公开(公告)号：CN102095894A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010559016.8

申请日：2010-11-22

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T·奥姆斯 ,  A·弗兰克

IPC: G01P21/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P21/00 ,  G01P2015/082

Abstract: 本发明提出用于校准加速度传感器的方法和加速度传感器，该加速度传感器具有衬底和振动质量，其中，该加速度传感器在第一侧面上具有固定在衬底上的第一和另外的第一电极，在第一和另外的第一电极之间设有振动质量的反电极，其中，该加速度传感器在第二侧面上具有另外的第二电极并且在与第二侧面相对置的第四侧面具有另外的第四电极，其中，在第一步骤中将基本上相同的第一激励电压施加到第一和另外的第一电极上以激励出振动质量沿着第一方向的第一偏移，其中，在第二步骤中通过将第一补偿电压施加到另外的第二和另外的第四电极上来补偿该第一偏移。

公开(公告)号：CN102003972A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010264988.4

申请日：2010-08-26

Applicant: 罗伯特.博世有限公司

Inventor： A·弗兰克 ,  A·布曼 ,  M·凯克

IPC: G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  G01B7/14

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0094 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  G01D5/2412 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明涉及容性传感器和执行器，其具有至少一个可偏移地固定在基底上的振荡质量。在此，如此在该振荡质量上固定了带有梳齿(2)的梳状电极(1)并且在该基底上固定了带有梳齿(2′)的梳状电极(1′)，以使得梳齿(2)和(2′)被布置成平行于该振荡质量的偏移方向(3)并且梳状地啮入彼此之中。通过优化至少一个梳状电极(1，1′)的几何形状尤其至少一个梳齿(2，2′)的几何形状来调节传感器的特征曲线或执行器的特征曲线。

公开(公告)号：CN101842313A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200880113985.1

申请日：2008-10-01

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T·皮尔克 ,  A·弗兰克 ,  K·克尔

IPC: B81B7/00

CPC classification number: G01P15/0802 ,  B81B7/0012 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明涉及一种微机械系统(1)，其包括基板(100)、悬挂装置(130)、基底(140)和微机械传感器(150)，该悬挂装置(130)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，并且，该微机械传感器(150)被设置在该基底(140)上。