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公开(公告)号：CN104568289A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310503082.7
申请日：2013-10-23
Applicant: 北京临近空间飞行器系统工程研究所 , 中国运载火箭技术研究院
Abstract: 本发明属于压力生成方法，具体涉及一种基于硅谐振式传感器的压力生成方法。它包括：步骤一：数据采集，步骤二：数据转换，步骤三：计算最终输出的压力值P。使用本发明的效果是：①与传统压力测量传感器相比，具有较高测量精度。总压在1MPa量程内不超过300Pa，静压在500KPa量程内不超过120Pa。②基于本方法，硅谐振式传感器可在(-40，60)℃的范围内进行高精度压力测量。
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