一种等离子刻蚀机硅片加压夹具

    公开(公告)号:CN211045411U

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201922427520.1

    申请日:2019-12-30

    发明人: 陈正 刘昭 周亮亮

    IPC分类号: H01L21/687 H01J37/20

    摘要: 本实用新型公开了一种等离子刻蚀机硅片加压夹具,包括底座,底座上部两端设置有支撑柱,支撑柱外围安装有弹簧,支撑柱上部外表面具有外螺纹,底座上方设置有压板,压板两端与支撑柱滑动连接,压板上部与支撑柱连接处设置有涡轮,涡轮底部设置有压块,涡轮与压块中间具有内螺纹,外螺纹与内螺纹相配合,支撑柱一侧的压板上部两端设置有轴承座,轴承座安装有蜗杆,轴承座外侧设置有把手,涡轮与蜗杆相啮合。本实用新型的有益效果是:本实用新型设计合理,结构简单稳定,实用性强;本实用新型设计合理,结构简单稳定,实用性强;不仅能够保证压板对硅片周边施加的压力平衡均匀,提高加压效果,还可以精确的控制压板对整叠硅片加压压力的大小。

    一种大功率激光强化装置
    52.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209029671U

    公开(公告)日:2019-06-25

    申请号:CN201821117960.6

    申请日:2018-07-16

    IPC分类号: H01S3/04

    摘要: 本实用新型涉及一种大功率激光强化装置,它包括:具有带孔屏的光阑,光阑外周面开设有引水槽,光源发生器安装于筒状发生器接头内,光阑冷却装置,它包括壳体,出液管,导液盘和散热器,出液管的出液口位于引水槽外侧上方,导液盘安装于引水槽下方,导液盘包括设于盘体中部的锥状的分液柱和盘设于该分液柱外周的导液槽,导液槽上设有数个漏液孔,散热器包括数条冷凝片,相邻冷凝片壁之间构成冷凝槽,散热器安装于导液盘下方,出液管、导液盘以及散热器均安装于壳体内。本技术方案能对光阑进行循环冷却的,能有效保持光阑及其带孔屏温度长期均衡的,结构合理。

    多功能激光清洗机
    53.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209020880U

    公开(公告)日:2019-06-25

    申请号:CN201821477073.X

    申请日:2018-09-10

    摘要: 本实用新型提供了一种多功能激光清洗机,包括控制柜和手持式的清洗头,控制柜内设有三个隔档,隔档将控制柜内的空间分为第一容腔、第二容腔和第三容腔,在第一容腔中设有控制电路板、激光光源和光纤,在第二容腔内设有水箱、水泵和水管;在第三容腔内设有抽气泵和气管;在靠近第一容腔的控制柜的侧壁上设有三个通孔,三个通孔分别供光纤、气管、水管通过,清洗头包括壳体,壳体的端部设有激光出射孔、排气孔和排水孔,光纤与激光出射孔相连,气管与排气孔相连,水管和排水孔相连。本实用新型新增了水洗功能和扫风功能,以此来作为激光清洗后的二次清洁,甚至三次清洁,从而保证清洗效果,避免清洗不到位的问题。

    一种激光清洗机
    54.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208879249U

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201820939031.7

    申请日:2018-06-19

    IPC分类号: B08B7/00 B08B13/00

    摘要: 本实用新型公开了一种激光清洗机,包括:座体,上表面形成工作平台;两块支架板,并列的竖立于工作平台上;左辊托和右辊托,分别安装于两块支架板上,且左辊托和右辊托的尖端相对设置;电机,输出轴传动连接右辊托的尾端;横轴,水平架设于两块支架板上;激光清洗枪,水平开设有一圆形通槽,且横轴经由圆形通槽穿过激光清洗枪并将激光清洗枪悬挂于待清洗的辊轴的正上方;控制箱,内部具有激光发生器,且激光清洗枪内的发射头通过光纤与激光发生器电性相连。其技术方案能够对辊轴进行小范围精准的除锈等清洗操作,方便可靠,操作者只需轻松的调节激光清洗枪的水平或周向位置即可进行清洗操作,较为省力,大大减轻了操作人员的工作负担。

    高度可调节的激光清洗和焊具的复合装置

    公开(公告)号:CN208840702U

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201821479181.0

    申请日:2018-09-11

    摘要: 本实用新型提供一种高度可调节的激光清洗和焊具的复合装置,包括:支撑架;安装座,与支撑架分离设置;气缸,固定安装在安装座上;固定板,固定安装在气缸的伸缩轴上;第一移动轨道,设置在固定板上,气缸和第一移动轨道位于固定板的两个侧面;两个第一移动块,均安装在第一移动轨道上,沿第一移动轨道水平移动;清洗枪安装板;焊枪安装板;电机安装座,固定设置在支撑架上;电机,安装在电机安装座上,电机的输出轴垂直向上;垂直移动装置,套设在输出轴上,且上端抵接在安装座上,带动安装座上下移动。上述装置利用气缸和移动轨道、移动块,实现了激光清洗枪以及焊枪的前后、左右以及上下移动。

    激光焊接机的激光头高度调整结构

    公开(公告)号:CN208772714U

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201821284564.2

    申请日:2018-08-09

    IPC分类号: B23K26/08 B23K26/21

    摘要: 本实用新型公开了一种激光焊接机的激光头高度调整结构,包括机架和激光头,激光焊接机的激光头高度调整结构还包括截面为方形状的滑杆,滑杆的两端通过固定座固定在机架上,固定座中设置有可供滑杆的端部插入的盲孔,滑杆的外部可上下滑动地套设有滑环,激光头与滑环的外壁固定连接,滑杆的外侧壁上设置有若干个呈竖向等距分布的嵌槽,滑环的侧壁上设置有滑槽,滑槽中可滑动地设置有钢珠,钢珠部分嵌入在其中一个嵌槽中,滑槽的外端部处螺纹连接有端盖,端盖与钢珠之间的滑槽内部设置有用于推动钢珠以使钢珠嵌入到嵌槽中的弹簧;本实用新型能够实现对激光头的高度的调整,从而能够使得激光焊接机对不同厚度的材料进行焊接。

    一种用于激光清洗机的成品工件清洁装置

    公开(公告)号:CN208661999U

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201821181048.7

    申请日:2018-07-24

    IPC分类号: B08B7/00 B08B5/02

    摘要: 本实用新型公开了一种用于激光清洗机的成品工件清洁装置,包括机架,机架上有第一滑轨,第一滑轨上有第一滑块,第一滑块上有第二滑轨,机架上有第一电机;第二滑轨上有第二滑块,第一滑块上有第二电机,机架的上端面下凹形成清洗平台,第二滑块上有固定块,固定块上有第一连杆,第一连杆上有第二连杆,第二连杆上有两根支撑杆,第二滑块上有第一条形孔、第二条形孔和第三条形孔,第二连杆上有穿过第二条形孔的横杆,横杆上有激光清洗头,两根支撑杆上固定有分别穿过第一条形孔和第三条形孔的吹气管,吹气管上有吹气口,固定块上有第三电机。该实用新型能对残留在成品工件表面的固体粉末进行清除、且能对不同厚度的成品工件进行清洗。

    激光强化设备的激光管固定架

    公开(公告)号:CN208649469U

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201821171528.5

    申请日:2018-07-23

    IPC分类号: C23C24/10

    摘要: 本实用新型公开了一种激光强化设备的激光管固定架,包括承载架和多个激光管套环,承载架包括平直板以及垂直设置在平直板两端的两个竖直板,竖直板的远离平直板的一端垂直设置有固定板,平直板和固定板分别位于对应竖直板的两侧;多个激光管套环等间距固定在平直板的上端面上,且各激光管套环保持同轴,激光管套环的顶部设置有用于上下旋进旋出的紧固件,各激光管套环的外侧壁与平直板之间均连接固定有增强块,各增强块上设置有多组贯穿的保持同轴的连杆孔,同轴的连杆孔上穿插有连杆。承载架作为主支架由平直板竖直板和固定板组成,结构稳定可以很好地进行其他附件的安装承载,各激光管套环形成一个整体,对激光管的固定效果更好。

    带有护目镜片的手持式激光清洗机用的激光清洗枪

    公开(公告)号:CN208583735U

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201820927767.2

    申请日:2018-06-14

    IPC分类号: B08B7/00 B08B13/00

    摘要: 本实用新型公开了一种带有护目镜片的手持式激光清洗机用的激光清洗枪,包括外壳和与外壳螺纹连接的端盖,外壳的内部安装有激光头,端盖中设置有可供激光射出的通孔,外壳的底部螺纹连接有握把,端盖的外周壁上设置有环形凸台,环形凸台的外周壁上设置有四根呈周向均匀分布的连杆,连杆的外端固定有环形挡圈,连杆的外端部与环形挡圈的内侧壁连接,环形挡圈、连杆和环形凸台之间形成可供环形护目镜片嵌入的环形凹槽,环形凸台的外周壁上嵌套有第一环形压圈,环形挡圈的内侧壁上嵌设有第二环形压圈;本实用新型通过环形护目镜片的设置,工人可以透过环形护目镜片来观察产品的清洗部位,这样一来,能够减少激光对工人眼睛造成的伤害。

    激光管调整架
    60.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208571212U

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201821263143.1

    申请日:2018-08-06

    IPC分类号: H01S3/02 H01S5/022

    摘要: 本实用新型公开了一种激光管调整架,包括滑轨座和激光管固定环,滑轨座上相对设置有两个滑轨槽,激光管固定环上设置有导轨架,导轨架滑动安装在滑轨槽中,激光管固定环上设置有多个螺栓孔,各螺栓孔上分别对应安装有紧固螺栓,紧固螺栓的端部螺纹连接有柔性紧压块,柔性紧压块包括弧形块及柱形螺纹座,弧形块的一侧安装有辅助吸盘。激光管可以穿过两个激光管固定环进行固定,激光管可以随激光管固定环、导轨架前后滑移调整位置,而激光管本身可以通过激光管固定环上的紧固螺栓进行旋紧,通过柔性紧压块挤压以及辅助吸盘吸紧固定,可以增强对激光管的固定效果。