一种基于纳米压电材料的实时血压监测传感器

    公开(公告)号:CN106491109A

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201610990006.7

    申请日:2016-11-10

    发明人: 王德强 陆文强

    IPC分类号: A61B5/021 A61B5/00

    摘要: 本发明公开了一种基于纳米压电材料的实时血压监测传感器,制备步骤如下:1)利用化学气相沉积法,在硅衬底上定位横向生长氧化锌纳米线网结构;2)在纳米线网结构的两端制备电极和引线;3)利用甩胶法在纳米线网结构上涂覆一层硅胶作为保护层和振动传导层;4)将带有氧化锌纳米线网的硅胶从硅衬底上剥离下来。本发明将半导体压电材料氧化锌纳米线网作为器件的核心传感材料,其响应速度高,能耐较高温度,本发明通过利用横向生长纳米线网具有压电特性并能将压力实时地转化为电信号的特性,设计了一款2×2分布式压力信号传感器,本芯片可以安装在床垫中,实施监测夜晚睡眠状态,特别是对于老年人夜间身体健康实时检测具有重要的意义。

    一种适用于液态环境的纳米结构筛选层及工艺及检测系统

    公开(公告)号:CN104649215B

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201510076177.4

    申请日:2015-02-12

    IPC分类号: B81B7/02 B81C1/00 G01N27/00

    摘要: 本发明提供一种适用于液态环境的纳米结构筛选层,该筛选层的制作工艺,适用该筛选层的纳米检测系统。其中筛选层上设有纳米孔,筛选层包括二硫化钼薄膜,二硫化钼薄膜附在绝缘柔性衬底上,筛选层的上下表面还设有电绝缘薄膜。单层二硫化钼薄膜具有非常高的曲率半径,高导电性,快速光电响应,较小的表面粗糙度和良好的生物兼容性等特性,用于柔性基底的生物传感器探测。同时,二硫化钼单层薄膜的表面可以很容易地进行化学功能化修饰,在气体和溶液环境下,可以对于目标分子进行特异性检测。

    一种制备三维ZnO纳米线网的方法

    公开(公告)号:CN104402039B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201410718597.3

    申请日:2014-12-01

    IPC分类号: C01G9/02 B82Y30/00

    摘要: 本发明公开了一种制备三维ZnO纳米线网的方法,其特征在于,包括如下步骤:首先在洗净GaN衬底表面涂覆HAuCl4与还原剂和聚合物的混合溶液;在高温管式真空炉中间放置盛有化学反应物的舟,化学反应物包括ZnO粉和石墨粉,其气流下游位置放置衬底,抽真空,把真空管加热到800-1200℃,然后通入氧气和工作气体,控制压强到30-400毫巴,生长时间大于20min,然后让真空管式炉自然降温,在GaN衬底上即可制备出三维ZnO纳米线网络。本发明方法简单,利用聚合物诱导三维纳米线网络生长。制备的纳米线取向有垂直衬底和平行衬底两类,构成有序三维纳米线网络结构,具有极大的应用价值。

    一种描边生长ZnO的方法
    55.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105154974A

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201510626575.9

    申请日:2015-09-28

    IPC分类号: C30B29/16 C30B29/60 C30B7/10

    摘要: 本发明提供一种描边生长ZnO的方法,包括如下步骤:(1)在洗净的衬底表面旋涂S1800系列光刻胶,光刻出图案;(2)将光刻后的衬底等离子处理;(3)将步骤(2)中等离子处理后的衬底置于硝酸锌与六次甲基四胺的混合水溶液中反应,制得沿图案边沿描边生长的ZnO棒。本发明以光刻加工结合等离子处理的手段,先对衬底进行加工,成功实现ZnO棒沿图案边缘生长,长成的ZnO描出图案边缘。本发明中ZnO水热法生长对比高温法,具有节能环保,成本低廉的显著优势;对比其它的图案描边方法,该方法更简单、方便。

    无催化剂横向生长纳米线网电路的方法

    公开(公告)号:CN104867868A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510291933.5

    申请日:2015-06-01

    IPC分类号: H01L21/768

    CPC分类号: H01L21/76838

    摘要: 本发明提供一种无催化剂横向生长纳米线网电路的方法,应用于半导体领域,所述方法包括:1)提供一表面制备有周期性纳米硅柱的硅衬底和供盛放化学反应物的舟;2)将所述硅衬底制备有周期性纳米硅柱的一面朝向盛有化学反应物的舟进行放置;3)采用高温化学气相沉积方法于各纳米硅柱侧面棱角处制备出横向生长的氧化锌纳米线网。本发明将表面制备有周期纳米柱的硅电极衬底生长面向下放置在盛有化学反应物的舟上放置,进而能控制横向生长纳米线网形成纳米网桥接电路,不需要镀金膜作为催化剂,节省工序降低成本。

    一种适用于液态环境的纳米结构筛选层及工艺及检测系统

    公开(公告)号:CN104649215A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201510076177.4

    申请日:2015-02-12

    IPC分类号: B81B7/02 B81C1/00 G01N27/00

    摘要: 本发明提供一种适用于液态环境的纳米结构筛选层,该筛选层的制作工艺,适用该筛选层的纳米检测系统。其中筛选层上设有纳米孔,筛选层包括二硫化钼薄膜,二硫化钼薄膜附在绝缘柔性衬底上,筛选层的上下表面还设有电绝缘薄膜。单层二硫化钼薄膜具有非常高的曲率半径,高导电性,快速光电响应,较小的表面粗糙度和良好的生物兼容性等特性,用于柔性基底的生物传感器探测。同时,二硫化钼单层薄膜的表面可以很容易地进行化学功能化修饰,在气体和溶液环境下,可以对于目标分子进行特异性检测。

    一种基于逐层组装技术(LBL)制备的柔性应力传感器

    公开(公告)号:CN112945433B

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202110095798.2

    申请日:2021-01-25

    IPC分类号: G01L1/22 A61B5/11

    摘要: 本发明公开了一种基于逐层组装技术(LBL)制备的柔性应力传感器,其包括至少一层骨架材料和至少一层导电材料;在导电材料两侧面分别贴敷骨架材料,其构成“三明治”结构的柔性应力传感器。其骨架材料主要为含有羟基、酮基等活性基团的亲水性聚合物,与人体组织具有极佳的相容性;导电材料主要为酸、盐掺杂导电聚合物复合过渡金属碳化物(MXene)。骨架材料水凝胶为传感器提供优越的机械性能,使得器件可实现传统硅基电子所不能实现的功能,如弯曲、折叠、扭曲、压缩、拉伸甚至变形成任意形状而不影响电子器件本身的光电性质。导电聚合物与MXene材料的协同效应,极大的提高了器件的导电性、应力应变电响应度。