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公开(公告)号：CN105974346B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201610272992.2
申请日：2016-04-28
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R35/00
摘要： 本发明提供了一种静电场传感器的自动化标定装置及标定方法，其采用三维电场传感器测试支撑座，实现了对三维电场传感器的标定和测试；同时还是一种多模式自动化标定装置，兼容性好，灵活性高；实现了高压电源输出电压的自动调节、电场测量点和调节时间间隔任意设置、电场数据自动采集和处理等功能，大大提高了电场传感器的标定效率和精度；采用滑轨连接测试极板结构和屏蔽结构箱体，进行标定时操作方便，便于维护；设置导电金属丝和等分压电阻串，提高了标定精度；电场测试箱内部设置温度传感器、湿度传感器，为电场传感器环境适应性研究提供重要的参考依据。
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公开(公告)号：CN108490273A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810267990.3
申请日：2018-03-28
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本公开提供了一种基于多通道开关的电场传感器系统，主要通过多通道控制单元实现对多通道开关阵列的控制，进而控制分立电容阵列与信号检测单元连通和/或断开，把待测量值从检测不稳定的直流信号转化为检测交流信号。本公开针对在外界低频电场的作用下，由于电场的变化非常缓慢，多数情况下几近为直流静电场，频率范围最高不超过数百赫兹，电容两端电压U为极小直流值，而且不稳定，难以检测的问题，本公开通过多通道控制单元控制多通道开关阵列按序通断，实现分立电容阵列的总电容值的交流变化，使得相应的电压从直流量变化为交流信号，从而易于检出，实现低频和直流电场的检测。
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公开(公告)号：CN103852649B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410090025.5
申请日：2014-03-12
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明公开了一种基于共面传感单元的三维电场测量方法。一种基于共面传感单元的三维电场测量方法，其中在同一平面上布放至少三个不在同一直线上的电场传感单元以构成三维电场传感器，所述方法包括：分别沿三维坐标系中彼此正交的三个方向对每个电场传感单元进行标定以计算每个电场传感单元相对于所述三个方向的灵敏度系数；基于计算的灵敏度系数确定耦合灵敏度系数矩阵；根据确定的耦合灵敏度系数矩阵以及每个电场传感单元的输出值，计算待测电场的大小。利用本发明的方法，能够避免三维电场传感单元的待测分量间的耦合干扰，可实现电场分量的准确测量。
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公开(公告)号：CN106018917A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610329901.4
申请日：2016-05-18
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R19/00
CPC分类号： G01R19/0046
摘要： 本发明提出了一种无源型电流电压集成传感器，其由位于传输导线周围的两个传感部件组成，每个传感部件由衬底、磁芯线圈、金属层、连接导线、焊盘和固定装置组成。磁芯线圈位于衬底的上表面，与连接导线和焊盘构成电流传感器；金属层位于衬底的下表面，与连接导线和焊盘构成电压传感器，固定装置位于金属层的下方，两个传感部件与传输导线间的距离不同，通过固定装置安装在传输导线表面。传感器离传输导线的距离取决于固定装置的高低，调整方便；其基于微细加工技术，传感部件均采用无源测量，可以同时检测电流信号和电压信号，不需要外部供电，功耗低，结构简单，微型化，线性度好，动态范围大，成本低廉，有利于批量化生产。
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公开(公告)号：CN100535674C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200510087702.9
申请日：2005-08-05
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明为一种小型三维电场传感器，包括传感器转子、感应电极、端盖、支撑板、驱动单元和机壳，其中，端盖为倒扣的盆状，侧周面由四个弧面与四个平面相间排列组成，平面上固接有径向感应电极，其底端沿有折成九十度的翻边，翻边与支撑板固接。本发明有一个屏蔽转子，三个方向感应电极：轴向(Z方向)电场感应电极以及径向(X，Y方向)电场感应电极，三个方向感应电极均为静止单元。在驱动单元的作用下，屏蔽转子旋转，对轴向和径向感应电极产生交替性屏蔽作用，从而输出感应电流，测量三维电场。本发明体积小、重量轻，而且电场的径向X，Y方向分量的相互干扰很小。
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公开(公告)号：CN109752604B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201910095416.9
申请日：2019-01-30
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明提供了一种电场传感器的封装组件、封装方法及电场传感器。所述组件包括：基底；封帽组件，其与所述基底连接形成内腔，所述封帽组件包括绝缘层与金属层，其中，所述绝缘层用于将所述内腔与外界隔离，所述金属层覆盖于所述绝缘层外表面，所述金属层包括对称分布的两块金属电极，所述两块金属电极之间具有缝隙；电场传感器，固定于所述内腔中的基底上。通过封帽组件的绝缘层实现对电场传感器的保护，避免了外界环境对芯片工作状态的干扰。通过在封帽组件的金属层设置对称分布的两块金属电极，以及设计两块金属电极之间存在缝隙，该缝隙的存在保证了外界电场在电场传感器上的分布在后续检测中不被消除。
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公开(公告)号：CN109752604A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201910095416.9
申请日：2019-01-30
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明提供了一种电场传感器的封装组件、封装方法及电场传感器。所述组件包括：基底；封帽组件，其与所述基底连接形成内腔，所述封帽组件包括绝缘层与金属层，其中，所述绝缘层用于将所述内腔与外界隔离，所述金属层覆盖于所述绝缘层外表面，所述金属层包括对称分布的两块金属电极，所述两块金属电极之间具有缝隙；电场传感器，固定于所述内腔中的基底上。通过封帽组件的绝缘层实现对电场传感器的保护，避免了外界环境对芯片工作状态的干扰。通过在封帽组件的金属层设置对称分布的两块金属电极，以及设计两块金属电极之间存在缝隙，该缝隙的存在保证了外界电场在电场传感器上的分布在后续检测中不被消除。
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公开(公告)号：CN109581082A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811592143.0
申请日：2018-12-25
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 本发明提供一种基于微组装的三棱结构微型三维电场传感器，包括至少三个电场敏感单元，布置于三个基底(5)上，分别用于测量电场X方向、Y方向和Z方向的分量；三个基底(5)构成三棱结构；每个基底(5)设有对应的引线底座(6)，引线底座(6)上设有焊盘(8)，通过导线(9)与电场敏感单元连接；柔性连接件(7)，将三个基底(5)与引线底座(6)连接构成整体结构；互锁机构(4)，设于其中两个基底(5)的连接处，用于固定三个基底(5)的相对位置，使得任意一基底(5)上电场敏感单元的测量轴与其它基底(5)上电场敏感单元的测量轴正交。该电场传感器具有集成度高、体积小、组装流程简单和三维电场测量准确度高等优点。
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公开(公告)号：CN108061870A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201810143967.3
申请日：2018-02-11
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R35/00
CPC分类号： G01R35/005
摘要： 本公开提供了一种电场传感器标定系统，包括电场产生组件和电场标定组件，其中电场产生组件包括上极板、下极板、零电势极板、支撑住和箱体。上极板、下极板的弧形设计，有效利用边缘效应对内部电场分布的影响，使产生电场在中心测试区域更为均匀分布；零电势极板上可以同时放置多个传感器进行测试。本公开的有益效果为弧形极板的设计有效利用边缘效应对内部电场分布的影响，使得产生电场在中心测试区域更为均匀分布，扩大了均匀分布范围，为多传感器同时测试提供基础，有效提高了标定传感器的工作效率；同时可以省去等位线和高压电阻的使用，避免了误碰触多条等位线导致的安全隐患，还增强了标定系统的温度和湿度稳定性。
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公开(公告)号：CN105974346A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610272992.2
申请日：2016-04-28
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01R35/00
CPC分类号： G01R35/005
摘要： 本发明提供了一种静电场传感器的自动化标定装置及标定方法，其采用三维电场传感器测试支撑座，实现了对三维电场传感器的标定和测试；同时还是一种多模式自动化标定装置，兼容性好，灵活性高；实现了高压电源输出电压的自动调节、电场测量点和调节时间间隔任意设置、电场数据自动采集和处理等功能，大大提高了电场传感器的标定效率和精度；采用滑轨连接测试极板结构和屏蔽结构箱体，进行标定时操作方便，便于维护；设置导电金属丝和等分压电阻串，提高了标定精度；电场测试箱内部设置温度传感器、湿度传感器，为电场传感器环境适应性研究提供重要的参考依据。
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