-
公开(公告)号：CN109155232A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780000711.0
申请日：2017-06-13
申请人： 普兰有限责任公司
发明人： 李仁喆
摘要： 公开了一种用于半导体腔室的泵系统，所述泵系统用于半导体制造工艺中，从而产生半导体腔室中的真空状态、排出半导体腔室中产生的气体或者将腔室的内部维持于合适的压力。在泵系统中，外部管路连接在包含于泵中的罗茨式转子部段和螺杆式转子部段之间以用于调节工艺腔室的内部环境，而在罗茨式转子部段和螺杆式转子部段之间的管路上设置包括加热器、冷却器或其组合的加热/冷却单元，从而加热或冷却从罗茨式转子流动向螺杆式转子的气体，由此避免转子中粉末副产物的积累和因此造成的转子损坏，从而有助于改进转子的工作性能和耐久性。此外，在泵系统中，监控连接罗茨式转子部段和螺杆式转子部段的流体管路的内部温度，从而可以根据流体管路的内部温度来选择性地进行加热控制或冷却控制，因此能够控制泵以提供适合各个腔室的特性的最佳温度，且由此能够经济地操作泵系统。此外，特别地对于连接罗茨式转子部段和螺杆式转子部段的小直径(18～25mm)流体管路设置用于引发等离子体反应的小规模等离子体单元，从而实现能够有效分解和处理流动通过流体管路的气体的副产物气体处理系统，因此改进副产物气体的分解效率和处理效率并且获得改进的泵的性能和耐久性。
-
公开(公告)号：CN108291446A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680069660.2
申请日：2016-11-03
申请人： 布林克曼泵业K.H.布林克曼两合公司
摘要： 本发明涉及一种螺纹轴机器，其包括：金属中间壳体部分(12)，其布置在壳体端盖(24)之间且形成用于收纳多个螺纹轴的流体腔室(16)，所述多个螺纹轴安装所述壳体端盖(24)中；插入件(18)，其粘合到所述中间壳体部分中，所述插入件在所述流体腔室(16)的内壁上形成针对所述螺纹轴的耐磨波状表面且与所述中间壳体部分(12)的内表面界定粘合间隙(20)；以及至少一个填充通道(26)，其从所述中间壳体部分(12)的外表面伸到所述粘合间隙(20)，其特征在于，所述填充通道(26)从所述中间壳体部分(12)的邻近壳体端盖(24)的一端开始延伸。
-
公开(公告)号：CN104395609B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201380033659.0
申请日：2013-05-07
申请人： 拉尔夫·斯蒂芬斯
发明人： 拉尔夫·斯蒂芬斯
摘要： 螺杆压缩机的螺杆转子对具有相互非接触啮合的双齿螺杆转子(2)和三齿螺杆转子(3)。与双齿螺杆转子相关的包角至少为800度。转子头部的平均圆周速度达到至少30米/秒的范围。在横截面中，两个螺杆转子都设有圆弧部(36.K和36.F，以及37.K和37.F)和摆线齿廓面(38和39)，在双齿螺杆转子(2)中摆线齿廓面基本高于其轮齿节圆(6)并具有凸状设计，在三齿螺杆转子(3)中摆线齿廓面低于其轮齿节圆(7)并具有凹状设计，即凹陷的。优选地，每个螺杆转子的横截面为对称的，使得在每个横截面中，轮廓面的重心位于各自转子的枢轴点(M.2或M.3)。
-
公开(公告)号：CN102884324B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201180022605.5
申请日：2011-05-03
申请人： 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
CPC分类号： F04C25/02 , F04C18/084 , F04C18/16 , F04C29/04 , F04C2240/20
摘要： 螺杆真空泵具有设置在泵腔（10）中的螺杆转子（12、14）。螺杆转子（12、14）分别通过两个支承元件（20）支承在泵壳中，并且转子长度（l）与转子轴线的距离（d）的比大于3.0。此外，螺杆转子（12、14）具有可变的螺距、至少7个螺旋圈和至少为4.5的机内压缩比。螺距在一半的螺旋圈之后小于两倍的在压力侧上的转子出口（24）上的螺距。
-
公开(公告)号：CN102575673B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201080039880.3
申请日：2010-07-09
申请人： 嘉德纳丹佛有限责任公司
CPC分类号： F04C18/16 , F04C18/084 , F04C2240/52
摘要： 一种干式螺杆压缩机，其具有圆周速度小于80m/s的阳转子(2)。所述压缩机(1)包括：-壳体(4)，具有用于待吸入气态流体的入口(10)和至少一个用于被压缩的流体的出口(11)；-啮合在一起的至少一个阳转子(2)和至少一个阴转子(3)，所述转子(2、3)被设置在所述壳体(4)的内部。所述压缩机(1)的特征在于，所述阳转子(2)的长度(Lm)与外径之比大于或等于2，并且所述阳转子(2)的缠绕角小于或等于300°。
-
公开(公告)号：CN104395609A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033659.0
申请日：2013-05-07
申请人： 拉尔夫·斯蒂芬斯
发明人： 拉尔夫·斯蒂芬斯
CPC分类号： F04C18/084 , F04C18/14 , F04C18/16 , F04C29/04
摘要： 螺杆压缩机的螺杆转子对具有相互非接触啮合的双齿螺杆转子(2)和三齿螺杆转子(3)。与双齿螺杆转子相关的包角至少为800度。转子头部的平均圆周速度达到至少30米/秒的范围。在横截面中，两个螺杆转子都设有圆弧部(36.K和36.F，以及37.K和37.F)和摆线齿廓面(38和39)，在双齿螺杆转子(2)中摆线齿廓面基本高于其轮齿节圆(6)并具有凸状设计，在三齿螺杆转子(3)中摆线齿廓面低于其轮齿节圆(7)并具有凹状设计，即凹陷的。优选地，每个螺杆转子的横截面为对称的，使得在每个横截面中，轮廓面的重心位于各自转子的枢轴点(M.2或M.3)。
-
公开(公告)号：CN101668950B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN200880013523.2
申请日：2008-04-16
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： F04C18/123 , F04C18/084 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C2220/10 , F04C2280/02 , Y10S417/01
摘要： 一对用于真空泵的诺斯转子，每一个转子包括：两个相对的基本平行的端面和位于所述相对的端面之间的外周表面。为了减轻由于泵送包含固体或液体颗粒的气流所造成的损伤，多条沟槽被设置在所述外周表面上面用于容纳所述颗粒。
-
公开(公告)号：CN103423159A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310191651.9
申请日：2013-05-22
申请人： 株式会社神户制钢所
发明人： 北野利树
CPC分类号： F04C2/08 , F04C18/16 , F04C29/0021
摘要： 本发明提供一种螺旋压缩装置。在能够调整容量的螺旋压缩装置中，能够通过平衡活塞将由气体的反作用力带来的推力适当地抵销。本发明的螺旋压缩装置具有：压缩机主体，在壳体内收容相互咬合的阴阳一对螺旋转子，将吸入的气体压缩并吐出；平衡活塞，通过流体压力在轴向上推压螺旋转子的至少一方的旋转轴即转子轴；滑阀，调节压缩机主体的容量；平衡活塞控制装置，根据由滑阀的位置计算的压缩机主体的容量，调节对平衡活塞作用的流体的压力。
-
公开(公告)号：CN102197224A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201080003013.4
申请日：2010-03-31
申请人： 罗布斯基股份公司
IPC分类号： F04C18/08
CPC分类号： F04C18/084 , F04C18/16
摘要： 一种螺杆式压缩机(1)，包括：分别绕第一转动轴线(O1)和第二转动轴线(O2)转动的阳转子(2)和阴转子(3)，所述转子(2、3)在剖面上示出啮合的凸部(4)和凹部(6)，且具有通过包络刨齿刀型面(p)而产生的型面，其中，所述刨齿刀型面(p)包括：所述刨齿刀型面(p)的第一曲线(z1)，该第一曲线(z1)在笛卡尔坐标系(X，Y)中的第一点(H)与第二点(Q)之间延伸且具有沿横坐标轴(X)正向的凸度，所述第一点(H)位于横坐标轴(X)上，距笛卡尔坐标系(X，Y)的原点(O)的距离等于阳转子(2)的齿顶高(h1)。
-
公开(公告)号：CN100371599C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN03820345.6
申请日：2003-07-31
申请人： 开利公司
发明人： W·H·鲁索
CPC分类号： F04C29/12 , F04C18/086 , F04C18/16 , F04C2250/102
摘要： 一种螺旋压缩机包括：一壳体，其有一排出口；至少两个转子，其可转动地安装在壳体内，用来在径向和轴向方向上产生相对的排出流；和一正切流导向尖端，其安装在排出口，至少部分限定了排出口的径向流部分，且其具有流导向表面，用来引导来自所述转子的正切流，从而提供径向流和轴向流中的至少一个，其中，所述导流表面包含径向导流面，它们会聚以形成离开所述转子的尖端点，还包含轴向导流面，它们会聚以形成朝向所述转子的尖端点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
186 条记录 (耗时 0.016 秒)
