一种显示基板线路修补方法

    公开(公告)号:CN109742035A

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201910001712.8

    申请日:2019-01-02

    IPC分类号: H01L21/66 H01L21/77

    摘要: 本发明提供了一种显示基板线路修补方法,包括:提供一形成有像素驱动电路的基板样品;利用光学显微镜,获取基板样品的光镜图像;利用双束聚焦离子束设备,获取基板样品的电镜图像;根据光镜图像与电镜图像,确定基板样品上待线路修补的薄膜晶体管的源极、漏极和栅极定位位置;在基板样品上对应待线路修补的薄膜晶体管的源极、漏极和栅极定位位置打孔;在源极、漏极和栅极打孔位置处分别沉积金属扎针盘;通过电学测试设备,利用金属扎针盘进行电学测试。本发明的显示基板线路修补方法能够对待线路修补的薄膜晶体管进行准确地定位,提高线路修补成功率,节约定位时间。