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公开(公告)号：CN104380424A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201280073867.9
申请日：2012-06-12
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H71/2454 , G01R15/183 , H01H47/04 , H01H2047/046
Abstract: 本发明以附带开关功能的电流传感器的小型化为课题。该电流传感器具备：磁路，其使从电路产生的磁通聚集于磁传感器；开关，其与形成上述磁路的一部分的可动磁性体连动地对上述电路进行开闭；以及励磁线圈，其对上述磁路进行励磁，产生能够使形成上述磁路的一部分的固定磁性体吸引上述可动磁性体的磁力。
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公开(公告)号：CN103975431A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201180074472.6
申请日：2011-11-04
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L23/473 , G06F1/20 , H01L23/38
CPC classification number: H05K7/20 , F25B21/00 , F25B2321/001 , G06F1/20 , H01L23/38 , H01L23/473 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 与热源热性连接的微通道冷却器件的散热构件(22)具备具有微小截面的液体冷媒流路(24)。热电元件(10)设置在散热构件(22)上。热电元件(10)在与液体冷媒流路(24)的延伸方向平行的方向上延伸。
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公开(公告)号：CN103370866A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201180067370.1
申请日：2011-02-23
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: F04B43/043 , F03G7/06 , F04B19/006 , H01H37/58 , H02N10/00
Abstract: 致动器包括：第一部件，其包含起磁机构，至少被加热到第一温度；第二部件，其与上述第一部件对置配置；感温磁性体，其位于上述第一部件与第二部件之间，在与上述第一部件接触的第一位置和与上述第二部件接触的第二位置之间位移，并具有比上述第一温度低且比上述第二部件的温度高的居里温度；以及复原机构，其使上述感温磁性体从上述第一位置恢复到上述第二位置。
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公开(公告)号：CN101241228B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200810083322.1
申请日：2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件及微振荡元件阵列，微振荡元件包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件及第一梳齿电极，第一臂部件从可移动操作部件延伸，第一梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上从第一臂部件延伸的第一电极齿；第一扭转接合部件，其将第一框架与振荡部件相互连接，并且限定振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与第一梳齿电极配合以使振荡部件振荡，第二梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上延伸的第二电极齿；第二框架；及第二扭转接合部件，其将第一框架与第二框架相互连接，且限定第一框架相对于第二框架作振荡操作的第二振荡轴。本发明能够保持足够的驱动力驱动振荡部件作振荡操作。
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公开(公告)号：CN101827781A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200780101155.2
申请日：2007-10-31
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/058 , G02B26/0841
Abstract: 提供一种适于抑制驱动特性的劣化的微型可动元件以及包括这种微型可动元件的微型可动元件阵列。本发明的微型可动元件(X1)包括：具有第一驱动电极的可动部；第二驱动电极，用于在与第一驱动电极之间产生静电引力；第一导体部(22c)，其与第一驱动电极电连接；第二导体部(22b)，其与第二驱动电极电连接；以及第三导体部(21a)，其不与第一和第二驱动电极电连接，并且经由绝缘膜(23)与第一导体部(22c)接合且经由绝缘膜(23)与第二导体部(22b)接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100424539C
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200610074386.6
申请日：2006-04-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B6/357 , G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/3584 , Y10S359/90
Abstract: 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间，用于电连接该致动器与该内部互连结构。
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公开(公告)号：CN101241228A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810083322.1
申请日：2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件及微振荡元件阵列，微振荡元件包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件及第一梳齿电极，第一臂部件从可移动操作部件延伸，第一梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上从第一臂部件延伸的第一电极齿；第一扭转接合部件，其将第一框架与振荡部件相互连接，并且限定振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与第一梳齿电极配合以使振荡部件振荡，第二梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上延伸的第二电极齿；第二框架；及第二扭转接合部件，其将第一框架与第二框架相互连接，且限定第一框架相对于第二框架作振荡操作的第二振荡轴。本发明能够保持足够的驱动力驱动振荡部件作振荡操作。
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公开(公告)号：CN100410724C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200610059745.0
申请日：2006-03-06
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08 , H01L29/84 , G01P15/125 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/033
Abstract: 本发明提供梳齿电极对的制造方法，由材料衬底制造一对梳齿电极，材料衬底包括第一、第二导电层和位于它们之间的绝缘层。梳齿电极包括第一和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括由第一导电层得到的第一导体、由第二导电层得到的第二导体和由绝缘层得到的绝缘体。第二梳齿电极由第二导电层得到。在第一导电层上形成预备第一掩模图案；在预备第一掩模图案和第一导电层上形成第二掩模图案；进行蚀刻以由预备第一掩模图案形成第一掩模图案；进行蚀刻以在第一导电层中形成第一导体和第一剩余掩模部分；进行蚀刻以在绝缘层中形成绝缘体和第二剩余掩模部分；去除第二掩模图案；进行蚀刻以去除第一剩余掩模部分并在第二导电层中形成第二导体和第二梳齿电极。
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公开(公告)号：CN100362388C
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200410028718.8
申请日：2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H02N1/008
Abstract: 一种微型振荡元件包括：可移动主部件；第一框架和第二框架；和第一连接部件，连接可移动主部件和第一框架，并且限定用于可移动主部件相对于第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴。元件还包括第二连接部件，连接第一框架和第二框架，并且限定用于第一框架和可移动主部件相对于第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴。设有产生用于第一旋转操作的驱动力的第一驱动机构。设有产生用于第二旋转操作的驱动力的第二驱动机构。第一旋转轴和第二旋转轴不垂直。第一框架具有包括电极支撑侧部的四个侧部，第一驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向可移动主部件延伸，并且第二驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向第二框架延伸。
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