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公开(公告)号:CN101025579A
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200710000701.5
申请日:2007-01-10
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种抗蚀剂剥离剂组合物,尤其涉及一种包含选自具有双氧键的环状化合物、乙二醇类化合物及碳酸类化合物中的化合物的抗蚀剂剥离剂组合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物可进一步包含内酯类化合物、胺或有机酸、氧化剂或其混合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物,可用于去除在电路或显示元件金属布线的图形化中所使用的抗蚀剂,其对图形化金属膜上所残留的抗蚀剂具有优秀的剥离效果,并在高温下,其因挥发而引起的成分变化及药液疲劳度极小,且能将对图形化金属膜的腐蚀降到最低。
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公开(公告)号:CN1904734A
公开(公告)日:2007-01-31
申请号:CN200610072635.8
申请日:2006-04-05
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/008 , G03F7/027 , G03F7/004 , G02F1/133 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物不仅灵敏度、耐热性、解像度等性能优异,还显著提高了常温保存稳定性和透过性,适于形成LCD制造工序中的层间绝缘膜。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,其含有a)丙烯酸类共聚物、b)1,2-二叠氮醌化合物、c)以化学式1~6中的任意一个来表示的环氧类化合物、和d)溶剂,其中所述a)丙烯酸类共聚物是通过使下述i)~iii)共聚后,除去未反应的单体而得到的:i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物;ii)含有羟基的烯烃类不饱和化合物;iii)烯烃类不饱和化合物。
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公开(公告)号:CN1891862A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610092226.4
申请日:2006-06-15
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社 , 东进世美肯株式会社
IPC: C23F1/16 , H01L21/302
CPC classification number: C23F1/16 , C09K13/06 , C23F1/20 , C23F1/26 , G02F1/13439 , G02F2001/136295
Abstract: 一种用于去除导电材料的组合物以及一种使用该组合物制造阵列基板的方法,其中该组合物可以包括大约3wt%至 15wt%的硝酸、大约40wt%至70wt%的磷酸、大约5wt%至35wt%的醋酸。该组合物还可以包括大约0.05wt%至5wt%的氯化物、大约0.01wt%至5wt%的氯稳定剂、大约0.01wt%至5wt%的pH稳定剂、以及剩余量的水。
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公开(公告)号:CN1873054A
公开(公告)日:2006-12-06
申请号:CN200610084694.7
申请日:2006-05-29
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: C23F1/16
Abstract: 本发明提供蚀刻组合物,采用所述组合物可以以下部膜Al-Nd或Mo不产生底切现象的方式通过单一工序对构成薄膜晶体管液晶显示装置的TFT的栅极配线材料Al-Nd/Mo双层膜或Mo/Al-Nd/Mo三层膜进行湿式蚀刻,并可以获得优异的锥度,同时源极/漏极配线材料Mo单层膜也可以形成优异的轮廓。本发明的薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物含有磷酸、硝酸、乙酸、磷酸盐阴离子表面活性剂和水。
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公开(公告)号:CN1811596A
公开(公告)日:2006-08-02
申请号:CN200610002253.8
申请日:2006-01-27
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/008
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物不仅灵敏度、透过率、绝缘性、耐化学性、平滑性、涂布性等性能优异,而且特别地,其与无机质材料的粘着性也显著升高,适于形成LCD制造工序的层间绝缘膜。本发明的感光性树脂组合物含有a)丙烯酸类共聚物、b)1,2-二叠氮醌化合物、和c)溶剂,所述a)丙烯酸类共聚物是通过使下述i)~iv)进行共聚来得到的:i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物;ii)含环氧基的不饱和化合物;iii)烯烃类不饱和化合物;和iv)硅烷类单体。
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公开(公告)号:CN1734351A
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN200510090024.1
申请日:2005-08-09
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/027 , G02F1/13 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种隔离物用感光性树脂组合物,所述组合物不仅可以减少由于液晶滴加量不足而产生未填充区域的不良现象、可以防止由压力在滤色镜上产生的损伤、且可以克服工艺上产生的厚度偏差,而且因离子、杂质不会溶出到液晶中因而不会降低电压保持率、在液晶取向时不会产生影响,与此同时可以形成耐摩擦性优越、具有充分的电压保持率及液晶取向性、且显像性、高敏感性、热稳定性、尺寸稳定性及压缩强度优越的隔离物。本发明的隔离物用感光性树脂组合物中含有:a)选自由i)碱溶性丙烯酸酯树脂、ii)感光性树脂及iii)它们的混合物组成的组中的树脂;b)尿烷树脂;c)具有至少2个乙烯类双键的交联性单体;d)光聚合引发剂;以及e)溶剂。
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公开(公告)号:CN1693322A
公开(公告)日:2005-11-09
申请号:CN200510071269.X
申请日:2005-05-08
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: C08F220/04 , C08F212/08 , H01B3/44 , G02F1/136
Abstract: 本发明涉及TFT-LCD用层间有机绝缘膜用丙烯酸类共聚物树脂的制造方法,特别是涉及包括对在溶剂下聚合i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或者它们的混合物、ii)苯乙烯类单体、iii)环氧类单体、iv)异冰片基类单体和v)二聚环戊二烯类单体而制造的共聚物溶液进行精制的步骤的TFT-LCD用层间有机绝缘膜用丙烯酸类共聚物树脂的制造方法、用上述方法制造的TFT-LCD用层间有机绝缘膜用丙烯酸类共聚物树脂及适用了上述丙烯酸类共聚物树脂的TFT-LCD用层间有机绝缘膜。如果将通过本发明制造的丙烯酸类共聚物树脂应用于TFT-LCD用正电型层间有机绝缘膜,可以提高膜的显像性和耐热性,还具有可提高透过率的效果。
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公开(公告)号:CN1196032C
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN99119693.7
申请日:1999-08-11
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/42 , H01L21/027
Abstract: 公开了一种剥离剂,包括有机胺化合物、质子二醇醚化合物、非质子多极性化合物和烷基吡咯烷酮化合物,其中有机胺化合物的含量为10~35wt%,质子二醇醚化合物和非质子多极性化合物的总含量为60~85wt%,烷基吡咯烷酮化合物的含量为0.1~5wt%,每个都以剥离剂的总重量为基础,其中烷基吡咯烷酮化合物是选自N-环己基-2-吡咯烷酮、N-辛基-2-吡咯烷酮、N-十二烷基-2-吡咯烷酮中的至少一种。还公开了使用剥离剂的剥离方法。
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