公开(公告)号：CN103196568B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201310001292.6

申请日：2013-01-05

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 日高和彦

IPC: G01J9/00

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01B5/012 ,  G01B11/007 ,  G01B11/14 ,  G01B2210/50

Abstract: 本发明提出一种波长检测器及使用波长检测器的接触探头，其中所述接触探头包括触针以及用于以光学方式检测触针姿势的光学检测器。照明对象部形成在触针上并具有三个或更多个反射面。光学检测器包括三个或更多个光纤、光源、聚光透镜组以及波长检测器。波长检测器基于由聚光透镜组和三个或更多个反射面之间的间隔变化分别引起的反射光束的波长变化来计算触针的姿势信息。接触探头基于光学检测器获得的姿势信息得到与待测物体的接触位置的坐标。

公开(公告)号：CN103776347A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201310489582.X

申请日：2013-10-18

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 日高和彦

IPC: G01B5/20

CPC classification number: G01B3/002 ,  G01B5/016

Abstract: 一种杠杆头。触针支撑构件在第一方向上延伸。第一弹性体安装构件和第二弹性体安装构件在第一方向上彼此间隔开且配置成在第二方向上与触针支撑构件间隔开，并且通过第一构件和第二构件彼此连接。第一弹性体配置在保持件和第一弹性体安装构件之间。第二弹性体配置在第一构件和第一弹性体安装构件之间。第三弹性体配置在第二构件和第二弹性体安装构件之间。第四弹性体配置在保持件和第二弹性体安装构件之间。检测器检测触针支撑构件的在第一方向上的位移。第一弹性构件至第四弹性构件进行单一自由度的杠杆运动。

公开(公告)号：CN100501322C

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200510117189.3

申请日：2005-11-02

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 日高和彦

IPC: G01B11/30

CPC classification number: G01Q30/02 ,  G01Q40/00 ,  G01Q60/22

Abstract: 一种表面性状测定装置，其具有近场测定机构(30)，该近场测定机构(30)具有：近场探针(33)，其在受到激光照射时在顶端部形成近场光；激光源(35)，其发射出照射在该近场探针上的激光；光子检测器(38)，其检测近场探针与被测定物(1)接近时所产生的近场光的散射效果；驱动器(32)，其使近场探针和被测定物朝向彼此接近、离开的方向位移，该表面性状测定装置还具有激光测长机构(20)，该激光测长机构(20)利用激光来测定基准面(24)与位于近场探针的顶端部附近的被测定物之间的相对距离，或者基准位置与近场探针之间的相对距离。

公开(公告)号：CN1750389A

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN200510103453.8

申请日：2005-09-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 斋藤章宪 ,  日高和彦

IPC: H03G3/00 ,  H03G3/20

Abstract: 本发明提供一种测量控制系统的控制电路的控制参数设定方法和测量装置，对控制电路(23)依次虚设N个增益Gi，将触针(131)与被测量物W接触地进行虚拟测量。将此时从传感检测电路(21)输出的传感检测信号由滤波器(31)进行滤波，只取出与包括控制电路(23)的闭环L中产生的振荡的频率对应的频率成分。抽取不使闭环L产生振荡的Gj，为了提高测量的快速性等将各Gj中最大的增益设于控制电路(23)。或相对于被测量物W下推触针(131)，测量表示下推量的位移信号和根据触针(131)受到的测量负载从传感器(13)输出的传感信号，基于这两个信号来计算传感器(13)的增益Gs’。根据该Gs’来校正控制电路的增益。