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公开(公告)号：CN107131853A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710104606.3
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种能够保持高灵敏度并且以简易的结构降低灵敏度的测定方向依赖性的测定探头。在探头外壳(306)的轴向(O)上具备两个容许测针(336)的姿势变化的、呈旋转对称形状的支承构件(322、324)，在两个支承构件(322、324)中的具备四个能够变形的臂部(324B)的一个支承构件(324)，四个检测元件(325)配置在四重对称的位置，信号处理电路(320)具备第一处理部(364)，该第一处理部(364)对检测元件(325)的输出进行处理，输出表示接触部(362)在彼此正交的三个方向的各方向上的位移分量的三个位移信号(Vx、Vy、Vz)。
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公开(公告)号：CN107131861A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710104608.2
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 提供一种构造简易并且能够确保高测定灵敏度的测定探头。测定探头具备：测针，其具有用于与被测定物接触的接触部；探头外壳，其能够将测针支承在轴心上；以及检测元件，其能够检测接触部的移动，该测定探头具备配置于探头外壳的轴向且容许测针的姿势变化的两个支承构件以及将两个支承构件连结的连结轴，对两个支承构件中的离旋转中心位置最远的支承构件配置检测元件，利用检测元件来检测支承构件的应变量，其中，旋转中心位置是在对接触部从与轴向正交的方向施加测定力时测针所产生的旋转的旋转中心位置。
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公开(公告)号：CN111238433A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201911191667.3
申请日：2019-11-28
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 提供一种探针单元以及测定系统。在具有测定探针的探针单元中，信号处理电路具备：信号合成部，其对检测元件的输出进行处理并输出将接触部的在互相正交的3个方向中的各个方向上的位移成分进行合成所得到的合成信号；以及信号输出部，其在合成信号满足了阈值条件时，将数字触摸信号输出到探针单元的外部，其中，信号输出部具备将阈值条件与合成信号进行比较的3个比较部，在进行被测定物的测定时，信号输出部输出与第一比较部的输出及第二比较部的输出相应的数字触摸信号。由此，提供一种能够在确保高的抗噪声性的同时稳定地进行高精度的测定的测定探针以及测定系统。
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公开(公告)号：CN1750389B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200510103453.8
申请日：2005-09-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测量控制系统的控制电路的控制参数设定方法和测量装置，对控制电路(23)依次虚设N个增益Gi，将触针(131)与被测量物W接触地进行虚拟测量。将此时从传感检测电路(21)输出的传感检测信号由滤波器(31)进行滤波，只取出与包括控制电路(23)的闭环L中产生的振荡的频率对应的频率成分。抽取不使闭环L产生振荡的Gj，为了提高测量的快速性等将各Gj中最大的增益设于控制电路(23)。或相对于被测量物W下推触针(131)，测量表示下推量的位移信号和根据触针(131)受到的测量负载从传感器(13)输出的传感信号，基于这两个信号来计算传感器(13)的增益GS’。根据该GS’来校正控制电路的增益。
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公开(公告)号：CN111238433B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201911191667.3
申请日：2019-11-28
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 提供一种探针单元以及测定系统。在具有测定探针的探针单元中，信号处理电路具备：信号合成部，其对检测元件的输出进行处理并输出将接触部的在互相正交的3个方向中的各个方向上的位移成分进行合成所得到的合成信号；以及信号输出部，其在合成信号满足了阈值条件时，将数字触摸信号输出到探针单元的外部，其中，信号输出部具备将阈值条件与合成信号进行比较的3个比较部，在进行被测定物的测定时，信号输出部输出与第一比较部的输出及第二比较部的输出相应的数字触摸信号。由此，提供一种能够在确保高的抗噪声性的同时稳定地进行高精度的测定的测定探针以及测定系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112050765B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202010506921.0
申请日：2020-06-05
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。一种测定测头的不良状况判定单元，该测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；四个检测元件，其能够检测接触部的移动；以及信号处理部，其对从四个检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，该测定测头的不良状况判定单元具备：不良状况判定部，其在被测定物不与接触部接触的状态下，将与生成信号对应的四个判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个判定信号大于规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及判定结果输出部，其输出不良状况判定部的判定结果。由此，能够通过简单的结构来确保测定的可靠性。
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公开(公告)号：CN112050765A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010506921.0
申请日：2020-06-05
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。一种测定测头的不良状况判定单元，该测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；四个检测元件，其能够检测接触部的移动；以及信号处理部，其对从四个检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，该测定测头的不良状况判定单元具备：不良状况判定部，其在被测定物不与接触部接触的状态下，将与生成信号对应的四个判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个判定信号大于规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及判定结果输出部，其输出不良状况判定部的判定结果。由此，能够通过简单的结构来确保测定的可靠性。
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公开(公告)号：CN107131861B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201710104608.2
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 提供一种构造简易并且能够确保高测定灵敏度的测定探头。测定探头具备：测针，其具有用于与被测定物接触的接触部；探头外壳，其能够将测针支承在轴心上；以及检测元件，其能够检测接触部的移动，该测定探头具备配置于探头外壳的轴向且容许测针的姿势变化的两个支承构件以及将两个支承构件连结的连结轴，对两个支承构件中的离旋转中心位置最远的支承构件配置检测元件，利用检测元件来检测支承构件的应变量，其中，旋转中心位置是在对接触部从与轴向正交的方向施加测定力时测针所产生的旋转的旋转中心位置。
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公开(公告)号：CN107131853B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201710104606.3
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种能够保持高灵敏度并且以简易的结构降低灵敏度的测定方向依赖性的测定探头。在探头外壳(306)的轴向(O)上具备两个容许测针(336)的姿势变化的、呈旋转对称形状的支承构件(322、324)，在两个支承构件(322、324)中的具备四个能够变形的臂部(324B)的一个支承构件(324)，四个检测元件(325)配置在四重对称的位置，信号处理电路(320)具备第一处理部(364)，该第一处理部(364)对检测元件(325)的输出进行处理，输出表示接触部(362)在彼此正交的三个方向的各方向上的位移分量的三个位移信号(Vx、Vy、Vz)。
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公开(公告)号：CN1750389A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510103453.8
申请日：2005-09-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测量控制系统的控制电路的控制参数设定方法和测量装置，对控制电路(23)依次虚设N个增益Gi，将触针(131)与被测量物W接触地进行虚拟测量。将此时从传感检测电路(21)输出的传感检测信号由滤波器(31)进行滤波，只取出与包括控制电路(23)的闭环L中产生的振荡的频率对应的频率成分。抽取不使闭环L产生振荡的Gj，为了提高测量的快速性等将各Gj中最大的增益设于控制电路(23)。或相对于被测量物W下推触针(131)，测量表示下推量的位移信号和根据触针(131)受到的测量负载从传感器(13)输出的传感信号，基于这两个信号来计算传感器(13)的增益Gs’。根据该Gs’来校正控制电路的增益。
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