-
公开(公告)号:CN102445604B
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201010504163.5
申请日:2010-09-30
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01R29/12
摘要: 本发明的一种异型电极微型电场传感器,涉及传感器技术,传感器敏感结构包括衬底、激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等部分。其中,激励单元包括激励电极和支撑梁,对称布置在传感器敏感结构的两侧;屏蔽电极和电场感应电极交错排列,布置在传感器敏感结构中间位置区域。激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等位于同一结构层。本发明的微型电场传感器通过采用异型结构的电场感应电极和屏蔽电极,增加了传感器中电场感应电极在单位时间内电荷的改变量,从而提高了微型电场传感器的灵敏度。
-
公开(公告)号:CN102298096B
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN201010218460.3
申请日:2010-06-25
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01R29/08
摘要: 本发明公开了一种三维空中电场传感器,包括接地的屏蔽电极、感应电极支撑架、三个方向正交的感应电极和相应的信号检测电路,屏蔽电极和感应电极支撑架是四棱柱结构,屏蔽电极外壳上X、Y、Z方向开有多个小孔,感应电极支撑架位于屏蔽电极内部,与屏蔽电极同轴且侧面相互平行,在感应电极支撑架顶面和侧面设有多个X、Y、Z方向的感应电极,感应电极在直线驱动器的驱动下做往复直线运动,周期性地被外部屏蔽电极所遮挡和暴露,把准直流电场信号调制成一定频率的交流电流信号加以测量。本发明相对于现有的场磨式三维空中电场传感器,结构更小,更轻,采用直线驱动器不需电刷,且外部屏蔽电极固定不动,大大提高了传感器的可靠性。
-
公开(公告)号:CN103308781A
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201210071588.0
申请日:2012-03-16
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01R29/12
摘要: 本发明公开了一种伸缩谐振式三维电场传感器。该伸缩谐振式三维电场传感器包括:衬底;梁式结构框架;X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元,位于衬底上,分别用于测量电场强度矢量的X方向、Y方向和Z方向的分量,均包括屏蔽电极和感应电极,至少一组驱动机构,与X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元其中之一的屏蔽电极匹配,用于对该屏蔽电极产生驱动力,使其相对于感应电极产生振动,并且该振动通过梁式结构框架传递至除所在电场测量单元外的其他测量单元。本发明伸缩谐振式三维电场传感器只需加载一组激励信号便可驱动三个电场测量单元中电极的振动,从而实现电场矢量三个不同分量的测量。
-
公开(公告)号:CN102401761B
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN201010282765.0
申请日:2010-09-15
申请人: 中国科学院电子学研究所 , 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号: G01N1/44
摘要: 本发明公开了一种微型集成式紫外-热复合消解芯片,涉及微量检测技术,是基于紫外发光二极管(LED)及微流控技术。该芯片结合热消解和紫外消解技术,采用MEMS技术加工形成具有微型通道和微型消解池的微流控芯片,并把具有高密度紫外LED阵列的芯片与该微流控芯片集成为一体,实现高能量密度紫外光辅助对微量水样的热-紫外复合快速消解。本发明的芯片,可为一些需要在检测前进行消解的水质监测参数(如总磷、总氮、COD等)提供快速、高效的消解,并具有微型化的特点,易于与微型传感器集成形成便携式水质检测设备。
-
公开(公告)号:CN102901754A
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN201110211357.0
申请日:2011-07-27
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01N27/26
摘要: 本发明公开了一种基于电聚合分子印迹技术的双参数复合微传感器及制备法,涉及传感器和分子印迹技术,将三个电化学的微电极系统集成于同一个芯片,每个电化学的微电极系统具有自己独立的微电化学反应池;通过密封胶封装使集成芯片形成一个包含三个电化学微电极系统的敞口复合测量池;在每个电化学微电极系统的微反应池中,通过从外注入溶液可单独实施包括原位电聚合与超声洗脱模板分子的分子印迹程序,制成分子印迹传感器;复合微传感器的左右两个微电极系统,因分子印迹敏感膜的不同而分别识别两种对应的分子,位于中间的电化学微电极系统用于差分检测的基准,以扣除测试系统的背景信号与环境影响。本发明的复合微传感器,可同时识别两种分子。
-
公开(公告)号:CN101685119B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200810222769.2
申请日:2008-09-24
申请人: 中国科学院电子学研究所
摘要: 本发明涉及一种谐振式微型电场传感器,包括:一衬底;具有梳齿结构的激励电极由锚点固定在衬底的一侧;具有梳齿结构的振动敏感电极由锚点固定在衬底的另一侧;屏蔽电极和电场感应电极固定在激励电极和振动敏感电极中间位置的衬底区域上,其中,屏蔽电极和电场感应电极交错排列;横梁,位于屏蔽电极的中部;支撑梁,支撑梁的一端由锚点固定在衬底上,另一端与激励电极和振动敏感电极连接。本发明可以降低器件的静电激励电压,提高传感器的灵敏度和精度,进一步增强其环境抗干扰能力。
-
公开(公告)号:CN102235991A
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN201010171320.5
申请日:2010-05-07
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01N27/30
摘要: 本发明公开了一种集成式总磷总氮微传感器系统,涉及微传感器技术,包括微型消解单元和微电极传感单元。水样和消解液经进样通道混合后进入消解单元,在设定的温度和压力下,水样中各种形式的磷和氮,被氧化消解为正磷酸根和硝酸根。消解后的水样分成两路分别与磷酸根和硝酸根测试所需的电解液相汇合后进入微电极传感单元,由磷酸根和硝酸根检测微电极系统分别检测磷酸根和硝酸根离子的浓度,实现总磷和总氮的检测。测试后的废液从出样通道排出系统。清洗液由进样通道进入系统实现对系统的清洁。本发明系统能够在线进行水样的消解处理,实现总磷和总氮的检测。
-
公开(公告)号:CN102062754A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200910238078.6
申请日:2009-11-18
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01N27/404 , H01M4/88 , H01M4/00
摘要: 本发明公开了一种氧化钴催化剂气体扩散电极的制备方法,涉及气体扩散电极技术,该制备方法,以氧化钴为催化剂;包括:A)在疏水透气的多孔聚合物薄膜表面溅射金属材料制备一层惰性电极;B)再在惰性电极的表面利用溅射法沉积制备一层金属钴;C)再用阳极氧化法将金属钴层氧化成所需要的氧化钴层,即得到成品:具有均匀的高催化活性的氧化钴电极。本发明制备的氧化钴气体扩散电极,催化剂分布均匀,性能稳定,活性高。
-
公开(公告)号:CN101368988B
公开(公告)日:2011-02-02
申请号:CN200710120281.4
申请日:2007-08-15
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01R29/12
摘要: 本发明提出一种免封装压电驱动式微小型电场传感器,该传感器主要由压电驱动元件和感应导体构成,与传统机加工的电场传感器相比,它具有结构简单、成本低、功耗低的优点。与基于微机电技术(MEMS)的微型电场传感器相比,它具有敏感结构免封装,可靠性高的优点。
-
公开(公告)号:CN101929978A
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN200910087886.7
申请日:2009-06-24
申请人: 中国科学院电子学研究所
IPC分类号: G01N27/327 , G01N33/53
摘要: 一种自组装修饰的纳米金球状体阵列的生物敏感膜及制法,利用表面修饰有二元混合自组装膜的纳米金颗粒的球状结构,在经自组装单分子层修饰的金电极上阵列式排布,固定生物大分子形成生物敏感膜;由下述方法得到:A)将两种一端功能团为羧基的不同碳链长度的硫醇溶剂按等比例混合,制成硫醇混合溶液;B)将工作电极置于步骤A的混合溶液中浸泡;C)在纳米金溶胶溶液中按摩尔比加入相同或过量的硫醇混合溶液,再加入表面活性剂,制成由混合自组装膜饱和修饰的纳米金溶胶;D)将步骤B的工作电极放入步骤C的纳米金溶胶中浸泡;E)在步骤D的工作电极面滴加生物大分子溶液,静置,形成生物敏感膜。
-
-
-
-
-
-
-
-
-