作范围下增加工作距离的优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有小型便携、测量精度高;同时还能监测测量环境稳定性;以及快速测量的技术优势。

    一种高频响大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106052598A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201610639134.7

    申请日:2016-08-07

    CPC classification number: G01B11/26 G02B27/30

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种高频响大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下显著增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下显著增加工作距离的技术优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低的特点;同时具有很高的测量速度。

    基于椭球反射照明共焦测量装置

    公开(公告)号:CN102818521A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201210244377.2

    申请日:2012-07-05

    Abstract: 基于椭球反射照明共焦测量装置属于光学显微技术;在激光器直射光路上依次配置准直扩束器、大数值孔径聚焦物镜、针孔、三维微位移载物台、聚焦物镜、探测针孔和探测器,在激光器直射光路上、位于聚焦物镜与探测针孔之间部位处配置椭球反射镜,所述的椭球反射镜的远焦点位于针孔上,近焦点位于放置在三维微位移载物台上的样品表面上;本装置克服了传统共焦测量技术轴向分辨力受物镜数值孔径限制的不足,可以实现大数值孔径的照明,从而大幅度提高了系统的横向分辨力及轴向分辨力。

    便携式阵列调零高动态精度大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106091990B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201610638786.9

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域,具体涉及便携式阵列调零高动态精度大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同工作范围下增加工作距离的优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有小型便携、测量精度高;同时能够全程监测被测物装配过程;以及快速测量的技术优势。

    一种激光大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106323200B

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201610639161.4

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域,具体涉及一种激光大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下增加工作距离的技术优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低;在不稳定测量环境下同样能够测量;以及快速测量的技术优势。

    便携式阵列调零高频响大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106017360B

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201610638789.2

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域,具体涉及便携式阵列调零高频响大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下显著增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下显著增加工作距离的技术优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有小型便携、测量精度高的特点;同时具有很高的测量速度。

    组合调零激光大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106323199B

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201610639006.2

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种组合调零激光大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下增加工作距离的优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低;在不稳定测量环境下同样能够测量;以及快速测量的技术优势。

    一种高频响大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106052598B

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201610639134.7

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种高频响大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下显著增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下显著增加工作距离的技术优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低的特点;同时具有很高的测量速度。

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