干燥装置和具备此干燥装置的工件处理单元

    公开(公告)号:CN100397015C

    公开(公告)日:2008-06-25

    申请号:CN200310102940.3

    申请日:2003-10-31

    CPC classification number: G02B5/201

    Abstract: 在一个干燥炉(51)内部容纳上下多层热板(52)。在干燥炉(51)前面,靠近上下多层热板(52)开设常开式工件出入口(51a)。另外,在干燥炉(51)后面设置外罩箱(53),在该外罩箱(53)内部,通过靠近多层热板(52)之间的各个间隙里形成通气孔(54a)的分流板连通于炉内空间的排气机构来划分强制排气的排气室(55)。利用这样的干燥装置,可以同时有效干燥多个工件。

    喷头盖及具备喷头盖的液滴喷出装置、电光装置制造方法

    公开(公告)号:CN100354133C

    公开(公告)日:2007-12-12

    申请号:CN03154003.1

    申请日:2003-08-13

    Inventor: 中村真一

    CPC classification number: B41J2/16508

    Abstract: 提供一种喷头盖和具有该喷头盖的液滴喷出装置。喷头盖(113)密接功能液滴喷出头(51)的喷嘴面(58),密封功能液滴喷出头(51),具备:盖体基座(121);形成于盖体基座(121)中的吸收材料容纳部(121a);填充在吸收材料容纳部(121a)中的功能液吸收材料(122);压紧功能液吸收材料(122)的吸收材料压板(123);密封部件(124);和将密封部件(124)固定在盖体基座(121)上的密封固定部件(125),密封部件(124)在压紧吸收材料压板(123)的边缘部的状态下,被固定在盖体基座(121)上。从而,能简单更换功能液吸收材料,而不损害密封动作等的本来功能。

    功能液滴喷出头的吸引装置

    公开(公告)号:CN1865008A

    公开(公告)日:2006-11-22

    申请号:CN200610084499.4

    申请日:2003-11-12

    Abstract: 本发明提供一种功能液滴喷出头的吸引装置,使帽紧贴在喷出功能液滴的功能液滴喷出头上,通过所述帽吸引所述功能液滴喷出头,其特征在于,包括:与所述帽连通,吸引所述功能液滴喷出头的全部喷嘴的喷射器;向所述喷射器供给工作流体的工作流体供给部件;检测连接所述帽与所述喷射器的吸引口的吸引管路内压力的压力检测部件;根据所述压力检测部件的检测结果,控制所述流量调节阀的第一控制部件,当所述吸引管路内的吸引压力小于规定压力时,控制所述流量调整阀而增加所述工作流体的供给量,当所述吸引管路内的吸引压力大于规定压力时,控制所述流量调整阀而减少所述工作流体的供给量,使多个功能液滴喷出头的吸引被控制为在一定吸引压力下进行。

    成膜设备和喷头清洁方法以及设备制造系统

    公开(公告)号:CN1265965C

    公开(公告)日:2006-07-26

    申请号:CN03120175.X

    申请日:2003-03-11

    Inventor: 中村真一

    CPC classification number: B41J2/16535 B41J2/16552 B41J3/407 B41J2202/09

    Abstract: 一种在灵活适应所制造产品的规格的变化的同时用于可靠地清洁每一喷头喷嘴表面的系统和方法。成膜设备具有多个用于喷射液滴的喷头,每一个喷嘴表面上具有一个喷嘴;及用于集中清洁喷嘴表面的共用的喷头清洁机构,以便喷头清洁机构基本上不会受到喷头之间间距的变化(或类似特性变化)的影响。通常,喷头清洁机构具有用于擦拭喷嘴表面的拭纸;用于向喷嘴表面提供拭纸的供给单元;及在由供给单元供给拭纸的同时将拭纸压在喷嘴表面上的滚筒,以便总是为每一喷嘴表面提供未使用的清洁面。

    喷出方法及其装置
    59.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1218838C

    公开(公告)日:2005-09-14

    申请号:CN02152608.7

    申请日:2002-11-26

    CPC classification number: H05B33/10

    Abstract: 在制造滤色器(1)的喷墨装置中,把多个喷嘴(27)设置为列状,把构成喷嘴列(28)的喷墨头(22)并列配置为直线状。从喷出量比平均值多10%以上的配置方向的两端部分以外的喷嘴(27),通过多个喷嘴(27),向母板(12)四次重叠喷出滤波元件材料,使一个滤波元件(3)形成给定的膜厚度。根据这样的结构,能防止多个滤波元件(3)间在膜厚度上产生偏移,能使滤色器(1)的光透过性在平面上均匀。因此,能提供能使滤色器(1)的光学透过特性、液晶装置的彩色显示特性、EL发光面的发光特性等电光构件的电光特性在平面上均匀的喷出装置。

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