GaN基HEMT器件潜径迹表征用测试结构及表征方法

    公开(公告)号:CN111722075B

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202010611079.7

    申请日:2020-06-30

    Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,具体公开了一种GaN基HEMT器件潜径迹表征用测试结构及表征方法,结构包括底座、导电连接层及扫描探针。底座用于放置GaN基异质结构,GaN基异质结构包括沿远离底座方向依次层叠设置的GaN缓冲层、势垒层以及欧姆接触层,其中,GaN缓冲层和势垒层之间形成有二维电子气,欧姆接触层与二维电子气连通;导电连接层连接底座与欧姆接触层;扫描探针由底座引出,并连接势垒层,以在扫描探针与底座之间形成电回路,扫描探针用于沿势垒层表面扫描并在预设的偏压条件下获取势垒层中潜径迹的表征结果。通过上述测试结构能够快速准确地验证GaN基异质结构的势垒层中是否存在潜径迹,当存在潜径迹,可获取其表征结果,实现对潜径迹的有效表征。

    单粒子闩锁维持电流测试方法、装置及系统

    公开(公告)号:CN110045204B

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN201910341865.7

    申请日:2019-04-26

    Abstract: 本申请涉及一种单粒子闩锁维持电流测试方法、装置及系统。所述方法包括:当监测到处于当前离子束辐照中的待测器件出现单粒子闩锁效应时,采集待测器件的电流,并将采集到的电流确认为效应电流;以效应电流作为待测器件的输入电流的初始值,逐次减小输入电流,直至监测到处于当前离子束辐照中的待测器件、退出单粒子闩锁效应时,将当前的输入电流确认为待测器件对应的退出电流;获取处于下一种离子束辐照中的待测器件对应的退出电流;将各退出电流中的最小值确认为待测器件的单粒子闩锁维持电流,从而,本申请能够获得待测器件在辐射环境下的单粒子闩锁维持电流,提高了测试单粒子闩锁维持电流的准确度,进而为改进器件抗闩锁设计提供数据支持。

    降能装置、降能方法、电子设备及计算机可读存储介质

    公开(公告)号:CN113161033A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202110306114.9

    申请日:2021-03-23

    Abstract: 本申请涉及降能技术领域,具体公开一种降能装置、降能方法、电子设备及计算机可读存储介质。降能装置包括同轴设置的第一降能片和第二降能片,第一降能片的厚度沿第一降能片的周向呈螺旋式变化趋势,第二降能片的厚度沿第二降能片的周向呈螺旋式变化趋势;当第一降能片和第二降能片中的至少一个沿轴旋转时,第一降能片和第二降能片在轴向上的叠加厚度呈单调性变化趋势。当第一降能片和/或第二降能片沿轴旋转时,第一降能片和第二降能片在轴向上组合叠加的厚度是连续变化的,且呈单调性变化趋势,由此,当该降能装置设置于带电粒子的入射路径上时,带电粒子通过该降能装置可以实现能量的连续降低,实现带电粒子能量的连续调节效果。

    移动终端软故障测试方法和系统

    公开(公告)号:CN113132521A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110238546.0

    申请日:2021-03-04

    Abstract: 本发明涉及辐射效应评估技术领域,公开了一种移动终端软故障测试方法和系统,包括使得待测移动终端处于测试模式之下;使用中子束流对所述待测移动终端进行辐照测试;控制所述待测移动终端运行不同的应用功能;对所述待测移动终端进行监测,观察并统计所述待测移动终端在运行不同的应用功能时的错误情况;根据所述错误情况区分不同的软故障类型。使用中子束流模拟真实环境中大气中子对待测移动终端的辐照。观察并统计待测移动终端在不同运行模式下的错误情况,并基于待测移动终端的错误情况区分不同的软故障类型。通过高通量的中子源对待测移动终端进行辐照试验,快速激发待测移动终端中可能存在的软故障类型,向产品研发人员提供有效数据支撑。

    热中子单粒子效应敏感性试验方法和系统

    公开(公告)号:CN113109863A

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN202110239996.1

    申请日:2021-03-04

    Abstract: 本发明涉及辐射效应评估技术领域,公开了一种热中子单粒子效应敏感性试验方法和系统。使用中子束流对待测样品进行辐照试验,获取待测样品的第一单粒子效应平均截面;滤除中子束流中的热中子成分后,获取待测样品的第二单粒子效应平均截面;根据第一单粒子效应平均截面和第二单粒子效应平均截面,获取待测样品的热中子单粒子效应截面;获取待测样品中的B‑10同位素含量;综合热中子单粒子效应截面和待测样品中B‑10同位素含量,评估待测样品的热中子单粒子效应敏感性。通过对比滤除热中子前后的单粒子效应平均截面,获得待测器件的热中子单粒子效应截面,并结合B‑10同位素含量进行敏感性分析,实现单独评估热中子对待测器件出现单粒子效应影响的目的。

    纳米MOSFET器件的总剂量辐射试验方法、装置和设备

    公开(公告)号:CN111579957A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010299625.8

    申请日:2020-04-16

    Abstract: 本申请涉及一种纳米MOSFET器件的总剂量辐射试验方法、装置和设备。其中,纳米MOSFET器件的总剂量辐射试验方法以多个总剂量试验点对同批器件中的多个器件进行总剂量辐射试验,得到各器件的试验数据;对各试验数据进行处理,得到各总剂量试验点的参数标准差和参数均值;根据各总剂量试验点的参数标准差和参数均值,得到各总剂量试验点上的单个器件栅氧化层的缺陷平均个数;根据泊松分布以及各缺陷平均个数,确定同批器件的缺陷分布情况。基于此,可针对存在涨落效应的纳米MOSFET器件进行辐射后离散数据的统计分布分析,确定单个器件栅氧化层中的缺陷平均个数,最终确定同批器件中栅氧化层内部的缺陷分布情况,为同批器件的总剂量辐射评估和考核提供有效数据。

    单粒子闩锁维持电流测试方法、装置及系统

    公开(公告)号:CN110045204A

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201910341865.7

    申请日:2019-04-26

    Abstract: 本申请涉及一种单粒子闩锁维持电流测试方法、装置及系统。所述方法包括:当监测到处于当前离子束辐照中的待测器件出现单粒子闩锁效应时,采集待测器件的电流,并将采集到的电流确认为效应电流;以效应电流作为待测器件的输入电流的初始值,逐次减小输入电流,直至监测到处于当前离子束辐照中的待测器件、退出单粒子闩锁效应时,将当前的输入电流确认为待测器件对应的退出电流;获取处于下一种离子束辐照中的待测器件对应的退出电流;将各退出电流中的最小值确认为待测器件的单粒子闩锁维持电流,从而,本申请能够获得待测器件在辐射环境下的单粒子闩锁维持电流,提高了测试单粒子闩锁维持电流的准确度,进而为改进器件抗闩锁设计提供数据支持。

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